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1. WO2021043464 - INTERFEROMETER DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING AN INTERFEROMETER DEVICE

Publication Number WO/2021/043464
Publication Date 11.03.2021
International Application No. PCT/EP2020/069098
International Filing Date 07.07.2020
IPC
G01J 3/02 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
G01J 3/26 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
12Generating the spectrum; Monochromators
26using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filter
CPC
G01J 3/021
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
021using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
G01J 3/0259
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
0256Compact construction
0259Monolithic
G01J 3/0291
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
0291Housings; Spectrometer accessories; Spatial arrangement of elements, e.g. folded path arrangements
G01J 3/26
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
12Generating the spectrum; Monochromators
26using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
Applicants
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Inventors
  • SCHELLING, Christoph
Priority Data
10 2019 213 285.503.09.2019DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) INTERFEROMETEREINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER INTERFEROMETEREINRICHTUNG
(EN) INTERFEROMETER DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING AN INTERFEROMETER DEVICE
(FR) DISPOSITIF INTERFÉROMÈTRE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN DISPOSITIF INTERFÉROMÈTRE
Abstract
(DE)
Die vorliegende Erfindung schafft eine Interferometereinrichtung (10) umfassend ein Fabry-Perot-Interferometer (1), welches zumindest zwei zueinander beabstandete Spiegeleinrichtungen (SP1; SP2) und ein Substrat (2) umfasst, wobei die Spiegeleinrichtungen (SP1; SP2) jeweils parallel über dem Substrat (2) angeordnet sind und zumindest eine der Spiegeleinrichtungen (SP1; SP2) beweglich ist, wobei das Substrat (2) in einem optischen Bereich (OB) lateral innerhalb eines Randbereiches (RB) eine Ausnehmung (A) umfasst; ein Basissubstrat (3), welches eine elektrische Leiterbahn (5) umfasst, wobei das Fabry-Perot-Interferometer (1) auf dem Basissubstrat (3) angeordnet ist; und zumindest eine Detektoreinrichtung (6), welche auf dem Basissubstrat (2) angeordnet ist und mittels der elektrischen Leiterbahn (5) elektrisch kontaktierbar ist, wobei das Fabry-Perot-Interferometer (1) über der Detektoreinrichtung (6) angeordnet ist und diese zumindest teilweise mit der Ausnehmung (A) überspannt; und eine Spiegelschicht (8), auf welcher die Detektoreinrichtung (6) angeordnet ist und welche sich zwischen dem Basissubstrat (3) und der Detektoreinrichtung (6) befindet.
(EN)
The present invention relates to an interferometer device (10) comprising: a Fabry-Pérot interferometer (1) which comprises at least two spaced-apart mirror devices (SP1; SP2) and a substrate (2), the mirror devices (SP1; SP2) each being arranged in parallel above the substrate (2), and at least one of the mirror devices (SP1; SP2) being movable, the substrate (2) comprising a recess (A) in an optical region (OB) laterally within an edge region (RB); a base substrate (3), which comprises a printed electrical conductor (5), the Fabry-Pérot interferometer (1) being arranged on the base substrate (3); and at least one detector device (6), which is arranged on the base substrate (2) and can be electrically contacted by means of the printed electrical conductor (5), the Fabry-Pérot interferometer (1) being arranged above the detector device (6) and spanning same at least partially with the recess (A); and a reflective layer (8) on which the detector device (6) is arranged and which is situated between the base substrate (3) and the detector device (6).
(FR)
La présente invention concerne un dispositif interféromètre (10) comprenant : un interféromètre de Fabry-Pérot (1) qui comprend au moins deux dispositifs miroirs espacés (SP1 ; SP2) et un substrat (2), les dispositifs miroirs (SP1 ; SP2) étant chacun agencés en parallèle au-dessus du substrat (2), et au moins l'un des dispositifs miroirs (SP1 ; SP2) étant mobile, le substrat (2) comprenant un évidement (A) dans une région optique (OB) latéralement à l'intérieur d'une région de bord (RB) ; un substrat de base (3), qui comprend un conducteur électrique imprimé (5), l'interféromètre de Fabry-Pérot (1) étant disposé sur le substrat de base (3) ; et au moins un dispositif détecteur (6), qui est disposé sur le substrat de base (2) et peut être mis en contact électrique au moyen du conducteur électrique imprimé (5), l'interféromètre de Fabry-Pérot (1) étant disposé au-dessus du dispositif détecteur (6) et s'étendant au moins partiellement avec l'évidement (A) ; et une couche réfléchissante (8) sur laquelle est agencé le dispositif détecteur (6) et qui est située entre le substrat de base (3) et le dispositif détecteur (6).
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau