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1. WO2020194670 - ELECTROSTATIC TRANSDUCER AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

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明 細 書

発明の名称 静電型トランスデューサおよびその製造方法

技術分野

0001  

背景技術

0002   0003  

発明の概要

発明が解決しようとする課題

0004   0005   0006   0007   0008   0009  

課題を解決するための手段

0010   0011   0012   0013   0014  

図面の簡単な説明

0015  

発明を実施するための形態

0016   0017   0018   0019   0020   0021   0022   0023   0024   0025   0026   0027   0028   0029   0030   0031   0032   0033   0034   0035   0036   0037   0038   0039   0040   0041   0042   0043   0044   0045   0046   0047   0048   0049   0050   0051   0052   0053   0054   0055   0056   0057   0058   0059   0060   0061   0062   0063   0064   0065   0066   0067   0068   0069   0070   0071   0072   0073   0074   0075   0076   0077   0078   0079   0080   0081   0082   0083   0084   0085   0086   0087   0088   0089   0090   0091   0092   0093   0094   0095   0096   0097   0098   0099   0100   0101   0102   0103   0104   0105   0106   0107   0108   0109   0110  

符号の説明

0111  

請求の範囲

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   11   12   13   14   15   16   17   18   19   20   21   22  

図面

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   11   12   13   14  

明 細 書

発明の名称 : 静電型トランスデューサおよびその製造方法

技術分野

[0001]
 本発明は、静電型トランスデューサおよびその製造方法に関するものである。

背景技術

[0002]
 特許第4814594号公報には、ステアリングホイールの把持部に埋め込まれた複数の力センサについて開示されている。複数の力センサは、リング状の把持部の周方向に独立して配列されている。各力センサは、ステアリングホイールの把持部の円形断面において、芯部、芯部の外周面に貼り付けられた第一導体箔(電極)と、当該第一導体箔の外周面に配置された樹脂部と、樹脂部の外周面に配置された第二導体箔(電極)と、第二導体箔の外周面に貼り付けられた外筒部とを備える。
[0003]
 特許第5360203号公報には、シートの座面に、臀部の左右それぞれから心電信号を検出する座面電極の構造について開示されている。当該座面電極は、シート部材の上に配置された1つの下部電極と、下部電極の上面に配置された絶縁層と、絶縁層の上面に配置されそれぞれ独立した2つの上部電極と、2つの上部電極の上面に配置された保護層と、保護層の孔の内周面に配置された導電部とを備える。

発明の概要

発明が解決しようとする課題

[0004]
 特許第4814594号公報に開示の複数の力センサのそれぞれが、静電型センサの電極対としての第一電極(導体箔)および第二電極(導体箔)を備えている。例えば、4つの力センサを設ける場合には、8つの電極が必要となる。さらに、配線は、それぞれの電極の数に応じた数を必要とする。従って、電極数が多いほど、配線の数も多くなり、部品点数、設計自由度の観点において改善の余地がある。
[0005]
 さらに、静電型センサにおいて電極対の一方は、基準電位とすることがある。しかし、特許第4814594号公報に開示されているように、複数の電極対が全て独立している場合には、基準電位にばらつきが生じるおそれがある。この場合、センサとしての検出精度が低下するおそれがある。また、静電型アクチュエータとして適用する場合においても、電極対の一方を基準電位とすることがある。この場合、複数の静電型アクチュエータにおいて基準電位にばらつきが生じると、アクチュエータとしての動作精度が低下するおそれがある。
[0006]
 また、特許第5360203号公報に開示の座面電極においては、上部電極が複数であるのに対して、下部電極が共通化されている。従って、部品点数、設計自由度、および、基準電位のばらつきの抑制の観点において、良好である。
[0007]
 また、近年、環境対策として、揮発性有機化合物(VOC)の排出の抑制が求められている。そのため、揮散型接着剤を用いないことが求められ、かつ、有機溶媒も用いないことが求められる。従って、静電型センサや静電型アクチュエータにおいて、電極と他の構成部材との接合においても、揮散型接着剤や有機溶媒を用いないようにすることが求められる。
[0008]
 さらに、電極間の静電容量を用いたトランスデューサ(センサまたはアクチュエータ)においては、誘電層の材料によって、静電容量が異なることが知られている。揮散型接着剤や有機溶媒を用いた場合には、これらの成分が静電容量に影響を及ぼすおそれがある。さらに、揮散型接着剤や有機溶媒が、誘電層の材料そのものに影響を及ぼし、結果として、静電容量に影響を及ぼすおそれがある。その結果、揮散型接着剤や有機溶媒の影響によって、設計どおりの静電容量を得ることができないおそれがある。
[0009]
 本発明は、部品点数を低減しつつ複数箇所に機能するようにすると共に、揮散型接着剤および有機溶媒を用いることなく製造できる静電型トランスデューサおよびその製造方法を提供することを目的の一つとする。

