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1. WO2020195941 - VACUUM PUMP AND SEAL MEMBER FOR USE IN VACUUM PUMP

Publication Number WO/2020/195941
Publication Date 01.10.2020
International Application No. PCT/JP2020/011070
International Filing Date 13.03.2020
IPC
F04D 19/04 2006.01
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps specially adapted for elastic fluids
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
F16J 15/10 2006.01
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS OR UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
JPISTONS; CYLINDERS; PRESSURE VESSELS IN GENERAL; SEALINGS
15Sealings
02between relatively-stationary surfaces
06with solid packing compressed between sealing surfaces
10with non-metallic packing
Applicants
  • エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP]/[JP]
Inventors
  • 高阿田 勉 TAKAADA Tsutomu
Priority Data
2019-05608525.03.2019JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) VACUUM PUMP AND SEAL MEMBER FOR USE IN VACUUM PUMP
(FR) POMPE À VIDE ET ÉLÉMENT D'ÉTANCHÉITÉ DESTINÉ À ÊTRE UTILISÉ DANS UNE POMPE À VIDE
(JA) 真空ポンプ、及び、真空ポンプに用いられるシール部材
Abstract
(EN)
[Problem] To provide a vacuum pump that has few parts and superior sealing properties. [Solution] The present invention is provided with: a plurality of stator blades 19 provided toward the center of an intake-side casing 14a; a rotor shaft 21 that is contained within the intake-side casing 14a and is rotatably supported; a plurality of rotor blades 20 radially provided at the periphery of the rotor shaft 21; a motor 16 for rotating the rotor shaft 21; and an annular seal member 41 that elastically deforms when subjected to through-thickness directional sandwiching force by the intake-side casing 14a and an exhaust-side casing 14b, and maintains air tightness between the intake-side casing 14a and the exhaust-side casing 14b, wherein the seal member has, in a cross section thereof, a deformation-promoting part formed in a recessed shape in an outer circumference part, and a seal part that is subjected to force at an eccentric position near the deformation-promoting part.
(FR)
Le problème décrit par la présente invention est de fournir une pompe à vide qui a peu de parties et qui présente de meilleures propriétés d'étanchéité. La solution selon la présente invention porte sur : plusieurs pales de stator (19) disposées vers le centre d'un carter côté admission (14a) ; un arbre de rotor (21) qui est contenu à l'intérieur du carter côté admission (14a) et qui est porté rotatif ; plusieurs pales de rotor (20) disposées de façon radiale à la périphérie de l'arbre de rotor (21) ; un moteur (16) pour faire tourner l'arbre de rotor (21) ; et un élément d'étanchéité annulaire (41) qui se déforme de façon élastique lorsqu'il est soumis à une force de prise en sandwich directionnelle d'épaisseur par le carter côté admission (14a) et un carter côté échappement (14b), et qui maintient l'étanchéité à l'air entre le carter côté admission (14a) et le carter côté échappement (14b), l'élément d'étanchéité ayant, dans une section transversale, une partie favorisant la déformation formée dans une forme évidée dans une partie de circonférence extérieure, et une partie d'étanchéité qui est soumise à une force au niveau d'une position excentrique à proximité de la partie favorisant la déformation.
(JA)
【課題】部品点数が少なくシール性に優れた真空ポンプを提供する。 【解決手段】吸気側ケーシング14aの中心に向かって設けられた複数のステータ翼19と、吸気側ケーシング14aに内包され、回転自在に支持されたロータ軸21と、ロータ軸21の周囲に放射状に設けられた複数のロータ翼20と、ロータ軸21を回転させるモータ16と、吸気側ケーシング14aと排気側ケーシング14bとにより厚さ方向に挟み付ける力を受けて弾性変形し、吸気側ケーシング14aと排気側ケーシング14bの間の気密性を保つ環状のシール部材41と、を備え、シール部材は、その断面に、外周部に凹陥状に形成された変形促進部と、力を変形促進部に近付いた偏心位置で受けるシール部と、を有する。
Latest bibliographic data on file with the International Bureau