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1. WO2020195138 - INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD

Publication Number WO/2020/195138
Publication Date 01.10.2020
International Application No. PCT/JP2020/003263
International Filing Date 29.01.2020
IPC
H01L 21/66 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
66Testing or measuring during manufacture or treatment
G01N 21/64 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
63optically excited
64Fluorescence; Phosphorescence
H01L 33/00 2010.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
33Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
Applicants
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
Inventors
  • 中村 共則 NAKAMURA Tomonori
  • 池村 賢一郎 IKEMURA Kenichiro
  • 大高 章弘 OTAKA Akihiro
Agents
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi
Priority Data
2019-06296828.03.2019JP
2019-19992801.11.2019JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D’INSPECTION
(JA) 検査装置及び検査方法
Abstract
(EN)
Provided is an inspection device for inspecting a sample having a plurality of light-emitting elements formed thereon, the inspection device comprising: an excitation light source which generates excitation light with which the sample is irradiated; a dichroic mirror which splits fluorescence from the sample by transmitting or reflecting the fluorescence depending on the wavelength thereof; a camera for capturing an image of the fluorescence reflected by the dichroic mirror; a camera for capturing an image of the fluorescence that has passed through the dichroic mirror; and a control device which, on the basis of a first fluorescence image obtained by camera and a second fluorescence image obtained by camera, derives color irregularity information of the light-emitting elements. In the dichroic mirror, an edge shift width, which is the width of a wavelength band in which transmittance and reflectance vary in accordance with a change in wavelength, is wider than a full width half maximum of a normal fluorescence spectrum of the light-emitting elements.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'inspection pour inspecter un échantillon ayant une pluralité d'éléments électroluminescents formés sur celui-ci, le dispositif d'inspection comprenant : une source de lumière d'excitation qui génère une lumière d'excitation avec laquelle l'échantillon est irradié ; un miroir dichroïque qui divise la fluorescence de l'échantillon par transmission ou réflexion de la fluorescence en fonction de sa longueur d'onde ; une caméra pour capturer une image de la fluorescence réfléchie par le miroir dichroïque ; une caméra pour capturer une image de la fluorescence qui a traversé le miroir dichroïque ; et un dispositif de commande qui, sur la base d'une première image de fluorescence obtenue par caméra et d'une seconde image de fluorescence obtenue par caméra, dérive des informations d'irrégularité de couleur des éléments électroluminescents. Dans le miroir dichroïque, une largeur de décalage de bord, qui est la largeur d'une bande de longueur d'onde dans laquelle la transmittance et la réflectance varient en fonction d'un changement de longueur d'onde, est plus large qu'un demi-maximum de largeur totale d'un spectre de fluorescence normal des éléments électroluminescents.
(JA)
検査装置は、複数の発光素子が形成されたサンプルを検査する検査装置であって、サンプルに照射される励起光を生成する励起光源と、サンプルからの蛍光を波長に応じて透過又は反射することにより分離するダイクロイックミラーと、ダイクロイックミラーにおいて反射された蛍光を撮像するカメラと、ダイクロイックミラーを透過した蛍光を撮像するカメラと、カメラによって取得された第1の蛍光画像と、カメラによって取得された第2の蛍光画像とに基づき、発光素子の色斑情報を導出する制御装置と、を備え、ダイクロイックミラーにおける、波長の変化に応じて透過率及び反射率が変化する波長帯の幅であるエッジ変移幅は、発光素子の正常蛍光スペクトルの半値全幅よりも広い。
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