Processing

Please wait...

Settings

Settings

Goto Application

1. WO2020197910 - BATCH FABRICATION OF MEMS SCANNING MIRROR

Publication Number WO/2020/197910
Publication Date 01.10.2020
International Application No. PCT/US2020/023491
International Filing Date 19.03.2020
IPC
G02B 26/10 2006.01
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating or modulating
08for controlling the direction of light
10Scanning systems
Applicants
  • THE TEXAS A&M UNIVERSITY SYSTEM [US]/[US]
Inventors
  • ZOU, Jun
  • XU, Song
Agents
  • FALESKI, Thaddeus J.
Priority Data
62/823,49525.03.2019US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) BATCH FABRICATION OF MEMS SCANNING MIRROR
(FR) FABRICATION PAR LOTS DE MIROIR DE BALAYAGE MEMS
Abstract
(EN)
Methods are disclosed for manufacturing a Micro-ElectroMechanical Systems (MEMS) scanning mirror. In an embodiment, one method includes depositing a hinge material on a substrate and removing first and second portions of the substrate to form an outer frame, an inner frame, and a mirror plate in the substrate. First and second portions of the hinge material rotationally couple the outer frame to the inner frame and the inner frame to the mirror plate for rotation about first and second orthogonal axes of rotation. In another embodiment, a third portion of the substrate rotationally couples the inner frame to the mirror plate. In still another embodiment, an elastomer material is configured as a bending hinge that rotationally couples the outer frame to the inner frame.
(FR)
L'invention concerne des procédés de fabrication d'un miroir de balayage de systèmes micro-électromécaniques (MEMS). Dans un mode de réalisation, un procédé consiste à déposer un matériau de charnière sur un substrat et à retirer des première et deuxième parties du substrat pour former un cadre externe, un cadre interne et une plaque de miroir dans le substrat. Des première et seconde parties du matériau de charnière couplent en rotation le cadre externe au cadre interne et le cadre interne à la plaque de miroir pour une rotation autour de premier et second axes de rotation orthogonaux. Dans un autre mode de réalisation, une troisième partie du substrat couple en rotation le cadre interne à la plaque de miroir. Dans encore un autre mode de réalisation, un matériau élastomère est configuré sous la forme d'une charnière de flexion qui couple en rotation le cadre externe au cadre interne.
Latest bibliographic data on file with the International Bureau