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1. WO2020204300 - CHEMICAL LIQUID FEEDING APPARATUS FOR FEEDING CHEMICAL LIQUID USED IN INKJET PRINTER FOR MANUFACTURING DISPLAY

Document

명세서

발명의 명칭

기술분야

1  

배경기술

2   3   4   5   6  

발명의 상세한 설명

기술적 과제

7   8   9  

과제 해결 수단

10   11   12   13   14   15   16   17   18   19  

발명의 효과

20   21  

도면의 간단한 설명

22   23   24   25   26  

발명의 실시를 위한 형태

27   28   29   30   31   32   33   34   35   36   37   38   39   40   41   42   43   44   45   46   47   48   49   50   51   52   53   54   55   56   57   58   59   60   61   62   63  

청구범위

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10  

도면

1   2   3   4   5  

명세서

발명의 명칭 : 디스플레이 제조용 잉크젯 프린터에 이용되는 약액을 공급하는 약액 공급 장치

기술분야

[1]
본 발명은 디스플레이 제조용 잉크젯 프린터에 이용되는 약액이 담기는 약액 용기에 신규 약액을 공급하는 장치로, 보다 상세하게는 약액 공급 챔버 내에 불활성 기체를 공급하여 약액 공급 챔버 내의 산소 농도와 습도가 조절되는 약액 공급 장치에 관한 것이다.

배경기술

[2]
잉크젯 프린팅(inkjet printing) 기술은 종이에 잉크를 뿌려 인쇄하는 것처럼 수십 피코리터(1조분의 1리터) 이하의 액적(液滴)을 전자기력이나 공압에 의해 초당 수백 번 이상의 빈도로 인쇄할 대상에 분사하는 기술을 의미한다. 이는 반도체 공정이나 디스플레이 공정에 사용되는 포토리소그래피(photolithography) 공정을 대체하는 기술로 주목받고 있다.
[3]
포토리소그래피 공정과 잉크젯 프린팅 공정의 비교를 도 1에 나타내었다. 포토리소그래피 공정은 도 1에 도시한 바와 같이 고가의 재료를 웨이퍼에 도포한 후, 필요한 부분을 남기고 필요없는 부분을 화학물질 등으로 제거하여 패턴을 형성하는 공정으로, 공정이 복잡하고, 비용이 많이 소요되며, 환경 오염이 발생하는 문제점이 있다. 이에 반해, 잉크젯 프린팅 공정은 도 1에 도시된 바와 같이 공정이 매우 간단하며, 재료의 낭비가 적어 환경 오염이 발생하지 않는 장점이 있다.
[4]
최근 들어 디스플레이 분야에서 잉크젯 프린팅 공정 도입을 위해 많은 연구가 이루어지고 있는 추세이다. 특히 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED) 분야의 경우, 도 2에 도시한 바와 같이 잉크젯 헤드(Inkjet Head)를 이용하여 OLED 발광 소재(Red Emitter, Green Emitter, Blue Emitter)를 직접 기판 위에 분사하여 코팅하는 방식으로 OLED를 양산할 수 있어, 잉크젯 프린팅 공정 도입에 보다 적극적이다. 이러한 잉크젯 프린팅 공정을 도입할 경우 생산 효율이 증가하게 되고, 유리 기판을 자르지 않더라도 양산이 가능하여 대면적 OLED를 생산하기에 매우 적합하다.
[5]
이러한 잉크젯 프린팅 기술을 구현하는 장비인 잉크젯 프린터는 OLED 발광 소재가 포함된 약액을 이용하여 코팅하게 되므로, 약액이 소모되면 신규 약액을 보충하거나 교환해야 한다. 약액을 교환하거나 보충할 때 약액 용기의 마개를 오픈하게 되는데, 이때 용제가 휘발될 수 있으며, 약액이 산화되거나 대기 중의 수분이 약액으로 침투로 인해 약액의 변성이 발생될 수 있다. 또한, 대기 중의 파티클이 약액으로 침투하거나 약액의 산화나 수분 침투 과정에서 파티클이 발생하여 OLED 칩에 불량을 야기할 수 있으며, 파티클에 의해 잉크젯 헤드의 노즐이 폐색되는 현상이 발생하기도 한다.
[6]
따라서 신규 약액을 공급할 때 약액의 변성을 방지할 수 있는 약액 공급 장치의 개발이 필요한 실정이다.

