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1. WO2020199504 - BULK ACOUSTIC WAVE RESONATOR AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR, FILTER AND RADIO FREQUENCY COMMUNICATION SYSTEM

Publication Number WO/2020/199504
Publication Date 08.10.2020
International Application No. PCT/CN2019/105087
International Filing Date 10.09.2019
IPC
H03H 9/15 2006.01
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
15Constructional features of resonators consisting of piezo-electric or electrostrictive material
H03H 9/17 2006.01
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
15Constructional features of resonators consisting of piezo-electric or electrostrictive material
17having a single resonator
Applicants
  • 中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司 NINGBO SEMICONDUCTOR INTERNATIONAL CORPORATION (SHANGHAI BRANCH) [CN]/[CN]
Inventors
  • 罗海龙 LUO, Hailong
Agents
  • 上海思捷知识产权代理有限公司 SHANGHAI SAVVY IP AGENCY CO., LTD.
Priority Data
201910273070.704.04.2019CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) BULK ACOUSTIC WAVE RESONATOR AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR, FILTER AND RADIO FREQUENCY COMMUNICATION SYSTEM
(FR) RÉSONATEUR À ONDES ACOUSTIQUES DE VOLUME ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION, FILTRE ET SYSTÈME DE COMMUNICATION RADIOFRÉQUENCE
(ZH) 体声波谐振器及其制造方法和滤波器、射频通信系统
Abstract
(EN)
Disclosed are a bulk acoustic wave resonator and a manufacturing method therefor, a filter and a radio frequency communication system. A bottom electrode recess (1041) and a top electrode recess (1081) formed on the periphery of a piezoelectric resonance layer (1051) and suspended above a cavity (102) can prevent transverse waves generated by the piezoelectric resonance layer (1051) from transmitting to the periphery of the cavity (102), and can reflect the transverse waves back into an effective working area (102A), thereby reducing acoustic wave loss, enhancing the quality factor of the resonator, and finally improving the device performance. Furthermore, a bottom electrode overlapping portion (1040) and a top electrode overlapping portion (1080) both have a suspended overlapping portion with the cavity (102), and are staggered with each other, thereby greatly lowering parasitic parameters, avoiding leakage, short circuit and other problems, and improving the device reliability.
(FR)
L'invention concerne un résonateur à ondes acoustiques de volume et son procédé de fabrication, un filtre et un système de communication radiofréquence. Un évidement d'électrode inférieure (1041) et un évidement d'électrode supérieure (1081) formés sur la périphérie d'une couche de résonance piézoélectrique (1051) et suspendus au-dessus d'une cavité (102) peuvent empêcher des ondes transversales générées par la couche de résonance piézoélectrique (1051) de se propager jusqu'à la périphérie de la cavité (102), et peuvent réfléchir les ondes transversales vers une zone de travail efficace (102A), ce qui permet de réduire la perte d'ondes acoustiques, d'améliorer le facteur de qualité du résonateur, et enfin d'améliorer les performances du dispositif. En outre, une partie de chevauchement d'électrode inférieure (1040) et une partie de chevauchement d'électrode supérieure (1080) ont toutes deux une partie de chevauchement suspendue avec la cavité (102), et sont décalées l'une par rapport à l'autre, ce qui permet d'abaisser considérablement les paramètres parasites, d'éviter une fuite, un court-circuit et d'autres problèmes, et d'améliorer la fiabilité du dispositif.
(ZH)
一种体声波谐振器及其制造方法和滤波器、射频通信系统,形成于压电谐振层(1051)外围的且悬空于空腔(102)上方的底电极凹陷部(1041)和顶电极凹陷部(1081),能够阻挡压电谐振层(1051)产生的横波向空腔(102)外围传输,将横波反射回有效工作区(102A)中,继而减少和降低了声波损耗,使谐振器的品质因子得到提高,最终能够提高器件性能。进一步地,底电极搭接部(1040)和顶电极搭接部(1080)与空腔(102)的重叠部分均是悬空的,且底电极搭接部(1040)和顶电极搭接部(1080)相互错开,可以大大降低寄生参数,并避免漏电、短路等问题,能够提高器件可靠性。
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