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1. WO2020221836 - METHOD FOR EXTRACTING A TRANSVERSE MAGNETO-OPTIC EFFECT SIGNAL

Publication Number WO/2020/221836
Publication Date 05.11.2020
International Application No. PCT/EP2020/061966
International Filing Date 29.04.2020
IPC
G01R 33/12 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
12Measuring magnetic properties of articles or specimens of solids or fluids
G01R 33/02 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
CPC
G01R 33/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
G01R 33/12
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
12Measuring magnetic properties of articles or specimens of solids or fluids
Applicants
  • ASOCIACIÓN CENTRO DE INVESTIGACIÓN COOPERATIVA EN NANOCIENCIAS (CIC NANOGUNE) [ES]/[ES]
  • ASOCIACIÓN CENTRO TECNOLÓGICO CEIT [ES]/[ES]
Inventors
  • OBLAK, Eva
  • RIEGO SAAVEDRA, Patricia
  • BERGER, Andreas
  • GARCÍA MANSO, Aitor
  • MARTÍNEZ DE GUEREÑU ELORZA, Ane
  • ARIZTI, Fernando
  • IRIZAR PICÓN, Andoni
Agents
  • ZBM PATENTS - ZEA, BARLOCCI & MARKVARDSEN
Priority Data
19382328.330.04.2019EP
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) METHOD FOR EXTRACTING A TRANSVERSE MAGNETO-OPTIC EFFECT SIGNAL
(FR) PROCÉDÉ D'EXTRACTION D'UN SIGNAL D'EFFET MAGNÉTO-OPTIQUE TRANSVERSE
Abstract
(EN)
An apparatus to detect and measure a T-MOKE signal comprises a first linear polarizer (20) located on the optical path between a light source (10) and a reflecting surface of a sample (90), a device (30) to produce a magnetic field at the sample location, the device being configured to direct the magnetization perpendicularly to the optical plane of incidence and to reverse the direction of the magnetic field, a rotatable quarter-wave plate (40) located after the reflecting surface on the optical path of the reflected light, a second linear polarizer (50) that is rotatable and is located after the quarter-wave plate on the optical path of the reflected light, and a photo-detector (60) located after the second linear polarizer on the optical path of the reflected light, the photo-detector being configured to measure the intensity of the light that reaches it. A method for extracting a T-MOKE signal in an ellipsometric measurement procedure employs such an apparatus. The method comprises a polarization detection scheme to ascertain that a T-MOKE signal (and not a noise signal) is indeed detected and to measure it.
(FR)
L'invention concerne un appareil permettant de détecter et de mesurer un signal T-MOKE comprenant un premier polariseur linéaire (20) situé sur le trajet optique entre une source de lumière (10) et une surface réfléchissante d'un échantillon (90), un dispositif (30) permettant de produire un champ magnétique au niveau de l'emplacement de l'échantillon, le dispositif étant conçu pour diriger l'aimantation perpendiculairement au plan optique d'incidence et pour inverser la direction du champ magnétique, une lame quart d'onde rotative (40) située après la surface réfléchissante sur le trajet optique de la lumière réfléchie, un second polariseur linéaire (50) rotatif et situé après la plaque quart d'onde sur le trajet optique de la lumière réfléchie, et un photodétecteur (60) situé après le second polariseur linéaire sur le trajet optique de la lumière réfléchie, le photodétecteur étant conçu pour mesurer l'intensité de la lumière qui l'atteint. L'invention concerne également un procédé d'extraction d'un signal T-MOKE dans une procédure de mesure ellipsométrique utilisant ledit appareil. Le procédé consiste en une méthode de détection de polarisation permettant de déterminer qu'un signal T-MOKE (et non un signal de bruit) est bien détecté et de mesurer ce dernier.
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