課題を解決するための手段

[0010]
 本発明に係る静電型トランスデューサは、エラストマーにより形成された絶縁体シートと、前記絶縁体シートの表面側に配列され、前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着され、前記絶縁体シートの面方向に相互に距離を有して配列された複数の第一電極シートと、前記絶縁体シートの裏面側に配置され、前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着され、前記複数の第一電極シートに対向する部位および前記面方向に隣接するそれぞれの前記第一電極シートの間の領域に対向する部位を一体的に形成された1つの第二電極シートとを備える。
[0011]
 本発明に係る静電型トランスデューサは、複数の第一電極シートと1つの第二電極シートとを備えて構成されている。従って、トランスデューサとして機能する部位は、複数箇所存在するが、第二電極シートは1つとなる。つまり、第一電極シートと第二電極シートとが同数設けられる場合に比べて、第二電極シートの数が少なくなるため、全体として部品点数が少なくなる。そして、第二電極シートに接続される配線の数を少なくすることが可能となる。配線の数が少なくなることで、設計自由度が向上する。
[0012]
 そして、静電容量を構成する電極対の一方が、1つの第二電極シートにより構成されるため、基準電位を利用する場合において、安定した基準電位を利用することができる。その結果、センサとしての検出精度やアクチュエータとしての動作精度を向上させることができる。
[0013]
 さらに、第一電極シートと絶縁体シートとは、絶縁体シート自身の融着により絶縁体シートに固着されている。第二電極シートと絶縁体シートとも、絶縁体シート自身の融着により絶縁体シートに固着されている。従って、静電型トランスデューサは、揮散型接着剤や有機溶媒を用いることなく、第一電極シートおよび第二電極シートを、絶縁体シートに固着することができる。このように、揮散型接着剤や有機溶剤を用いないことにより、環境問題対策として有効であり、静電容量への影響を考慮する必要がなくなる。
[0014]
 また、本発明に係る静電型トランスデューサの製造方法は、前記絶縁体シートの表面側に前記複数の第一電極シートを配列し、加熱および加圧により、前記複数の第一電極シートを前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着させる。当該製造方法により、上述した静電型トランスデューサを容易に製造することができる。従って、製造コストを低減することができる。

図面の簡単な説明

[0015]
[図1] 第一例のトランスデューサの断面図である。
[図2] 第一例のトランスデューサの製造方法を示す図である。
[図3] 第二例のトランスデューサの断面図である。
[図4] 第三例のトランスデューサの断面図である。
[図5] 第三例のトランスデューサの製造方法を示す図である。
[図6] 第四例のトランスデューサの平面図である。
[図7] 第五例のトランスデューサの平面図である。
[図8] 第六例のトランスデューサの平面図である。
[図9] 第七例のトランスデューサの平面図である。
[図10] 第八例のトランスデューサの平面図である。
[図11] 第九例のトランスデューサの平面図である。
[図12] 第十例のトランスデューサの平面図である。
[図13] 第十一例のトランスデューサの平面図である。
[図14] 第十二例のトランスデューサの平面図である。