발명의 상세한 설명

기술적 과제

[7]
상술한 바와 같이, 약액 용기에 신규 약액을 공급할 때에 산화, 수분 침투, 파티클 침투로 인한 수율 감소, 공정 운영 비용 증가 등의 문제가 발생하고 있다. 또한, 종래에는 작업자가 20 L 중량의 약액 용기를 직접 이동하여 수작업으로 신규 약액을 공급함으로써, 20 L 중량의 약액 용기 이동 중 작업자가 사고를 당하거나, 약액이 누출되는 사고가 발생하기도 하며, 약액 용기를 수작업으로 조립할 때 작업자의 숙련도에 따라 품질 편차가 발생하는 문제점이 발생하기도 한다.
[8]
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 고안된 것으로, 약액 용기에 약액을 공급할 때 불활성 기체 분위기를 형성한 후 약액 용기 마개를 오픈함으로써 용제의 휘발, 산화, 대기 중 수분 침투를 방지하고, 자동으로 약액 용기 마개를 개폐함으로써 수작업으로써 약액 용기 마개를 개폐할 때 발생하는 문제점을 해결할 수 있는 약액 공급 장치를 제공하고자 한다.
[9]
다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.

과제 해결 수단

[10]
상기의 기술적 과제를 해결하기 위한, 본 발명에 따른 약액 공급 장치의 일 실시예는 디스플레이 제조용 잉크젯 프린터에 이용되는 약액이 담기는 약액 용기에 약액을 공급하는 장치로, 불활성 기체가 유입되는 불활성 기체 유입구와 내부 기체가 배기되는 배기구가 형성되어 있는 약액 공급 챔버; 상기 불활성 기체 유입구에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급 수단; 상기 약액 공급 챔버 내부에 설치되며, 상기 약액 용기 마개를 개폐해는 약액 용기 마개 개폐 수단; 및 상기 약액 용기에 약액을 공급하는 약액 공급 수단;을 포함하며, 상기 약액 공급 챔버 내로 공급되는 불활성 기체에 의해 상기 약액 공급 챔버 내부의 산소 농도를 기설정된 농도 이하로 감소시킨다.
[11]
본 발명에 따른 약액 공급 장치의 일부 실시예들에 있어서, 상기 약액 공급 챔버 내부에 설치되는 산소 농도 측정 수단을 더 포함하고, 상기 산소 농도 측정 수단에 의해 측정된 산소 농도가 상기 기설정된 농도 이하일 때, 상기 약액 용기 마개 개폐 수단에 의해 상기 약액 용기 마개를 오픈할 수 있다.
[12]
본 발명에 따른 약액 공급 장치의 일부 실시예들에 있어서, 상기 약액 공급 챔버 내로 공급되는 불활성 기체에 의해 상기 약액 공급 챔버 내의 습도를 기설정된 습도 이하로 감소시킬 수 있다.
[13]
본 발명에 따른 약액 공급 장치의 일부 실시예들에 있어서, 상기 약액 공급 챔버 내부에 설치되는 습도 측정 수단을 더 포함하고, 상기 습도 측정 수단에 의해 측정된 습도가 상기 기설정된 습도 이하일 때, 상기 약액 용기 마개 개폐 수단에 의해 상기 약액 용기 마개를 오픈할 수 있다.
[14]
본 발명에 따른 약액 공급 장치의 일부 실시예들에 있어서, 상기 약액 공급 챔버 내부에 설치되는 파티클 측정 수단을 더 포함할 수 있다.
[15]
본 발명에 따른 약액 공급 장치의 일부 실시예들에 있어서, 상기 약액 용기 마개 개폐 수단은 상기 약액 용기 마개를 감싸쥐도록 형성된 그리퍼(gripper)를 포함할 수 있다.
[16]
본 발명에 따른 약액 공급 장치의 일부 실시예들에 있어서, 상기 그리퍼는 실리콘 패드를 포함하여 이루어질 수 있다.
[17]
본 발명에 따른 약액 공급 장치의 일부 실시예들에 있어서, 상기 약액 공급 챔버 내부에 설치되는 상기 약액 용기 반송(搬送) 수단을 더 포함하며, 상기 약액 공급 챔버에는 상기 약액 용기가 상기 약액 용기 반송 수단을 통해 출입할 수 있는 약액 용기 입구와 약액 용기 출구가 형성되어 있고, 상기 약액 공급 챔버는, 상기 약액 용기 입구를 개폐하는 입구 게이트; 및 상기 약액 용기 출구를 개폐하는 출구 게이트;를 포함할 수 있다.
[18]
본 발명에 따른 약액 공급 장치의 일부 실시예들에 있어서, 상기 약액 공급 챔버 내부에 설치되며, 상기 약액 용기의 중량을 측정하는 상기 약액 용기 중량 측정 수단을 더 포함할 수 있다.
[19]
본 발명에 따른 약액 공급 장치의 일부 실시예들에 있어서, 상기 약액 공급 챔버 내부에 설치되며, 상기 약액 용기 내의 약액이 침전되는 것이 방지되도록 상기 약액 용기에 진동을 가하는 진동 인가 수단을 더 포함할 수 있다.

