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1. WO2020200810 - RESONATOR DEVICE

Publication Number WO/2020/200810
Publication Date 08.10.2020
International Application No. PCT/EP2020/057616
International Filing Date 19.03.2020
IPC
G01L 1/16 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1Measuring force or stress, in general
16using properties of piezo-electric devices
CPC
G01L 1/165
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1Measuring force or stress, in general
16using properties of piezo-electric devices
162using piezo-electric resonators
165with acoustic surface waves
Applicants
  • FREC'N'SYS [FR]/[FR]
Inventors
  • BALLANDRAS, Sylvain
  • COURJON, Emilie
  • BERNARD, Florent
  • RAVESKI, Alexandre
Agents
  • GRÜNECKER PATENT- UND RECHTSANWÄLTE
Priority Data
FR190340829.03.2019FR
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) RESONATOR DEVICE
(FR) DISPOSITIF RÉSONATEUR
Abstract
(EN)
The invention relates to a resonator device for measuring stress comprising at least two resonators, each resonator comprising an inter-digitated transducer structure arranged between two reflecting structures on or in a piezoelectric substrate, characterized in that the at least two resonators are arranged and positioned such that they have two different wave propagation directions, and each resonator comprises at least two parts with the area between the two parts of the at least two resonators forming a cavity, wherein the cavity is shared by the at least two resonators. The invention also relates to a differential sensing device comprising at least one resonator device as described previously.
(FR)
L'invention concerne un dispositif résonateur pour une mesure de contrainte comprenant au moins deux résonateurs, chaque résonateur comprenant une structure de transducteur interdigitale disposée entre deux structures réfléchissantes sur ou dans un substrat piézoélectrique, caractérisé en ce que lesdits au moins deux résonateurs sont agencés et positionnés de telle sorte qu'ils présentent deux directions de propagation d'onde différentes, et chaque résonateur comprend au moins deux parties, la zone entre les deux parties desdits au moins deux résonateurs formant une cavité, la cavité étant partagée par lesdits au moins deux résonateurs. L'invention concerne également un dispositif de détection différentielle comprenant au moins un dispositif résonateur tel que décrit précédemment.
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