発明を実施するための形態

[0016]
 (1.適用対象)
 静電型トランスデューサ(以下、「トランスデューサ」と称する)は、例えば、基材と、基材の取付面に取り付けられた静電シートを備える。基材は、任意の部材であって、金属、樹脂、その他の材料により形成される。
[0017]
 また、基材の取付面は、曲面、複合平面、平面と曲面の複合形状などの三次元形状に形成されてもよいし、基材の表面が単一平面形状に形成されてもよい。基材が可撓性を有する材料により形成されている場合に、当該基材の取付面に当該静電シートを取り付けることもできる。また、トランスデューサは、基材を備えることなく、当該静電シート単体として利用することもできる。
[0018]
 静電シートは、電極間の静電容量の変化を利用して、振動や音などを発生させるアクチュエータとして機能させることができる。また、静電シートは、電極間の静電容量の変化を利用して、外部からの押込力などを検出するセンサ、電位を有する導電体の接触または接近を検出するセンサとして機能させることができる。
[0019]
 静電シートがアクチュエータとして機能する場合には、電極に電圧が印加されることにより、電極間の電位に応じて絶縁体が変形し、絶縁体の変形に伴って振動が発生する。静電シートが押込力検出センサとして機能する場合には、外部からの押込力や振動や音などの入力に起因して絶縁体が変形することにより電極間の静電容量が変化し、電極間の静電容量に応じた電圧を検出することで、外部からの押込力などを検出する。また、静電シートが接触接近センサとして機能する場合には、電位を有する導電体の接触または接近により、電極間の静電容量が変化し、変化した電極間の静電容量に応じた電圧を検出することで、当該導電体の接触または接近を検出する。
[0020]
 トランスデューサは、例えば、ポインティングデバイスであるマウスやジョイスティックの表面、車両部品の表面などに適用できる。車両部品としては、アームレスト、ドアノブ、シフトレバー、ステアリングホイール、ドアトリム、センタートリム、センターコンソール、天井などが含まれる。多くの場合、基材は、金属や硬質樹脂などの可撓性を有しない材料により形成されている。そして、トランスデューサは、対象者の状態の検出や対象者への振動などの付与を行うことができる。
[0021]
 また、トランスデューサは、シート座面の表層側に配置されるようにしてもよい。この場合、トランスデューサは、樹脂フィルムなどの可撓性を有する材料により形成された基材に、静電シートを取り付けるように構成してもよい。また、トランスデューサは、基材を備えずに、静電シート単体により構成されるようにしてもよい。
[0022]
 また、トランスデューサの静電シートは、ヒータ機能を有する構成とすることもできる。この場合、トランスデューサは、対象者の状態の検出や対象者への振動などの付与に加えて、対象者への熱の付与を行うことができる。
[0023]
 (2.第一例)
 (2-1.第一例のトランスデューサ1の構成)
 第一例のトランスデューサ1の構成について、図1を参照して説明する。図1に示すように、トランスデューサ1は、少なくとも静電シート10を備える。第一例では、トランスデューサ1は、基材20および基材側融着シート30を備える場合を例に挙げるが、基材20および基材側融着シート30を備えない構成とすることもできる。基材20は、金属や樹脂などの任意の材料により形成されている。
[0024]
 静電シート10は、全体として、弾性変形可能である。静電シート10は、基材20の取付面に取り付けられている。そして、基材20の取付面が三次元曲面であっても、静電シート10は、基材20の曲面状の取付面に沿って取り付けることができる。特に、静電シート10を面方向に伸張させながら基材20の取付面に取り付けることで、静電シート10にしわが発生することを抑制することができる。
[0025]
 静電シート10は、少なくとも、絶縁体シート11、複数の第一電極シート12,13,14、および、1つの第二電極シート15を備える。絶縁体シート11は、エラストマーにより形成されている。従って、絶縁体シート11は、弾性変形可能である。絶縁体シート11は、例えば、熱可塑性エラストマーにより形成されている。絶縁体シート11は、熱可塑性エラストマー自身により形成されるようにしてもよいし、熱可塑性エラストマーを素材として加熱することによって架橋されたエラストマーにより形成されるようにしてもよい。
[0026]
 ここで、絶縁体シート11は、スチレン系、オレフィン系、塩ビ系、ウレタン系、エステル系、アミド系などのエラストマーから、1種以上を選択可能である。例えば、スチレン系エラストマーとしては、SBS、SEBS、SEPSなどが挙げられる。オレフィン系エラストマーとしては、EEA、EMA、EMMAなどの他、エチレンとαオレフィンとの共重合体(エチレンーオクテン共重合体)などが挙げられる。
[0027]
 絶縁体シート11は、熱可塑性エラストマー以外のゴム、樹脂を含んでいてもよい。例えば、エチレン-プロピレンゴム(EPM、EPDM)などのゴムを含む場合には、絶縁体シート11の柔軟性が向上する。絶縁体シート11の柔軟性を向上させるという観点から、絶縁体シートに可塑剤などの柔軟性付与成分を含有させてもよい。
[0028]
 第一電極シート12,13,14は、絶縁体シート11の表面(図1の上面)側に配列されている。つまり、第一電極シート12,13,14は、絶縁体シート11の表面側において、絶縁体シート11の面方向に相互に距離を有して配列されている。第一電極シート12,13,14のそれぞれの部位が、センサの検出領域またはアクチュエータの動作領域として独立して機能する。
[0029]
 また、第一電極シート12,13,14は、導電性を有しつつ、柔軟性および面方向への伸縮性を有する。第一電極シート12,13,14は、例えば、導電性布、導電性エラストマー、貫通孔を有する金属シートなどにより形成されている。また、第一電極シート12,13,14は、柔軟性および伸縮性を有する材料である場合には、貫通孔を有するシート、貫通孔を有しないシートの何れでも適用可能である。第一電極シート12,13,14は、柔軟性および伸縮性を有しない材料である場合には、貫通孔を有することにより当該性質を有するようにすることができる。第一例では、第一電極シート12,13,14として、導電性布を例に挙げる。
[0030]
 導電性布とは、導電性繊維により形成された織物または不織布である。ここで、導電性繊維は、柔軟性を有する繊維の表面を導電性材料により被覆することにより形成される。導電性繊維は、例えば、ポリエチレンなどの樹脂繊維の表面に、銅やニッケルなどをメッキすることにより形成される。
[0031]
 さらに、第一電極シート12,13,14のそれぞれは、絶縁体シート11自身の融着(熱融着)により絶縁体シート11に固着されている。つまり、絶縁体シート11の表面側の一部分が、第一電極シート12,13,14のそれぞれと固着するための融着材料として機能する。従って、第一電極シート12,13,14と絶縁体シート11とは、揮散型接着剤や有機溶剤を用いることなく固着されている。
[0032]
 ここで、第一電極シート12,13,14のそれぞれの少なくとも一部は、絶縁体シート11に埋設されている。従って、絶縁体シート11は、絶縁体シート11の面方向に隣接するそれぞれの第一電極シート12,13,14の間に、絶縁体シート11の表面側の一部により構成される電極間絶縁層11a,11bを備えることになる。電極間絶縁層11aは、第一電極シート12,13の間に位置し、電極間絶縁層11bは、第一電極シート13,14の間に位置する。
[0033]
 従って、第一電極シート12,13,14のそれぞれの周面の少なくとも一部は、電極間絶縁層11a,11b自身の融着により電極間絶縁層11a,11bに固着されている。その結果、絶縁体シート11と第一電極シート12,13,14のそれぞれとが、より強固に一体化される。さらに、第一電極シート12,13,14が距離を有して配置されているとしても、静電シート10の表面側に凹凸を生じにくくできる。その結果、トランスデューサ1の表面側の意匠性が良好となる。
[0034]
 また、第一電極シート12,13,14が貫通孔を有する場合には、絶縁体シート11の表面側の一部は、当該貫通孔にも入り込むようにできる。この場合、第一電極シート12,13,14は、貫通孔に入り込んだ絶縁体シート11の一部によって固着される。従って、絶縁体シート11と第一電極シート12,13,14のそれぞれとは、より強固に一体化される。
[0035]
 また、第一電極シート12,13,14のそれぞれの少なくとも一部は、絶縁体シート11にさらに深く埋没される状態にすることができる。例えば、第一電極シート12,13,14の表面が、凹凸状に形成されている場合には、当該表面の凹状部分が、絶縁体シート11にさらに深く埋没される状態となる。
[0036]
 この場合において、絶縁体シート11は、第一電極シート12,13,14の表面側に、絶縁体シート11の表面側の一部により構成される第一被覆層11cを備えることになる。従って、第一電極シート12,13,14のそれぞれの表面の少なくとも一部は、第一被覆層11c自身の融着により第一被覆層11cに固着されている。その結果、絶縁体シート11と第一電極シート12,13,14のそれぞれとが、より強固に一体化される。
[0037]
 1つの第二電極シート15は、絶縁体シート11の裏面(図1の下面)側に配置されている。第二電極シート15は、第一電極シート12,13,14の全てに対向する。つまり、第二電極シート15は、第一電極シート12,13,14に対向する部位、および、面方向に隣接するそれぞれの第一電極シート12,13,14の間の領域に対向する部位を備えており、これらの全ての部位を一体的に形成されている。
[0038]
 また、第二電極シート15は、第一電極シート12,13,14と同様に、導電性を有しつつ、柔軟性および面方向への伸縮性を有する。第二電極シート15は、第一電極シート12,13,14と同様の材料により形成されている。
[0039]
 さらに、第二電極シート15は、絶縁体シート11自身の融着(熱融着)により絶縁体シート11に固着されている。つまり、絶縁体シート11の裏面側の一部分が、第二電極シート15と固着するための融着材料として機能する。従って、第二電極シート15と絶縁体シート11とは、揮散型接着剤や有機溶媒を用いることなく固着されている。
[0040]
 また、第二電極シート15が貫通孔を有する場合には、絶縁体シート11の裏面側の一部は、当該貫通孔に入り込むようにできる。この場合、第二電極シート15は、貫通孔に入り込んだ絶縁体シート11の一部によって固着される。従って、絶縁体シート11と第二電極シート15とは、より強固に一体化される。
[0041]
 また、第二電極シート15の少なくとも一部は、絶縁体シート11にさらに深く埋没される状態にすることができる。例えば、第二電極シート15の裏面が、凹凸状に形成されている場合には、当該裏面の凹状部分が、絶縁体シート11にさらに深く埋没される状態となる。
[0042]
 この場合において、絶縁体シート11は、第二電極シート15の裏面側に、絶縁体シート11の裏面側の一部により構成される第二被覆層11dを備えることになる。従って、第二電極シート15の裏面の少なくとも一部は、第二被覆層11d自身の融着により第二被覆層11dに固着されている。その結果、絶縁体シート11と第二電極シート15とが、より強固に一体化される。
[0043]
 基材側融着シート30は、絶縁体シート11と同様の材料により形成されている。基材側融着シート30は、自身の融着(熱融着)により、基材20の取付面に固着されると共に、第二電極シート15の裏面に固着される。
[0044]
 (2-2.第一例のトランスデューサ1の製造方法)
 第一例のトランスデューサ1の製造方法について、図2を参照して説明する。図2に示すように、絶縁体シート11の表面側に、第一電極シート12,13,14を配列し、絶縁体シート11の裏面側に、第二電極シート15を配置する(準備工程)。このようにして、積層体を準備する。
[0045]
 続いて、積層体に対して、積層方向に加熱および加圧する(第一加熱加圧工程)。そうすると、絶縁体シート11の表面が軟化して、第一電極シート12,13,14が絶縁体シート11の表面から埋没する。そして、絶縁体シート11の表面が融着材料として機能し、絶縁体シート11に第一電極シート12,13,14が固着される。さらに、絶縁体シート11の裏面が軟化して、第二電極シート15が絶縁体シート11の裏面から埋没する。そして、絶縁体シート11の裏面が融着材料として機能し、絶縁体シート11に第二電極シート15が固着される。
[0046]
 続いて、基材側融着シート30の表面を加熱して軟化させた状態で、基材側融着シート30の表面に、第一加熱加圧工程において一体化された状態の第二電極シート15の裏面側を加圧する(第二加熱加圧工程)。そうすると、基材側融着シート30自身の融着によって、第二電極シート15の裏面側が基材側融着シート30に固着する。
[0047]
 続いて、基材側融着シート30の裏面を加熱して軟化させた状態で、基材側融着シート30の裏面に基材20の取付面を加圧する(第三加熱加圧工程)。そうすると、基材側融着シート30自身の融着によって、基材20の取付面が基材側融着シート30に固着される。このようにして、トランスデューサ1が製造される。
[0048]
 ここで、絶縁体シート11の素材に架橋剤を含有させてもよい。この場合、第一加熱加圧工程における加熱によって、絶縁体シート11の融着による固着と同時に、絶縁体シート11の架橋を行うこともできる。第一加熱加圧工程後において、絶縁体シート11は、架橋されたエラストマーにより形成されることになる。
[0049]
 また、絶縁体シート11の素材に架橋剤を含有させる場合において、第一加熱加圧工程の後に架橋のための追加加熱を行うこともできる(架橋工程)。この場合、絶縁体シート11の融着による固着の後に、追加加熱によって絶縁体シート11の架橋を行うこともできる。この場合、追加加熱を行う架橋工程後において、絶縁体シート11は、架橋されたエラストマーにより形成されることになる。
[0050]
 また、第一加熱加圧工程において、第一電極シート12,13,14と絶縁体シート11の固着工程と、第二電極シート15と絶縁体シート11の固着工程とを、別々に行うようにしてもよい。また、基材側融着シート30は、第一加熱加圧工程において一体化された状態の第二電極シート15に固着する前に、基材20に固着してもよい。また、基材20が存在しない場合には、基材側融着シート30も不要とすることもできる。
[0051]
 (2-3.第一例のトランスデューサ1による効果)
 第一例のトランスデューサ1は、複数の第一電極シート12,13,14と1つの第二電極シート15とを備えて構成されている。従って、トランスデューサ1として機能する部位は、複数箇所存在するが、第二電極シート15は1つとなる。つまり、第一電極シート12,13,14と第二電極シート15とが同数設けられる場合に比べて、第二電極シート15の数が少なくなるため、全体として部品点数が少なくなる。そして、第二電極シート15に接続される配線の数を少なくすることが可能となる。配線の数が少なくなることで、設計自由度が向上する。
[0052]
 そして、静電容量を構成する電極対の一方が、1つの第二電極シート15により構成されるため、基準電位を利用する場合において、安定した基準電位を利用することができる。その結果、センサとしての検出精度やアクチュエータとしての動作精度を向上させることができる。
[0053]
 さらに、第一電極シート12,13,14と絶縁体シート11とは、絶縁体シート11自身の融着によって固着されている。第二電極シート15と絶縁体シート11とも、絶縁体シート11自身の融着によって固着されている。従って、トランスデューサ1は、揮散型接着剤や有機溶媒を用いることなく、第一電極シート12,13,14および第二電極シート15を、絶縁体シート11に固着することができる。このように、揮散型接着剤や有機溶剤を用いないことにより、環境問題対策として有効であり、静電容量への影響を考慮する必要がなくなる。
[0054]
 また、加熱および加圧により、第一電極シート12,13,14を絶縁体シート11自身の融着により絶縁体シート11に固着させる。また、加熱および加圧により、第二電極シート15を絶縁体シート11自身の融着により絶縁体シート11に固着させる。従って、接着剤の塗布を行う必要がなく、トランスデューサ1を容易に製造することができる。従って、製造コストを低減することができる。
[0055]
 また、絶縁体シート11を第一電極シート12,13,14に固着させると同時または固着させた後に、絶縁体シート11を架橋させる場合には、絶縁体シート11と第一電極シート12,13,14との一体化がより強固な状態となる。第二電極シート15についても同様である。
[0056]
 (3.第二例のトランスデューサ2)
 第二例のトランスデューサ2の構成について、図3を参照して説明する。第二例のトランスデューサ2は、第一例のトランスデューサ1に対して、第一電極シート12,13,14および第二電極シート15が異なる。第二例では、第一電極シート12,13,14は、導電性エラストマーにより形成されている場合を例に挙げる。導電性エラストマーとは、エラストマー中に導電性フィラーを含有させたものである。
[0057]
 ここで、第一電極シート12,13,14に用いられるエラストマーは、絶縁体シート11と主成分を同種とする材料により形成されている。すなわち、第一電極シート12,13,14は、スチレン系、オレフィン系、塩ビ系、ウレタン系、エステル系、アミド系などのエラストマーから、1種以上を選択可能である。例えば、スチレン系エラストマーとしては、SBS、SEBS、SEPSなどが挙げられる。オレフィン系エラストマーとしては、EEA、EMA、EMMAなどの他、エチレンとαオレフィンとの共重合体(エチレンーオクテン共重合体)などが挙げられる。
[0058]
 ただし、第一電極シート12,13,14は、絶縁体シート11よりも高い軟化点を有するようにされている。これは、絶縁体シート11自身の融着により第一電極シート12,13,14に固着される際に、絶縁体シート11が第一電極シート12,13,14より先に軟化することができるようにするためである。
[0059]
 また、第一電極シート12,13,14は、貫通孔を有してもよいし、貫通孔を有しなくてもよい。図3においては、第一電極シート12,13,14は、貫通孔を有する場合を例に挙げる。第一電極シート12,13,14が貫通孔を有する場合には、絶縁体シート11と第一電極シート12,13,14とが、強固に一体化される。
[0060]
 第二電極シート15は、第一電極シート12,13,14と同様の材料により形成されている。つまり、第二電極シート15は、導電性エラストマーにより形成されており、貫通孔を有する。
[0061]
 第二例のトランスデューサ2は、第一例のトランスデューサ1と同様に製造される。ここで、第一加熱加圧工程にて、絶縁体シート11の表面側に第一電極シート12,13,14を配列した状態において加熱および加圧する。このとき、軟化点が、絶縁体シート11の方が低いため、絶縁体シート11が先に軟化する。従って、絶縁体シート11の表面が軟化して、第一電極シート12,13,14が絶縁体シート11の表面から埋没する。
[0062]
 このとき、第一電極シート12,13,14の外面が僅かに軟化することで、第一電極シート12,13,14のエラストマーと絶縁体シート11のエラストマーとが、一体的な結合状態となる。その結果、両者は、より強固な結合状態となる。
[0063]
 また、第二電極シート15についても、第一電極シート12,13,14と同様である。つまり、第二電極シート15は、絶縁体シート11の裏面側の一部分の融着によって、絶縁体シート11の裏面側に埋没した状態で固着される。さらに、第二電極シート15の外面が僅かに軟化することで、第二電極シート15のエラストマーと絶縁体シート11のエラストマーとが、一体的な結合状態となる。
[0064]
 また、絶縁体シート11の素材、第一電極シート12,13,14の素材に架橋剤を含有させてもよい。この場合、絶縁体シート11が架橋されたエラストマーにより形成されることで、絶縁体シート11と第一電極シート12,13,14との一体化がより強固な状態となる。さらに、第一電極シート12,13,14の素材に架橋剤を含有させることで、第一電極シート12,13,14のエラストマーが、絶縁体シート11と第一電極シート12,13,14との間で架橋された状態となる。つまり、絶縁体シート11と第一電極シート12,13,14とを跨いだ架橋によって、絶縁体シート11と第一電極シート12,13,14との一体化がより強固な状態となる。
[0065]
 また、第二電極シート15についても、第一電極シート12,13,14と同様に、素材に架橋剤を含有させてもよい。この場合、絶縁体シート11と第二電極シート15とを跨いだ架橋によって、絶縁体シート11と第二電極シート15との一体化がより強固な状態となる。なお、架橋のための加熱は、第一加熱加圧工程による加熱を利用してもよいし、第一加熱加圧工程の後に追加加熱を行ってもよい。
[0066]
 (4.第三例のトランスデューサ3)
 (4-1.第三例のトランスデューサ3の構成)
 第三例のトランスデューサ3の構成について、図4を参照して説明する。図4に示すように、トランスデューサ3は、静電シート10と、基材20と、静電シート10の裏面と基材20の表面との間に配置されたヒータシート40とを備える。つまり、トランスデューサ3は、センサまたはアクチュエータの機能に加えて、ヒータ機能を有する。
[0067]
 ここで、静電シート10は、第一例のトランスデューサ1における静電シート10でもよいし、第二例のトランスデューサ2における静電シート10でもよい。ただし、静電シート10を構成する絶縁体シート11は、ヒータシート40の熱を静電シート10の表面に伝達できるようにすることと、耐熱性を確保するために、以下の材料により形成するとよい。
[0068]
 絶縁体シート11の熱伝導率は、0.3W/m・K以上である。好適な熱伝導率は、0.4W/m・K以上、さらには0.5W/m・K以上である。絶縁体シート11は、熱伝導率が比較的大きく、かつ絶縁性の無機フィラーを有することが望ましい。絶縁体シート11の熱伝導率を大きくするために用いる無機フィラー(熱伝導性フィラー)の好適な熱伝導率は、5W/m・K以上、好ましくは10W/m・K以上、より好ましくは20W/m・K以上である。熱伝導率が比較的大きい無機フィラーとしては、金属系フィラー、例えば、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウムなどが挙げられる。金属系フィラーの他に、窒化ホウ素、炭化ケイ素なども、熱伝導率が比較的大きい無機フィラーとして用いることができる。
[0069]
 また、絶縁体シート11に難燃性を付与するという観点から、絶縁体シート11は、難燃性かつ絶縁性の無機フィラーを有することが好ましい。難燃性フィラーとしては、水酸化物フィラー、例えば、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウムなどが挙げられる。水酸化物フィラーの他に、窒化ホウ素なども、難燃性フィラーとして用いることができる。また、難燃性フィラーを、絶縁体シート11の熱伝導率を大きくするために用いる無機フィラー(熱伝導性フィラー)として兼用させることもできる。
[0070]
 また、絶縁体シート11の絶縁性を確保するという観点から、絶縁体シート11の体積抵抗率は、1×10 12Ω・cm以上である。好適な体積抵抗率は、1×10 13Ω・cm以上である。
[0071]
 ヒータシート40は、静電シート10の裏面側、すなわち、第二電極シート15の裏面側に配置されている。ヒータシート40は、ヒータ線41と、ヒータ線41を被覆するヒータ絶縁層42とを備える。ヒータ線41は、金属の合金系材料であり、例えば、ニッケルクロム、鉄クロムなどである。ヒータ線41は、シート状となるように、例えば、線材を往復に形成したり、渦巻き状に巻回したりして形成されている。
[0072]
 ヒータ絶縁層42は、ヒータ線41を囲み、ヒータ線41が露出しないように配置されている。ヒータ絶縁層42は、絶縁体シート11と同様の材料により形成されるとよい。さらに、ヒータ絶縁層42の表面側の一部分が、自身の融着(熱融着)により、第二電極シート15の裏面に固着される。さらに、ヒータ絶縁層42の表面側は、絶縁体シート11の裏面露出面にも、自身の融着により固着される。また、ヒータ絶縁層42の裏面側の一部分が、自身の融着(熱融着)により、基材20の取付面に固着される。
[0073]
 (4-2.第三例のトランスデューサ3の製造方法)
 第三例のトランスデューサ3の製造方法について、図5を参照して説明する。ヒータ絶縁層42の第一素材42a、ヒータ線41、ヒータ絶縁層42の第二素材42bの順に積層されたヒータシート積層体を準備する(ヒータシート準備工程)。
[0074]
 続いて、ヒータシート積層体を加熱および加圧する(ヒータシート加熱加圧工程)。そうすると、第一素材42aおよび第二素材42bのそれぞれが軟化して融着材料として機能し、ヒータ線41に固着される。さらに、第一素材42aと第二素材42bが、相互に固着されて一体化されることで、ヒータ絶縁層42が形成される。このようにして、ヒータシート40が形成される。
[0075]
 続いて、静電シート10とヒータシート40を準備する(準備工程)。ヒータシート40の表面を加熱する(ヒータシート加熱工程)。そして、ヒータシート40の表面側に静電シート10の裏面側が接するようにして、静電シート10とヒータシート40とを加圧する(加圧工程)。そうすると、ヒータ絶縁層42の表面側が軟化して融着材料として機能し、第二電極シート15がヒータ絶縁層42の表面側に固着される。同時に、ヒータ絶縁層42の表面側は、静電シート10の絶縁体シート11の裏面側の露出面にも固着される。