발명의 효과

[20]
본 발명에 따르면, 약액 용기를 불활성 분위기에 위치시킨 후 산소 농도와 습도가 기설정된 산소 농도와 기설정된 습도 이하일 때 약액 용기 마개를 오픈하게 되므로, 용제가 휘발되거나 산화되는 것이 방지되며, 대기중의 수분이 약액에 침투하는 것도 방지된다. 또한, 약액의 산화나 수분 침투가 방지되므로 파티클이 발생이 억제되어 파티클 발생에 따른 수율 저하, 잉크젯 헤드 노즐 폐색 등이 방지된다.
[21]
또한, 약액 용기는 반송 수단에 의해 이송되어 작업자 이송에 따른 사고 위험이 감소하며, 약액 용기 마개를 자동으로 개폐하므로 수작업으로 마개를 개폐할 때 발생하는 문제점이 발생하지 않는다.

도면의 간단한 설명

[22]
도 1은 포토리소그래피 공정과 잉크젯 프린팅 공정을 비교 설명하기 위한 도면이다.
[23]
도 2는 유기발광다이오드 제조에 이용되는 잉크젯 프린팅 공정을 설명하기 위한 도면이다.
[24]
도 3은 본 발명에 따른 약액 공급 장치의 일 실시예를 개략적으로 나타낸 도면이다.
[25]
도 4는 본 발명에 따른 약액 공급 장치에 구비되는 약액 용기 마개 개폐 수단으로 약액 용기 마개를 약액 용기에 결합하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
[26]
도 5는 본 발명에 따른 약액 공급 장치에 구비되는 약액 용기 마개 개폐 수단의 그리퍼의 재질에 따른 오픈 토크를 나타낸 도면이다.

