(EN) A radio frequency (RF) power generator adapted for coupling to a multi- station integrated circuit fabrication chamber may include an oscillator to provide a periodic signal and one or more preamplifiers each having an input port to receive a signal from the oscillator and having an output port to provide an amplified signal. The RF generator may additionally include one or more constant-gain amplifiers, each having an input port to receive a signal from the one or more preamplifiers, and an output port configured for coupling an amplified signal to an electrode for generating a plasma in an assigned station of the multi-station integrated circuit fabrication chamber.
(FR) L'invention concerne un générateur d'énergie radiofréquence (RF) conçu pour être couplé à une chambre de fabrication de circuit intégré multi-station pouvant comprendre un oscillateur permettant de fournir un signal périodique et un ou plusieurs préamplificateurs ayant chacun un port d'entrée permettant de recevoir un signal provenant de l'oscillateur et ayant un port de sortie permettant de fournir un signal amplifié. Le générateur RF peut en outre comprendre un ou plusieurs amplificateurs à gain constant, ayant chacun un port d'entrée permettant de recevoir un signal provenant du ou des préamplificateurs, et un port de sortie configuré pour coupler un signal amplifié à une électrode afin de générer un plasma dans une station attribuée de la chambre de fabrication de circuit intégré multi-station.