Processing

Please wait...

Settings

Settings

Goto Application

1. WO2020195943 - VACUUM PUMP AND VACUUM PUMP CONSTITUENT COMPONENT

Publication Number WO/2020/195943
Publication Date 01.10.2020
International Application No. PCT/JP2020/011072
International Filing Date 13.03.2020
IPC
F04D 19/04 2006.01
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps specially adapted for elastic fluids
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
F04D 29/52 2006.01
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
29Details, component parts, or accessories
40Casings; Connections for working fluid
52for axial pumps
F04D 29/58 2006.01
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
29Details, component parts, or accessories
58Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
Applicants
  • エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP]/[JP]
Inventors
  • 吉原 菜穂子 YOSHIHARA Nahoko
  • 坂口 祐幸 SAKAGUCHI Yoshiyuki
  • 舘野 泰 TATENO Yasushi
  • 小川 洋平 OGAWA Yohei
Priority Data
2019-05885926.03.2019JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) VACUUM PUMP AND VACUUM PUMP CONSTITUENT COMPONENT
(FR) POMPE À VIDE ET COMPOSANT CONSTITUTIF DE POMPE À VIDE
(JA) 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品
Abstract
(EN)
[Problem] To provide a vacuum pump having a large thermal resistance between a heater and a cooling water pipe, and having a small number of components. [Solution] A vacuum pump provided with a casing main body 14 having an intake part 12 and an exhaust part 13 for a gas, a turbomolecular pump mechanism part 17 in which stator blades 19 and rotor blades 20 are formed, and a motor 16 for causing the rotor blades 20 to rotate, wherein the casing main body 14 has a base spacer 42 capable of conducting heat between an integrally formed heating spacer section 46 and cooling spacer section 47, and the base spacer 42 is provided with a boundary section 52 formed such that the cross section has a narrow neck shape between the heating spacer section 46 and the cooling spacer section 47.
(FR)
L'invention concerne une pompe à vide dotée d'une grande résistance thermique entre un dispositif de chauffage et un tuyau d'eau de refroidissement, et comprenant un petit nombre de composants. La pompe à vide selon l'invention comprend un corps principal de boîtier (14) pourvu d'une partie admission (12) et d'une partie échappement (13) de gaz, une partie mécanisme de pompe turbomoléculaire (17) dans laquelle sont formées des pales de stator (19) et des pales de rotor (20), et un moteur (16) destiné à entraîner la rotation des pales de rotor (20), le corps principal de boîtier (14) étant pourvu d'un espaceur de base (42) apte à conduire la chaleur entre une partie espaceur de chauffage (46) formée d'un seul tenant et une partie espaceur de refroidissement (47), et l'espaceur de base (42) étant pourvu d'une partie périphérique (52) formée de sorte que la coupe transversale présente une forme de col étroit entre la partie espaceur de chauffage et la partie espaceur de refroidissement.
(JA)
【課題】ヒータと水冷管の間の熱抵抗が大きく部品点数が少ない真空ポンプを提供する。 【解決手段】ガスの吸気部12と排気部13を有するケーシング本体14と、ステータ翼19やロータ翼20が形成されたターボ分子ポンプ機構部17と、ロータ翼20を回転させるためのモータ16と、を備え、ケーシング本体14が、一体に成形された加熱スペーサ部46と水冷スペーサ部47との間で熱伝導が可能なベーススペーサ42を有し、ベーススペーサ42に、断面が加熱スペーサ部46と水冷スペーサ部47との間で細首状になるよう成形された境界部52を設けた。
Latest bibliographic data on file with the International Bureau