발명의 실시를 위한 형태

[27]
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.
[28]
도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다. 동일한 부호는 시종 동일한 요소를 의미한다. 나아가, 도면에서의 다양한 요소와 영역은 개략적으로 그려진 것이다. 따라서, 본 발명은 첨부한 도면에 그려진 상대적인 크기나 간격에 의해 제한되지 않는다.
[29]
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자나 부재를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미하며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
[30]
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
[31]
도 3은 본 발명에 따른 약액 공급 장치의 일 실시예를 개략적으로 나타낸 도면이다.
[32]
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 약액 공급 장치(300)는 디스플레이 제조용 잉크젯 프린터에 이용되는 약액이 담기는 약액 용기(310)에 약액을 공급하는 장치로, 약액 공급 챔버(320), 불활성 기체 공급 수단(330), 약액 용기 마개 개폐 수단(340), 약액 공급 수단(350), 산소 농도 측정 수단(360), 습도 측정 수단(363), 파티클 측정 수단(366), 약액 용기 반송 수단(370), 약액 용기 중량 측정 수단(380) 및 진동 수단(390)을 구비한다.
[33]
약액 공급 챔버(320)는 약액 용기(310)가 반입, 반출될 수 있는 수용부를 가지며, 약액 공급 챔버(320) 내부에서 약액 용기(310)에 약액이 공급되는 과정이 수행된다. 약액 공급 챔버(320) 내부에 반입된 약액 용기(310)에 약액이 공급될 때, 약액 공급 챔버(320)는 대체적으로 밀폐된 형태가 되도록 형성된다.
[34]
약액 공급 챔버(320)에는 불활성 기체가 유입되는 불활성 기체 유입구(321)가 형성되어 있으며, 불활성 기체 유입구(321)는 불활성 기체 공급 수단(330)과 연결되어, 불활성 기체 공급 수단(330)에서 공급된 불활성 기체가 불활성 기체 유입구(321)를 통해 약액 공급 챔버(320) 내부로 유입된다. 이때 불활성 기체는 질소(N 2)일 수 있다. 이에 따라, 질소 분위기에서 약액 공급 챔버(320) 내부에 반입된 약액 용기(310)에 약액이 공급된다. 그리고 약액 공급 챔버(320)에는 내부의 기체가 배기되는 배기구(322)가 형성되어 있다. 도 3에서는 불활성 기체 유입구(321)는 상부에 배기구(322)에 형성된 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며, 불활성 기체 유입구(321)를 통해 유입된 불활성 기체에 의해 약액 공급 챔버(320) 내부의 산소(O 2)와 수분이 약액 공급 챔버(320) 외부로 배기될 수 있도록, 불활성 기체 유입구(321)와 배기구(322)가 형성된다.
[35]
약액 용기(310)는 약액 공급 챔버(320)의 외부 일측에서부터 약액 공급 챔버(310) 내부 및 약액 공급 챔버(320)의 외부 타측까지 연장 형성되어 있는 반송(搬送) 수단(370)에 의해 약액 공급 챔버(320) 내부로 반입되고 반출된다. 이를 위해, 약액 공급 챔버(320)의 일측면에는 약액 용기 입구가 형성되어 있고, 약액 공급 챔버(320)의 타측면에는 약액 용기 출구가 형성되어 있다. 그리고 약액 공급 챔버(320)는 약액 용기 입구를 개폐하는 입구 게이트(326)와 약액 용기 출구를 개폐하는 출구 게이트(328)를 구비한다. 입구 게이트(326)와 출구 게이트(328)는 도 3에 도시된 화살표와 같이 상하로 이동하여 각각 약액 용기 입구와 약액 용기 출구를 개방하고, 폐쇄한다. 약액 용기(310)가 약액 공급 챔버(320) 내부로 반입 또는 반출될 때에는 입구 게이트(326)와 출구 게이트(328)를 개방하며, 약액 용기(310)에 약액을 공급할 때에는 입구 게이트(326)와 출구 게이트(328)를 폐쇄하여 전체적으로 밀폐된 공간을 형성한다.
[36]
약액 용기 마개 개폐 수단(340)은 약액 공급 챔버(320) 내부에 설치되며, 약액 공급 챔버(320) 내부로 반입된 약액 용기(310)의 약액 용기 마개(315)를 개폐한다. 약액 용기 마개(315)를 개폐하기 위해 약액 용기 마개 개폐 수단(340)은 약액 용기 마개(315)를 감싸쥐도록 형성된 그리퍼(gripper)(342)를 구비한다. 약액 공급 챔버(320) 내부로 약액 용기(310)가 반입되면, 약액 용기 마개 개폐 수단(340)은 스캔 유닛(미도시)을 통해 약액 용기 마개(315)의 위치를 파악하고 결정한다. 그리고 약액 용기 마개(315) 위치에 맞도록 그리퍼(342)를 약액 용기 마개(315) 상방으로 이동시킨 후, 도 3에 도시된 화살표와 같이 약액 용기 마개 개폐 수단(340)을 하강시킨 후, 그리퍼(342)를 통해 약액 용기 마개(315)를 오픈한다.
[37]
그리고 약액 공급 수단(350)을 이용하여 약액 용기(310) 내에 약액을 공급한다. 약액 공급 수단(350)은 약액 공급 챔버(320) 내부에 설치되며, 약액 용기 마개(315)가 오픈되면 도 3에 도시된 화살표와 같이 약액 공급 수단(350)이 하방으로 이동하여 약액 용기(310)에 약액을 공급한다.
[38]
본 발명에 따른 약액 공급 장치(300)는 약액 용기 마개(315)를 오픈하기 전에 약액 공급 챔버(320) 내부의 산소 농도 및 습도를 각각 산소 농도 측정 수단(360) 및 습도 측정 수단(363)을 이용하여 측정하여, 약액 공급 챔버(320) 내부의 산소 농도가 기설정된 농도 이하이고, 습도가 기설정된 습도 이하일 경우에 약액 용기 마개(315)를 오픈한다. 산소 농도 측정 수단(360)은 산소 농도 센서일 수 있으며, 습도 측정 수단(363)은 습도 센서일 수 있다. 약액 공급 챔버(320) 내부의 산소 농도가 기설정된 농도 이상인 상태에서 약액 용기 마개(315)를 오픈하면 약액이 산화될 수 있고, 약액 공급 챔버(320) 내부의 습도가 기설정된 습도 이상인 상태에서 약액 용기 마개(315)를 오픈하면 약액 내로 수분이 침투하여 약액이 변성될 수 있다. 따라서 본 발명에 따른 약액 공급 장치(300)는 약액 공급 챔버(320) 내부로 불활성 기체를 공급하여 산소 농도를 기설정된 농도 이하로 감소시키고, 습도를 기설정된 습도 이하로 감소시킨 뒤, 약액 용기 마개(315)를 오픈한다.
[39]
아울러 약액 용기 마개(315) 오픈 과정이나 약액 공급 과정에서 파티클이 발생할 수 있으며, 발생된 파티클이 약액 내부로 침투하면 잉크젯 프린팅 공정에 악영향을 미치므로, 파티클 측정 수단(366)으로 약액 공급 챔버(320) 내부의 파티클을 측정하여, 이를 기초로 약액 용기(310) 내에 파티클이 침투하지 않도록 한다. 파티클 측정 수단(366)은 파티클 센서일 수 있다.
[40]
약액 용기 중량 측정 수단(380)은 약액 공급 챔버(320) 내부의 약액 공급 위치에 설치되어, 약액 용기(310)가 약액 공급 위치로 이동되었을 때, 약액 용기(310)의 중량을 측정하여, 이를 기초로 해당 약액 용기(310)에 공급하여야 할 약액의 양을 결정한다. 약액 용기 마개 개폐 수단(340)에 의해 약액 용기 마개(315)가 오픈되면, 약액 용기 중량 측정 수단(380)에 의해 결정된 양의 약액이 약액 공급 수단(350)에 의해 약액 용기(310)에 공급된다. 그리고 약액 용기(310)에 약액의 공급이 완료되면 약액 용기 중량 측정 수단(380)에 의해 해당 약액 용기(310)의 중량을 측정하여 약액 공급 완료 여부를 확인한다. 약액 용기 중량 측정 수단(380)은 중량 센서가 이용될 수 있다.
[41]
진동 수단(390)은 약액 공급 챔버(320) 내부의 약액 공급 위치에 설치되어, 약액 용기(310)에 약액이 공급될 때 약액이 침전되는 것이 방지되도록 약액 용기(310)에 진동을 가한다. 진동 수단(390)은 진동판이 이용될 수 있다.
[42]
