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1. WO2021043952 - AN IMPROVED HIGH HARMONIC GENERATION APPARATUS

Publication Number WO/2021/043952
Publication Date 11.03.2021
International Application No. PCT/EP2020/074700
International Filing Date 04.09.2020
IPC
H05G 2/00 2006.01
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
CPC
H05G 2/00
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
Applicants
  • ASML NETHERLANDS B.V. [NL]/[NL]
Inventors
  • SCHELLEKENS, Adrianus, Johannes, Hendrikus
  • O'DWYER, David
  • LIN, Nan
  • BRUSSAARD, Gerrit, Jacobus, Hendrik
Agents
  • ASML NETHERLANDS BV
Priority Data
19195502.005.09.2019EP
19202908.014.10.2019EP
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) AN IMPROVED HIGH HARMONIC GENERATION APPARATUS
(FR) APPAREIL AMÉLIORÉ DE GÉNÉRATION D'HARMONIQUES ÉLEVÉES
Abstract
(EN)
A high harmonic generation assembly and method for generating high harmonic radiation. The assembly comprises a cavity configured to receive input radiation and increase the intensity of the input radiation inside the cavity for forming drive radiation suitable for use in high harmonic generation. The assembly further comprises an interaction region within the cavity at which, in use, a medium is present, the medium being configured to generate harmonic radiation by high harmonic generation when the drive radiation is incident thereupon, and an optical assembly configured to direct the drive radiation to pass through the interaction region, and comprising an output coupler comprising an aperture through which at least a part of the generated harmonic radiation is able to exit the cavity. The optical assembly is further configured to shape the drive radiation into a converging hollow beam before the drive radiation passes through the interaction region.
(FR)
L'invention concerne un ensemble de génération d'harmoniques élevées et un procédé de génération d'un rayonnement harmonique élevé. L'ensemble comprend une cavité configurée pour recevoir un rayonnement d'entrée et augmenter l'intensité du rayonnement d'entrée à l'intérieur de la cavité pour former un rayonnement d'entraînement approprié pour une utilisation dans une génération d'harmoniques élevées. L'ensemble comprend en outre une région d'interaction à l'intérieur de la cavité au niveau de laquelle, lors de l'utilisation, un milieu est présent, le milieu étant configuré pour générer un rayonnement harmonique par génération d'harmoniques élevées lorsque le rayonnement d'entraînement est incident sur celui-ci, et un ensemble optique configuré pour diriger le rayonnement d'entraînement pour passer à travers la région d'interaction, et comprenant un coupleur de sortie comprenant une ouverture à travers laquelle au moins une partie du rayonnement harmonique généré peut sortir de la cavité. L'ensemble optique est en outre configuré pour mettre en forme le rayonnement d'entraînement en un faisceau creux convergent avant que le rayonnement d'entraînement ne passe à travers la région d'interaction.
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau