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1. WO2020220707 - IMAGE POINT SOURCE TRACING-BASED ERROR CORRECTION METHOD FOR PHASE MEASUREMENT OF OBJECT GRATING IMAGE USING PHASE SHIFTING METHOD

Publication Number WO/2020/220707
Publication Date 05.11.2020
International Application No. PCT/CN2019/128940
International Filing Date 27.12.2019
IPC
G01B 11/25 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. moiré fringes, on the object
CPC
G01B 11/2531
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. ; one or more lines,; moiré fringes on the object
2531using several gratings, projected with variable angle of incidence on the object, and one detection device
Applicants
  • 何再兴 HE, Zaixing [CN]/[CN]
Inventors
  • 何再兴 HE, Zaixing
  • 赵昕玥 ZHAO, Xinyue
  • 李沛隆 LI, Peilong
Agents
  • 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) HANGZHOU HUADING INTELLECTUAL PROPERTY LAW FIRM
Priority Data
201910363567.830.04.2019CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) IMAGE POINT SOURCE TRACING-BASED ERROR CORRECTION METHOD FOR PHASE MEASUREMENT OF OBJECT GRATING IMAGE USING PHASE SHIFTING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE CORRECTION D'ERREURS BASÉ SUR LE SUIVI DE SOURCE DE POINT D'IMAGE POUR LA MESURE DE PHASE D'UNE IMAGE DE RÉSEAU D'OBJET À L'AIDE D'UN PROCÉDÉ DE DÉPHASAGE
(ZH) 像点溯源的物体光栅图像相移法相位测量误差校正方法
Abstract
(EN)
Provided is an image point source tracing-based error correction method for phase measurement of an object grating image using a phase shifting method. In topography measurement using a phase shifting method, surface height information is characterized by phase information. Due to the nonlinearity of a device, errors inevitably occur in the phase information calculated by means of a picture captured by a camera (6). Firstly, a projector (2) projects a special grating projection to solve an image point source tracing mapping relationship. Then, with regard to any picture pixel in the photographed picture, the position of a point light source which is located in an imaging plane of the projector and lights up the picture pixel is determined according to the image point source tracing mapping relationship against an optical path direction. Finally, an ideal phase encoded into the point light source is used to replace the disturbed phase information in the picture pixel, thereby achieving the correction of the phase error and improving the topography measurement accuracy of the phase shifting method. Compared with the existing method, the method above is easy to operate, and has high efficiency and accuracy.
(FR)
L'invention concerne un procédé de correction d'erreurs basé sur le suivi de source de point d'image pour la mesure de phase d'une image de réseau d'objet à l'aide d'un procédé de déphasage. Dans une mesure de topographie à l'aide d'un procédé de déphasage, des informations de hauteur de surface sont caractérisées par des informations de phase. En raison de la non-linéarité d'un dispositif, des erreurs se produisent inévitablement dans les informations de phase calculées au moyen d'une image capturée par une caméra (6). Tout d'abord, un projecteur (2) projette une projection de réseau spécial pour résoudre une relation de mappage de suivi de source de point d'image. Ensuite, en ce qui concerne tout pixel d'image dans l'image photographiée, la position d'une source de lumière ponctuelle qui est située dans un plan d'imagerie du projecteur et éclaire le pixel d'image est déterminée en fonction de la relation de mappage de suivi de source de point d'image par rapport à une direction de trajet optique. Enfin, une phase idéale codée dans la source de lumière ponctuelle sert à remplacer les informations de phase perturbée dans le pixel d'image, ce qui permet d'obtenir la correction de l'erreur de phase et d'améliorer la précision de la mesure de topographie du procédé de déphasage. Par rapport au procédé existant, le procédé susmentionné est facile à utiliser et présente une efficacité et une précision élevées.
(ZH)
提供一种像点溯源的物体光栅图像相移法相位测量误差校正方法。在相移法形貌测量中,表面高度信息由相位信息进行表征。由于设备的非线性,经由相机(6)捕获的图片所计算的相位信息中不可避免地存在误差。首先,通过投影仪(2)投射特殊的光栅投影求解像点溯源映射关系。然后,逆着光路方向,对位于拍摄图片中的任一图片像素,根据像点溯源映射关系,确定将其点亮的位于投影仪成像平面中的点光源位置。最后,利用编码至点光源中的理想相位,替换图片像素中受干扰的相位信息,实现相位误差的校正,提高相移法形貌测量精度。与现有方法相比,本方法便于操作,且效率和精度较高。
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