약액 용기(310)에 약액 공급이 완료되면, 약액 용기 마개 개폐 수단(340)을 이용하여 약액 용기 마개(315)를 약액 용기(310)에 결합하고, 약액 용기(310)를 약액 용기 반송 수단(370)을 통해 약액 공급 챔버(320) 외부로 반출한다. 약액 용기 마개 개폐 수단(340)을 이용하여 약액 용기 마개(315)를 약액 용기(310)에 결합하는 과정을 도 4에 나타내었다.
[43]
도 4를 참조하면, 약액 용기 마개 개폐 수단(340)은 위치 제어와 토크 제어를 통해 약액 용기 마개(315)를 약액 용기(310)에 결합한다. 보다 상세히 살펴보면, 우선, 위치 제어로 약액 용기 마개(315)가 결합될 위치를 결정하여 약액 용기 마개(315)를 감싸쥐고 있는 그리퍼(342)의 위치를 이동시키고, 하강시킨다. 그리고 약액 용기 마개 개폐 수단(340)을 토크 제어로 전환하여, 그리퍼(342)에 일정 토크를 인가함으로써, 약액 용기 마개(315)를 조여 약액 용기(310)에 결합시킨다. 그리고 약액 용기 마개(315)를 조이는 동작이 완료되면, 그리퍼(342)와 약액 용기 마개(315)를 분리하고 다시 위치 제어로 전환하고 약액 용기 마개 개폐 수단(340)을 상승시켜, 약액 용기 마개(315)를 약액 용기(310)에 결합 과정을 완료한다.
[44]
도 4에서는 약액 용기 마개 개폐 수단(340)을 이용하여 약액 용기(310)에 약액 용기 마개(315)를 결합시키는 과정에 대해 도시하였으나, 약액 용기(310)와 결합되어 있는 약액 용기 마개(315)를 분리시켜 약액 용기 마개(315)를 오픈시키는 과정도 유사하게 약액 용기 마개 개폐 수단(340)의 위치 제어와 토크 제어를 이용하여 수행할 수 있다.
[45]
본 발명에 따른 약액 공급 장치(300)에 구비되는 그리퍼(342)는 다양한 재질로 형성될 수 있으나, 보다 작은 토크를 이용하여 약액 용기 마개(315)를 오픈하고 결합할 수 있는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 그러퍼(342)의 재질에 따른 오픈 토크(open torque)를 도 5에 나타내었다.
[46]
도 5에 도시된 바와 같이 그리퍼(342)의 재질이 실리콘 패드(Silicon Pad)일 경우 3.5 Nm의 오픈 토크를 가져, 다른 재질(EPEM Rubber, Metal Jig)로 그리퍼(342)가 형성되는 경우에 비해 작은 오픈 토크를 가지므로, 그리퍼(342)는 실리콘 패드로 재질로 이루어짐이 바람직하다.
[47]
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 약액 공급 챔버(320) 내에 불활성 기체를 공급하여 산소 농도와 습도를 저하시킨 후, 약액 용기(310)에 약액을 공급하므로, 약액 내의 용제가 휘발되거나 약액이 산화되는 것이 방지되며, 대기중의 수분이 약액에 침투하는 것도 방지된다. 또한, 약액의 산화나 수분 침투가 방지되므로 파티클이 발생이 억제되어 파티클 발생에 따른 수율 저하, 잉크젯 헤드 노즐 폐색 등이 방지된다. 또한, 약액 용기(310)는 약액 용기 반송 수단(370)에 의해 이송되어 작업자 이송에 따른 사고 위험이 감소하며, 약액 용기 마개(315)를 자동으로 개폐하므로 수작업으로 마개를 개폐할 때 발생하는 문제점이 발생하지 않는다.
[48]
이상에서 본 발명의 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
[49]
또한, 본 발명의 범위는 상기 발명의 설명보다는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
[50]
[부호의 설명]
[51]
300: 약액 공급 장치
[52]
310: 약액 용기
[53]
315: 약액 용기 마개
[54]
320: 약액 공급 챔버
[55]
330: 불활성 기체 공급 수단
[56]
340: 약액 용기 마개 개폐 수단
[57]
350: 약액 공급 수단
[58]
360: 산소 농도 측정 수단
[59]
363: 습도 측정 수단
[60]
366: 파티클 측정 수단
[61]
370: 약액 용기 반송 수단
[62]
380: 약액 용기 중량 측정 수단
[63]
390: 진동 수단

