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1. WO2020202910 - CRYOPUMP AND ULTRA-LOW TEMPERATURE FREEZER VIBRATION ISOLATION STRUCTURE

Publication Number WO/2020/202910
Publication Date 08.10.2020
International Application No. PCT/JP2020/007668
International Filing Date 26.02.2020
IPC
F04B 37/08 2006.01
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
37Pumps specially adapted for elastic fluids and having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/-F04B35/187
06for evacuating by thermal means
08by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Applicants
  • 住友重機械工業株式会社 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP]/[JP]
Inventors
  • 中西 嵩裕 NAKANISHI Takahiro
Agents
  • 森下 賢樹 MORISHITA Sakaki
Priority Data
2019-07079902.04.2019JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) CRYOPUMP AND ULTRA-LOW TEMPERATURE FREEZER VIBRATION ISOLATION STRUCTURE
(FR) POMPE CRYOGÉNIQUE ET STRUCTURE D'ISOLATION DE VIBRATION DE CONGÉLATEUR À ULTRA-BASSE TEMPÉRATURE
(JA) クライオポンプおよび極低温冷凍機防振構造
Abstract
(EN)
This cryopump 10 comprises: a cryopump vacuum vessel 12; an ultra-low temperature freezer 14; a first flange 28 fixed to the cryopump vacuum vessel 12; a second flange 30 which is fixed to the ultra-low temperature freezer 14 and which is connected in an airtight manner to the first flange 28; and an annular laminated vibration isolation member 32 which has, positioned in this following order from the first flange 28 to the second flange 30, a first annular vibration isolation material 38, a first annular support member 40, an intermediate vibration isolation material 42, a second annular support member 44, and a second annular vibration isolation material 46. In order that the first flange 28 and second annular support member 44 are vibration isolated from the second flange 30 and first annular support member 40, the second annular support member 44 is fixed to the first flange 28 and the first annular support member 40 is fixed to the second flange 30.
(FR)
La présente invention concerne une pompe cryogénique (10) comprenant : une cuve à vide (12) de pompe cryogénique ; un congélateur à ultra-basse température (14) ; une première bride (28) fixée à la cuve à vide (12) de la pompe cryogénique ; une seconde bride (30) fixée au congélateur à ultra-basse température (14) et reliée de manière étanche à l'air à la première bride (28) ; et un élément stratifié annulaire d'isolation des vibrations (32) comportant, positionnés dans l'ordre suivant, de la première bride (28) à la seconde bride (30), un premier matériau annulaire d'isolation des vibrations (38), un premier élément annulaire de support (40), un matériau intermédiaire d'isolation des vibrations (42), un second élément annulaire de support (44), et un second matériau annulaire d'isolation des vibrations (46). Afin que la première bride (28) et le second élément annulaire de support (44) soient isolés contre les vibrations de la seconde bride (30) et du premier élément annulaire de support (40), le second élément annulaire de support (44) est fixé à la première bride (28) et le premier élément annulaire de support (40) est fixé à la seconde bride (30).
(JA)
クライオポンプ10は、クライオポンプ真空容器12と、極低温冷凍機14と、クライオポンプ真空容器12に固定された第1フランジ28と、極低温冷凍機14に固定され、第1フランジ28と気密に接続された第2フランジ30と、第1フランジ28から第2フランジ30に向かって、第1環状防振材料38、第1環状支持部材40、中間環状防振材料42、第2環状支持部材44、第2環状防振材料46がこの記載の順に配置された環状積層防振体32と、を備える。第1フランジ28および第2環状支持部材44が第2フランジ30および第1環状支持部材40から振動絶縁されるように、第2環状支持部材44が第1フランジ28に固定されるとともに第1環状支持部材40が第2フランジ30に固定されている。
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