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1. WO2020202644 - X-RAY FLUORESCENCE ANALYZER

Publication Number WO/2020/202644
Publication Date 08.10.2020
International Application No. PCT/JP2019/047933
International Filing Date 06.12.2019
IPC
G01N 23/223 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/-G01N17/178
22by measuring secondary emission from the material
223by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
G01B 15/02 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
15Measuring arrangements characterised by the use of wave or particle radiation
02for measuring thickness
G01N 23/2209 2018.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/-G01N17/178
22by measuring secondary emission from the material
2209using wavelength dispersive spectroscopy
Applicants
  • 株式会社リガク RIGAKU CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 片岡 由行 KATAOKA, Yoshiyuki
  • 森山 孝男 MORIYAMA, Takao
Agents
  • 杉本 修司 SUGIMOTO, Shuji
  • 野田 雅士 NODA, Masashi
  • 堤 健郎 TSUTSUMI, Takeo
Priority Data
2019-06557229.03.2019JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) X-RAY FLUORESCENCE ANALYZER
(FR) ANALYSEUR PAR FLUORESCENCE X
(JA) 蛍光X線分析装置
Abstract
(EN)
This X-ray fluorescence analyzer comprises a counting time calculation means (13) that uses a prescribed quantitative calculation method to determine quantitative values using reference intensities for a single standard sample and, while changing which measurement line has the measurement intensity thereof changed, repeatedly carries out a procedure in which the quantitative values if the measurement intensity of only one measurement line is changed by a prescribed amount are determined and the ratios of the changes of each quantitative value to the prescribed amount are determined as quantitative-value-change-to-intensity ratios. The counting time calculation means (13) uses the quantitative-value-change-to-intensity ratios determined in this way for all the measurement lines to calculate the counting times for each measurement line from quantification accuracies specified for each quantitative value.
(FR)
La présente invention concerne un analyseur par fluorescence X comprenant un moyen de calcul de temps de comptage (13) qui fait appel à un procédé de calcul quantitatif prescrit pour déterminer des valeurs quantitatives à l'aide d'intensités de référence pour un échantillon standard unique et, tout en modifiant la ligne de mesure dont l'intensité de mesure a varié, qui exécute de manière répétée une procédure durant laquelle les valeurs quantitatives correspondant à la variation éventuelle d'une quantité prescrite de l'intensité de mesure d'une seule ligne de mesure sont déterminées, et les rapports des variations de chaque valeur quantitative par rapport à la quantité prescrite sont déterminés en tant que rapports de variation de valeur quantitative à l'intensité. Le moyen de calcul de temps de comptage (13) fait intervenir les rapports de variation de valeur quantitative à l'intensité déterminés de cette manière pour toutes les lignes de mesure pour calculer les temps de comptage de chaque ligne de mesure à partir de précisions de quantification spécifiées pour chaque valeur quantitative.
(JA)
本発明の蛍光X線分析装置が備える計数時間計算手段(13)が、所定の定量演算方法により、1つの標準試料についての基準強度を用いて各定量値を求めるとともに、1つの測定線の測定強度のみを所定量だけ変化させた場合の各定量値を求めて、所定量に対する各定量値の変化の比を対強度定量値変化比として求める手順を、測定強度を変化させる測定線を変えて繰返し、そのようにしてすべての測定線について求めた対強度定量値変化比を用いて、各定量値に対し指定された定量精度から各測定線についての計数時間を計算する。
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