청구범위

[청구항 1]
디스플레이 제조용 잉크젯 프린터에 이용되는 약액이 담기는 약액 용기에 약액을 공급하는 장치로, 불활성 기체가 유입되는 불활성 기체 유입구와 내부 기체가 배기되는 배기구가 형성되어 있는 약액 공급 챔버; 상기 불활성 기체 유입구에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급 수단; 상기 약액 공급 챔버 내부에 설치되며, 상기 약액 용기 마개를 개폐해는 약액 용기 마개 개폐 수단; 및 상기 약액 용기에 약액을 공급하는 약액 공급 수단;을 포함하며, 상기 약액 공급 챔버 내로 공급되는 불활성 기체에 의해 상기 약액 공급 챔버 내부의 산소 농도를 기설정된 농도 이하로 감소시키는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
[청구항 2]
제1항에 있어서, 상기 약액 공급 챔버 내부에 설치되는 산소 농도 측정 수단을 더 포함하고, 상기 산소 농도 측정 수단에 의해 측정된 산소 농도가 상기 기설정된 농도 이하일 때, 상기 약액 용기 마개 개폐 수단에 의해 상기 약액 용기 마개를 오픈하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서, 상기 약액 공급 챔버 내로 공급되는 불활성 기체에 의해 상기 약액 공급 챔버 내의 습도를 기설정된 습도 이하로 감소시키는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서, 상기 약액 공급 챔버 내부에 설치되는 습도 측정 수단을 더 포함하고, 상기 습도 측정 수단에 의해 측정된 습도가 상기 기설정된 습도 이하일 때, 상기 약액 용기 마개 개폐 수단에 의해 상기 약액 용기 마개를 오픈하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
[청구항 5]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 약액 공급 챔버 내부에 설치되는 파티클 측정 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
[청구항 6]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 약액 용기 마개 개폐 수단은 상기 약액 용기 마개를 감싸쥐도록 형성된 그리퍼(gripper)를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서, 상기 그리퍼는 실리콘 패드를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
[청구항 8]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 약액 공급 챔버 내부에 설치되는 상기 약액 용기 반송(搬送) 수단을 더 포함하며, 상기 약액 공급 챔버에는 상기 약액 용기가 상기 약액 용기 반송 수단을 통해 출입할 수 있는 약액 용기 입구와 약액 용기 출구가 형성되어 있고, 상기 약액 공급 챔버는, 상기 약액 용기 입구를 개폐하는 입구 게이트; 및 상기 약액 용기 출구를 개폐하는 출구 게이트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
[청구항 9]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 약액 공급 챔버 내부에 설치되며, 상기 약액 용기의 중량을 측정하는 상기 약액 용기 중량 측정 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
[청구항 10]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 약액 공급 챔버 내부에 설치되며, 상기 약액 용기 내의 약액이 침전되는 것이 방지되도록 상기 약액 용기에 진동을 가하는 진동 인가 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.

도면

[도1]

[도2]

[도3]

[도4]

[도5]