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1. WO2021056783 - METHOD, APPARATUS AND SYSTEM FOR FRICTION ADJUSTMENT OF MOLYBDENUM DISULFIDE

Publication Number WO/2021/056783
Publication Date 01.04.2021
International Application No. PCT/CN2019/119895
International Filing Date 21.11.2019
IPC
C01G 39/06 2006.01
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F94
39Compounds of molybdenum
06Sulfides
G01Q 60/26 2010.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY
60Particular types of SPM or apparatus therefor; Essential components thereof
24AFM or apparatus therefor, e.g. AFM probes
26Friction force microscopy
G01Q 30/02 2010.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY
30Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
02Non-SPM analysing devices, e.g. SEM , spectrometer or optical microscope
H02N 1/04 2006.01
HELECTRICITY
02GENERATION, CONVERSION, OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
1Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
04Friction generators
CPC
C01G 39/06
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
39Compounds of molybdenum
06Sulfides
G01Q 30/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
30Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
02Non-SPM analysing devices, e.g. SEM [Scanning Electron Microscope], spectrometer or optical microscope
G01Q 60/26
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
60Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
24AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
26Friction force microscopy
H02N 1/04
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
1Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
04Friction generators
Applicants
  • 清华大学 TSINGHUA UNIVERSITY [CN]/[CN]
Inventors
  • 刘大猛 LIU, Dameng
  • 房亮 FANG, Liang
  • 庞华 PANG, Hua
  • 刘惠贤 LIU, Huixian
  • 雒建斌 LUO, Jianbin
Agents
  • 北京三友知识产权代理有限公司 BEIJING SANYOU INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY LTD.
Priority Data
201910899712.423.09.2019CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) METHOD, APPARATUS AND SYSTEM FOR FRICTION ADJUSTMENT OF MOLYBDENUM DISULFIDE
(FR) PROCÉDÉ, APPAREIL ET SYSTÈME DE RÉGLAGE DE FROTTEMENT DE DISULFURE DE MOLYBDÈNE
(ZH) 二硫化钼的摩擦调控方法、装置及系统
Abstract
(EN)
The present invention provides a method, an apparatus, and a system for friction adjustment of molybdenum disulfide. The method comprises: obtaining friction force data of a friction pair corresponding to molybdenum disulfide under different electron beam irradiation conditions, the different electron beam irradiation conditions comprising different acceleration voltage conditions and different electron beam current conditions; obtaining friction characteristic data of molybdenum disulfide according to the friction force data of the friction pair corresponding to molybdenum disulfide under different electron beam irradiation conditions; after obtaining target friction force of molybdenum disulfide, controlling, on the basis of friction characteristics of molybdenum disulfide, an electron beam to irradiate molybdenum disulfide to adjust to the target friction force the friction force of the friction pair corresponding to molybdenum disulfide. By the present invention, the friction of molybdenum disulfide can be adjusted so as to avoid the interference of electrostatic force and achieve high accuracy.
(FR)
La présente invention concerne un procédé, un appareil et un système de réglage de frottement de disulfure de molybdène. Le procédé comprend : l’obtention de données de force de frottement d'une paire à contact par frottement correspondant au disulfure de molybdène dans différentes conditions d’exposition à un faisceau d'électrons, les différentes conditions d’exposition à un faisceau d'électrons comprenant différentes conditions de tension d'accélération et différentes conditions de courant de faisceau d'électrons ; l’obtention de données de caractéristique de frottement du disulfure de molybdène en fonction des données de force de frottement de la paire à contact par frottement correspondant au disulfure de molybdène dans différentes conditions d’exposition à un faisceau d'électrons ; après obtention d'une force de frottement cible du disulfure de molybdène, la commande, sur la base de caractéristiques de frottement du disulfure de molybdène, d'un faisceau d'électrons pour exposer le disulfure de molybdène afin de régler la force de frottement de la paire à contact par frottement correspondant au disulfure de molybdène sur la force de frottement cible. Par la présente invention, le frottement du disulfure de molybdène peut être réglé de façon à éviter l'interférence d’une force électrostatique et atteindre une précision élevée.
(ZH)
本发明提供了一种二硫化钼的摩擦调控方法、装置及系统,该方法包括:获得不同电子束照射条件下二硫化钼对应的摩擦副的摩擦力数据,所述不同电子束照射条件包括不同的加速电压条件和不同的电子束电流条件;根据不同电子束照射条件下二硫化钼对应的摩擦副的摩擦力数据,获得二硫化钼的摩擦特征数据;在获得二硫化钼的目标摩擦力后,基于二硫化钼的摩擦特征,控制电子束照射二硫化钼,以调控二硫化钼对应的摩擦副的摩擦力至目标摩擦力。本发明可以对二硫化钼进行摩擦调控,避免静电力的干扰,准确度高。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau