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1. WO2020195075 - PIEZOELECTRIC PUMP

Publication Number WO/2020/195075
Publication Date 01.10.2020
International Application No. PCT/JP2020/002390
International Filing Date 23.01.2020
IPC
F04B 45/047 2006.01
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
45Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
04having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
047Pumps having electric drive
Applicants
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventors
  • 田中 伸拓 TANAKA, Nobuhira
  • 藤崎 雅章 FUJISAKI, Masaaki
Agents
  • 山尾 憲人 YAMAO, Norihito
  • 岡部 博史 OKABE, Hiroshi
Priority Data
2019-06103627.03.2019JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) PIEZOELECTRIC PUMP
(FR) POMPE PIÉZOÉLECTRIQUE
(JA) 圧電ポンプ
Abstract
(EN)
This piezoelectric pump comprises: a first top plate; a second top plate; a diaphragm; a first side wall; and a second side wall. The diaphragm includes: a vibrating section having a piezoelectric element; a frame section; and a connecting section. Formed in the connecting section is a third opening that establishes communication between a first pump chamber and a second pump chamber. The piezoelectric pump further comprises, in the first pump chamber, an annular first valve that is provided so as to surround a first opening at an interval from the first opening in plan view in a direction from the main surface of the first top plate to the main surface of the diaphragm.
(FR)
L'invention concerne une pompe piézoélectrique comprenant : une première plaque supérieure ; une seconde plaque supérieure ; une membrane ; une première paroi latérale ; et une seconde paroi latérale. La membrane comprend : une section vibrante ayant un élément piézoélectrique ; une section de cadre ; et une section de liaison. Une troisième ouverture, qui établit une communication entre une première chambre de pompe et une seconde chambre de pompe, est formée dans la section de liaison. La pompe piézoélectrique comprend en outre, dans la première chambre de pompe, une première soupape annulaire qui est disposée de façon à entourer une première ouverture à un intervalle de la première ouverture dans une vue en plan dans une direction allant de la surface principale de la première plaque supérieure à la surface principale de la membrane.
(JA)
圧電ポンプは、第1天板と、第2天板と、ダイヤフラムと、第1側壁と、第2側壁とを備え、ダイヤフラムは、圧電素子を有する振動部と、枠部と、接続部とを有し、接続部は、第1ポンプ室と第2ポンプ室を連通させる第3開口を形成し、第1ポンプ室において、第1天板の主面からダイヤフラムの主面方向に平面視して第1開口から間隔を空けて第1開口を囲むように設けられた環状の第1弁をさらに備える。
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