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1. WO2020221646 - PERFORATED MEMBRANE REFLECTOR FOR REDUCING OPERATING VOLTAGE AND TUNABLE FABRY-PEROT INTERFEROMETER

Publication Number WO/2020/221646
Publication Date 05.11.2020
International Application No. PCT/EP2020/061299
International Filing Date 23.04.2020
IPC
G02B 7/192 2006.01
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
7Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
18for prisms; for mirrors
182for mirrors
192with means for minimising internal mirror stresses
G01J 3/26 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
12Generating the spectrum; Monochromators
26using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filter
CPC
G01J 3/26
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
12Generating the spectrum; Monochromators
26using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
G02B 7/192
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
7Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
18for prisms; for mirrors
182for mirrors
192with means for minimising internal mirror stresses ; not in use
Applicants
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Inventors
  • BUCK, Thomas
  • HUBER, Christian
  • ROEDEL, Reinhold
  • STEIN, Benedikt
  • SCHELLING, Christoph
  • KRAEMMER, Christoph Daniel
Priority Data
10 2019 206 151.630.04.2019DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) PERFORIERTER MEMBRANSPIEGEL ZUR REDUKTION DER BETRIEBSSPANNUNG UND DURCHSTIMMBARES FABRY-PEROT INTERFEROMETER
(EN) PERFORATED MEMBRANE REFLECTOR FOR REDUCING OPERATING VOLTAGE AND TUNABLE FABRY-PEROT INTERFEROMETER
(FR) MIROIR PERFORÉ À MEMBRANE PERMETTANT DE RÉDUIRE LA TENSION DE SERVICE ET INTERFÉROMÈTRE DE FABRY-PEROT DÉTERMINABLE
Abstract
(DE)
Die vorliegende Erfindung schafft eine Spiegeleinrichtung (1) für eine Interferometereinrichtung, umfassend ein Substrat mit einer darauf angeordneten Spiegelschicht (3), wobei die Spiegelschicht (3) einen optische Bereich (OA) in einem Mittelbereich (MB) der Spiegelschicht (3) umfasst; einen Federbereich (4) umfasst, welcher den Mittelbereich (MB) zumindest teilweise lateral umläuft und zumindest eine steifigkeitsreduzierende Ausnehmung (4a) umfasst; und über den Federbereich (4) aktuierbar ist.
(EN)
The present invention relates to a reflector device (1) for an interferometer device, comprising a substrate having a reflective layer (3) arranged thereon, wherein the reflective layer (3): comprises an optical region (OA) in a center region (MB) of the reflective layer (3); comprises a spring region (4), which laterally encircles the center region (MB) at least in part and comprises at least one stiffness-reducing recess (4a); and is actuatable via the spring region (4).
(FR)
La présente invention concerne un dispositif à miroir (1) pour un dispositif d'interférométrie, le dispositif à miroir comprenant un substrat sur lequel est disposée une couche réfléchissante (3), la couche réfléchissante (3) comprenant une zone optique (OA) dans une zone centrale (MB) de la couche réfléchissante (3) ; comprenant une zone élastique (4) qui fait au moins en partie latéralement le tour de la zone centrale (MB) et comprend au moins un évidement (4a) réduisant la rigidité ; et pouvant être actionné par l'intermédiaire de la zone élastique (4).
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