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1. WO2020223127 - DUAL-FREQUENCY, DIRECT-DRIVE INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

Publication Number WO/2020/223127
Publication Date 05.11.2020
International Application No. PCT/US2020/029877
International Filing Date 24.04.2020
IPC
H01J 37/32 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes
Applicants
  • LAM RESEARCH CORPORATION [US]/[US]
Inventors
  • LONG, Maolin
  • WANG, Yuhou
  • PATERSON, Alexander Miller
Agents
  • WIGGINS, Michael D.
Priority Data
62/840,55430.04.2019US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) DUAL-FREQUENCY, DIRECT-DRIVE INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE
(FR) SOURCE DE PLASMA COUPLÉE INDUCTIVEMENT À ATTAQUE DIRECTE, DOUBLE FRÉQUENCE
Abstract
(EN)
A direct drive system for providing RF power to a substrate processing system includes a direct drive enclosure including a first direct drive circuit located in the direct drive enclosure and operating at a first frequency and a first connector connected to the first direct drive circuit. A junction box is arranged adjacent to the direct drive enclosure and includes a first capacitive circuit connected to the first direct drive circuit; a second connector located on one side of the junction box, connected to one terminal of the first capacitive circuit and mating with the first connector of the direct drive enclosure; third and fourth connectors connected to another terminal of the first capacitive circuit; and a coil enclosure arranged adjacent to the junction box and including first and second coils and fifth and sixth connectors mating with the third and fourth connectors of the junction box.
(FR)
L'invention concerne un système de commande directe pour fournir une puissance RF à un système de traitement de substrat comprenant une enceinte d'attaque directe comprenant un premier circuit d'attaque directe situé dans l'enceinte d'attaque directe et fonctionnant à une première fréquence et un premier connecteur connecté au premier circuit d'attaque directe. Une boîte de jonction est disposée adjacente à l'enceinte d'attaque directe et comprend un premier circuit capacitif connecté au premier circuit d'attaque directe; un deuxième connecteur situé sur un côté de la boîte de jonction, connecté à une borne du premier circuit capacitif et s'accouplant avec le premier connecteur de l'enceinte d'attaque directe; des troisième et quatrième connecteurs connectés à une autre borne du premier circuit capacitif; et une enceinte de bobine agencée adjacente à la boîte de jonction et comprenant des première et seconde bobines et des cinquième et sixième connecteurs s'accouplant avec les troisième et quatrième connecteurs de la boîte de jonction.
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