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1. WO2020220518 - MULTIFUNCTIONAL EXPOSURE MACHINE BASE TABLE DEVICE

Publication Number WO/2020/220518
Publication Date 05.11.2020
International Application No. PCT/CN2019/101503
International Filing Date 20.08.2019
IPC
G03F 7/20 2006.01
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20Exposure; Apparatus therefor
Applicants
  • 安徽帝显电子有限公司 ANHUI DIXIAN ELECTRONIC CO., LTD [CN]/[CN]
Inventors
  • 蒋燕红 JIANG, Yanhong
  • 程言军 CHENG, Yanjun
  • 蒋来红 JIANG, Laihong
Agents
  • 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 BEIJING SHENGFANZHIRONG INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO. LTD
Priority Data
201920597663.428.04.2019CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) MULTIFUNCTIONAL EXPOSURE MACHINE BASE TABLE DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TABLE DE BASE DE MACHINE D'EXPOSITION MULTIFONCTION
(ZH) 一种多功能的曝光机基台装置
Abstract
(EN)
Disclosed is a multifunctional exposure machine base table device belonging to the technical field of exposure machines, the device comprising a machine base housing (1). A base table frame (2) is arranged in the machine base housing (1), a glass base table (3) is arranged in the base table frame (2), and a brush plate mechanism (4) abuts against an upper side of the glass base table (3). By means of the provided structures, such as an electric push rod (8), the brush plate mechanism (4) and a lug plate (5), reciprocating scraping and brushing of a dust wiper (45) can be achieved, the transmission is simple and reliable, the dust wiper (45) in the brush plate mechanism (4) is convenient to dismount and clean, and a pre-tightening force between the dust wiper (45) and the glass base table (3) can be adjusted, thereby ensuring the effectiveness of scraping dust by means of the dust wiper (45). By means of provided air nozzles (12) that are distributed linearly, residual water, after cleaning using the dust wiper (45), can be quickly air-dried. By means of a provided air purifier (13), air blown to the base table can be cleaner, thereby ensuring the cleanliness of the base table. By means of arranging protruding strips (31) on the surface of the glass base table (3), an attachment force between the glass base table (3) and an exposure base plate is reduced, such that the exposure base plate is more convenient to dismount and use.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de table de base de machine d'exposition multifonction appartenant au domaine technique des machines d'exposition, le dispositif comprenant un boîtier de base de machine (1). Un cadre de table de base (2) est disposé dans le boîtier de base de machine (1), une table de base en verre (3) est disposée dans le cadre de table de base (2), et un mécanisme de plaque de brosse (4) vient en butée contre un côté supérieur de la table de base en verre (3). Au moyen des structures fournies, telles qu'une tige de poussée électrique (8), le mécanisme de plaque de brosse (4) et une plaque de patte (5), il est possible pour un balai à poussière (45) de racler et de brosser en va-et-vient, la transmission est simple et fiable, le balai à poussière (45) situé dans le mécanisme de plaque de brosse (4) est simple à démonter et à nettoyer, et une force de pré-serrage entre le balai à poussière (45) et la table de base en verre (3) peut être réglée, ce qui permet d'assurer l'efficacité du raclage de poussière au moyen du balai à poussière (45). Des buses d'air (12) réparties de manière linéaire permettent de rapidement sécher à l'air de l'eau résiduelle laissée après le nettoyage à l'aide du balai à poussière (45). Un purificateur d'air (13) permet de purifier l'air soufflé vers la table de base, ce qui permet d'assurer la propreté de la table de base. L'agencement de bandes en saillie (31) sur la surface de la table de base en verre (3) permet de réduire une force de fixation entre la table de base en verre (3) et une plaque de base d'exposition, de telle sorte que la plaque de base d'exposition est plus commode à démonter et à utiliser.
(ZH)
一种曝光机技术领域的多功能的曝光机基台装置,包括有机座壳(1),机座壳(1)内设置有基台框(2),基台框(2)内设置有玻璃基台(3),玻璃基台(3)上侧抵接设置有刷板机构(4),通过设置的电动推杆(8)、刷板机构(4)、耳板(5)等结构,能够实现灰尘擦(45)的往复刮刷,传动简单可靠,且刷板机构(4)中灰尘擦(45)方便拆卸清洗,且灰尘擦(45)与玻璃基台(3)之间预紧力可以调节,保证了灰尘擦(45)刮除灰尘的有效性,通过设置的线型分布的气嘴(12),能够快速风干灰尘擦(45)清理后残留的水分,通过设置的空气净化器(13)能够使得吹向基台的空气更加干净,保证基台的洁净度,通过在玻璃基台(3)表面设置凸条(31),减小了玻璃基台(3)与曝光基板之间的吸附力,使得曝光基板拆用更方便。
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