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1. WO2020195136 - INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD

Publication Number WO/2020/195136
Publication Date 01.10.2020
International Application No. PCT/JP2020/003248
International Filing Date 29.01.2020
IPC
H01L 21/66 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
66Testing or measuring during manufacture or treatment
G01N 21/64 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
63optically excited
64Fluorescence; Phosphorescence
G01N 21/88 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws, defects or contamination
Applicants
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
Inventors
  • 中村 共則 NAKAMURA Tomonori
Agents
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi
Priority Data
2019-06297128.03.2019JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
(JA) 検査装置及び検査方法
Abstract
(EN)
The present invention provides an inspection device for inspecting a sample in which a plurality of light-emitting elements are formed, wherein: the inspection device is provided with an excitation light source for generating excitation light beamed onto the sample, a camera for imaging fluorescence having a wavelength greater than a reference wavelength from among fluorescence from the light-emitting elements, and a control device for assessing the quality of the light-emitting elements on the basis of the fluorescence imaged by the camera. The reference wavelength is the wavelength obtained by adding the full width at half maximum of a normal fluorescence spectrum of the light-emitting elements to the peak wavelength of the normal fluorescence spectrum.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif d'inspection pour inspecter un échantillon dans lequel une pluralité d'éléments électroluminescents sont formés, le dispositif d'inspection comportant une source de lumière d'excitation pour générer une lumière d'excitation dirigée sur l'échantillon, une caméra pour imager une fluorescence ayant une longueur d'onde supérieure à une longueur d'onde de référence parmi la fluorescence provenant des éléments électroluminescents, et un dispositif de commande pour évaluer la qualité des éléments électroluminescents sur la base de la fluorescence imagée par la caméra. La longueur d'onde de référence est la longueur d'onde obtenue en ajoutant la pleine largeur à mi-hauteur d'un spectre de fluorescence normal des éléments électroluminescents à la longueur d'onde de crête du spectre de fluorescence normal.
(JA)
検査装置は、複数の発光素子が形成されたサンプルを検査する検査装置であって、サンプルに照射される励起光を生成する励起光源と、発光素子からの蛍光のうち、基準波長よりも長い波長の蛍光を撮像するカメラと、カメラによって撮像された蛍光に基づいて、発光素子の良否を判定する制御装置と、を備え、基準波長は、発光素子の正常蛍光スペクトルのピーク波長に正常蛍光スペクトルの半値全幅を加えた波長である。
Latest bibliographic data on file with the International Bureau