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1. WO2020196452 - GAS ANALYZING DEVICE

Publication Number WO/2020/196452
Publication Date 01.10.2020
International Application No. PCT/JP2020/012839
International Filing Date 24.03.2020
IPC
H01J 49/10 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
02Details
10Ion sources; Ion guns
H01J 49/42 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
26Mass spectrometers or separator tubes
34Dynamic spectrometers
42Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
H01J 49/44 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
44Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
Applicants
  • アトナープ株式会社 ATONARP INC. [JP]/[JP]
Inventors
  • 高橋 直樹 TAKAHASHI, Naoki
  • ムルティ プラカッシ スリダラ MURTHY, Prakash Sreedhar
Agents
  • 今井 彰 IMAI, Akira
Priority Data
2019-05714825.03.2019JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) GAS ANALYZING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ANALYSE DE GAZ
(JA) ガス分析装置
Abstract
(EN)
Provided is a gas analyzing device (1) having: a sample chamber (11) provided with a dielectric wall body structure (12) and into which flows only a sample gas (9) that is a measurement target; a plasma generating mechanism (13) that generates a plasma (18) inside the depressurized sample chamber with an electric field and/or a magnetic field through the dielectric wall body structure; and an analyzing unit (21) that analyzes the sample gas via the generated plasma. There can be provided the gas analyzing device that can accurately analyze even a sample gas, including a corrosive gas, over a long time period.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif d'analyse de gaz (1) présentant : une chambre d'échantillon (11) dotée d'une structure de corps de paroi diélectrique (12) et dans laquelle s'écoule uniquement un gaz échantillon (9) qui est une cible de mesure ; un mécanisme de génération de plasma (13) qui génère un plasma (18) à l'intérieur de la chambre d'échantillon dépressurisée à l'aide d'un champ électrique et/ou d'un champ magnétique à travers la structure de corps de paroi diélectrique ; et une unité d'analyse (21) qui analyse le gaz échantillon par l'intermédiaire du plasma généré. Il peut y avoir un dispositif d'analyse de gaz qui peut analyser avec précision même un gaz échantillon, comprenant un gaz corrosif, sur une longue période.
(JA)
誘電性の壁体構造(12)を備え、測定対象のサンプルガス(9)のみが流入するサンプルチャンバー(11)と、誘電性の壁体構造を介して電場および/または磁場により、減圧されたサンプルチャンバー内でプラズマ(18)を生成するプラズマ生成機構(13)と、生成されたプラズマを介してサンプルガスを分析する分析ユニット(21)とを有するガス分析装置(1)を提供する。腐食性のガスを含むサンプルガスであっても長期間にわたり、精度よく分析できるガス分析装置を提供できる。
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