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1. WO2020196195 - STATE DETERMINATION DEVICE, STATE DETERMINATION METHOD, AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM

Publication Number WO/2020/196195
Publication Date 01.10.2020
International Application No. PCT/JP2020/012127
International Filing Date 18.03.2020
IPC
G05B 23/02 2006.01
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
23Testing or monitoring of control systems or parts thereof
02Electric testing or monitoring
H01L 21/677 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
677for conveying, e.g. between different work stations
Applicants
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP]
Inventors
  • 牧 準之輔 MAKI Junnosuke
  • 豊永 真臣 TOYONAGA Masaomi
  • 太田 敦 OHTA Atsushi
  • 岡田 基 OKADA Motoi
  • 筒井 拓郎 TSUTSUI Takuro
  • 佐野 圭 SANO Kei
  • 矢野 光輝 YANO Mitsuteru
Agents
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柏岡 潤二 KASHIOKA Junji
Priority Data
2019-05839126.03.2019JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) STATE DETERMINATION DEVICE, STATE DETERMINATION METHOD, AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'ESTIMATION D'ÉTAT AINSI QUE SUPPORT D'ENREGISTREMENT LISIBLE PAR ORDINATEUR
(JA) 状態判定装置、状態判定方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体
Abstract
(EN)
A state determination device for determining the state of a drive mechanism configured so as to operate while holding a substrate in a substrate processing device. This state determination device is equipped with: an acquisition unit configured so as to acquire operational data for the drive mechanism; a model generation unit configured so as to generate a monitoring model for the drive mechanism by executing machine learning using an autoencoder on the basis of normal operational data that is derived from operational data acquired by the acquisition unit when the drive mechanism is operating normally; and a first determination unit configured so as to determine the state of the drive mechanism on the basis of first output data obtained by inputting, to the monitoring model, evaluation data that is derived from operational data obtained by the acquisition unit when the drive mechanism is being evaluated.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de détermination d'état servant à déterminer l'état d'un mécanisme d'entraînement conçu de façon à fonctionner tout en maintenant un substrat dans un dispositif de traitement de substrat. Le présent dispositif de détermination d'état est équipé : d'une unité d'acquisition configurée pour acquérir des données fonctionnelles du mécanisme d'entraînement ; d'une unité de génération de modèle configurée pour générer un modèle de surveillance du mécanisme d'entraînement par une exécution d'un apprentissage machine à l'aide d'un autocodeur sur la base de données fonctionnelles normales qui sont dérivées de données fonctionnelles acquises par l'unité d'acquisition lors du fonctionnement normal du mécanisme d'entraînement ; et d'une première unité de détermination configurée pour déterminer l'état du mécanisme d'entraînement sur la base de premières données de sortie obtenues par une entrée, dans le modèle de surveillance, de données d'évaluation qui sont dérivées de données fonctionnelles obtenues par l'unité d'acquisition pendant l'évaluation du mécanisme d'entraînement.
(JA)
状態判定装置は、基板処理装置において基板を保持しつつ動作させるように構成された駆動機構の状態を判定する。当該状態判定装置は、駆動機構の動作データを取得するように構成された取得部と、駆動機構の正常動作時において取得部によって取得された動作データに由来する正常動作データに基づいて、オートエンコーダを用いた機械学習を実行することによって、駆動機構の監視モデルを生成するように構成されたモデル生成部と、駆動機構の評価時において取得部によって取得された動作データに由来する評価データを監視モデルに入力して得られる第1の出力データに基づいて、駆動機構の状態を判定するように構成された第1の判定部とを備える。
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