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1. WO2020247138 - SYSTEMS AND METHODS FOR TUNING A MHZ RF GENERATOR WITHIN A CYCLE OF OPERATION OF A KHZ RF GENERATOR

Publication Number WO/2020/247138
Publication Date 10.12.2020
International Application No. PCT/US2020/031723
International Filing Date 06.05.2020
IPC
H01J 37/32 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes
Applicants
  • LAM RESEARCH CORPORATION [US]/[US]
Inventors
  • HOWALD, Arthur, M.
  • VALCORE, John, C., Jr.
Agents
  • PATEL, Nishitkumar, V.
  • PENILLA, Albert, S.
Priority Data
62/858,53807.06.2019US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) SYSTEMS AND METHODS FOR TUNING A MHZ RF GENERATOR WITHIN A CYCLE OF OPERATION OF A KHZ RF GENERATOR
(FR) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE SYNTONISATION D'UN GÉNÉRATEUR RF DE MHZ LORS D'UN CYCLE DE FONCTIONNEMENT D'UN GÉNÉRATEUR RF DE KHZ
Abstract
(EN)
Systems and methods for tuning a megahertz radio frequency (RF) generator within a cycle of operation of a kilohertz (kHz) RF generator are described. In one of the methods, a predetermined periodic waveform is provided to a processor. The processor uses a computer- based model to determine plurality of frequency parameters for the predetermined periodic waveform. The frequency parameters are applied to the megahertz RF generator to generate an RF signal having the frequency parameters during one or more cycles of operation of the kilohertz RF generator.
(FR)
L'invention concerne des systèmes et des procédés de syntonisation d'un générateur radiofréquence (RF) de mégahertz lors d'un cycle de fonctionnement d'un générateur RF de kilohertz (kHz). Dans l'un des procédés, une forme d'onde périodique prédéterminée est fournie à un processeur. Le processeur utilise un modèle informatique pour déterminer une pluralité de paramètres de fréquence pour la forme d'onde périodique prédéterminée. Les paramètres de fréquence sont appliqués au générateur RF de mégahertz pour générer un signal RF ayant les paramètres de fréquence pendant un ou plusieurs cycles de fonctionnement du générateur RF de kilohertz.
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