1. WO2021007017 - HYBRID MATCHING NETWORK TOPOLOGY

The present disclosure relates to plasma generation systems which utilize plasma for semiconductor processing. The plasma generation system disclosed herein employs a hybrid matching network. The plasma generation system includes a RF generator and a matching network. The matching network includes a first-stage to perform low-Q impedance transformations during high-speed variations in impedance. The matching network includes a second-stage to perform impedance matching for high-Q impedance transformations. The matching network further includes a sensor coupled to the first-stage and the second-stage to calculate the signals that are used to engage the first and second-stages. The matching network includes a first-stage network that is agile enough to tune each state in a modulated RF waveform and a second-stage network to tune a single state in a RF modulated waveform. The plasma generation system also includes a plasma chamber coupled to the matching network.

La présente invention concerne des systèmes de génération de plasma qui utilisent un plasma pour le traitement de semi-conducteurs. Le système de génération de plasma selon l'invention utilise un réseau d'adaptation hybride. Le système de génération de plasma comprend un générateur RF et un réseau d'adaptation. Le réseau d'adaptation comprend un premier étage pour effectuer des transformations d'impédance à faible Q pendant des variations à grande vitesse de l'impédance. Le réseau d'adaptation comprend un second étage pour effectuer une adaptation d'impédance pour des transformations d'impédance à Q élevé. Le réseau d'adaptation comprend en outre un capteur couplé au premier étage et au second étage pour calculer les signaux qui sont utilisés pour mettre en prise les premier et second étages. Le réseau d'adaptation comprend un réseau de premier étage qui est suffisamment agile pour accorder chaque état dans une forme d'onde RF modulée et un réseau de second étage pour accorder un état unique dans une forme d'onde modulée RF. Le système de génération de plasma comprend en outre une chambre de plasma couplée au réseau d'adaptation.