[0076]
 続いて、ヒータシート40の裏面を加熱して軟化させた状態で、ヒータシート40の裏面に基材20の取付面を加圧する(加熱加圧工程)。そうすると、ヒータ絶縁層42自身の融着によって、基材20の取付面がヒータ絶縁層42に固着される。このようにして、トランスデューサ3が製造される。
[0077]
 (4-3.第三例のトランスデューサ3の効果)
 トランスデューサ3は、ヒータ機能を有することから、対象者の状態の検出や対象への振動などの付与に加えて、対象者への熱の付与を行うことができる。特に、絶縁体シート11およびヒータ絶縁層42の熱伝導率を上記のようにすることで、ヒータ線41の熱を、静電シート10の表面に伝達することができる。また、絶縁体シート11およびヒータ絶縁層42が難燃性フィラーを有することで、耐熱効果を向上させることができる。
[0078]
 また、ヒータ線41に電力を供給することに伴って、ヒータ線41がノイズ発生源となるおそれがある。しかし、第二電極シート15は、第一電極シート12,13,14のように分離されていないため、ヒータ線41に対して全範囲においてシールド機能を発揮する。従って、ヒータ線41に供給される電力によってノイズを発生したとしても、第二電極シート15がシールド機能を発揮することができる。その結果、トランスデューサ3は、センサとしての検出精度やアクチュエータとしての動作精度を良好とすることができる。
[0079]
 (5.第四例のトランスデューサ100)
 第四例のトランスデューサ100について、図6を参照して説明する。図6は、トランスデューサ100の表面側から見た図を示している。トランスデューサ100は、長尺状に形成されており、表面における長手方向(第一方向)をX方向、表面における短手方向(第二方向)をY方向とする。X方向とY方向とは直交する方向である。
[0080]
 トランスデューサ100は、長尺状の対象物に取り付けられる。例えば、アームレスト、ドアノブ、シフトレバー、ステアリングホイール、ドアトリム、センタートリム、センターコンソールなどは、何れも長尺状かつ三次元曲面形状に形成されている。従って、トランスデューサ100の長手方向を対象物の長手方向に一致させ、かつ、トランスデューサ100を対象物の表面に沿うように変形させながら、トランスデューサ100を対象物に取り付ける。
[0081]
 ここで、トランスデューサ100の断面形状は、第一例から第三例のトランスデューサ1,2,3の構成を適用される。ただし、図6では、絶縁体シート101、複数の第一電極シート102a,102b、および、第二電極シート103の平面上の配置を図示しており、基材20、基材側融着シート30、ヒータシート40については図示しない。
[0082]
 トランスデューサ100は、絶縁体シート101、複数の第一電極シート102a,102b、および、第二電極シート103に加えて、第一配線104、第二配線105、および、1つのコネクタ106を備える。
[0083]
 絶縁体シート101は、X方向を長手方向とする長尺矩形状に形成されている。複数の第一電極シート102a,102bは、略長方形状に形成されている。全ての第一電極シート102a,102bは、同一形状に形成されている。複数の第一電極シート102a,102bは、絶縁体シート101の表面側において、第一電極シート102a,102bの長手方向が絶縁体シート101の長手方向に一致するように配置されている。
[0084]
 さらに、第一電極シート102a,102bは、X方向に複数個配列されており、かつ、Y方向に複数個配列されている。トランスデューサ100においては、X方向に4列の第一電極シート102a,102bが配列されており、Y方向に3列の第一電極シート102a,102bが配列されている。従って、トランスデューサ100は、X方向において複数箇所の検出部位を有し、かつ、Y方向において複数箇所の検出部位を有する。ただし、X方向およびY方向の列数は、適宜変更可能である。
[0085]
 第二電極シート103は、絶縁体シート101より僅かに小さい長尺矩形状に形成されている。第二電極シート103は、絶縁体シート101の裏面側において、絶縁体シート101の大部分を占める範囲に配置されている。
[0086]
 複数の第一配線104は、絶縁体シート101の表面側に配置され、複数の第一電極シート102a,102bのそれぞれに電気的に接続される。複数の第一配線104は、絶縁体シート101の外周における1箇所に集合させられている。第二配線105は、絶縁体シート101の裏面側に配置され、第二電極シート103に電気的に接続される。第二配線105は、複数の第一配線104が集合している箇所に配策されている。つまり、複数の第一配線104および少なくとも1つの第二配線105が、1箇所に集合している。
[0087]
 コネクタ106は、絶縁体シート101の外周縁に配置されており、集合させた複数の第一配線104および第二配線105に電気的に接続される。そして、コネクタ106は、他のコネクタ(図示せず)に接続される。
[0088]
 第二電極シート103が1個であることで、第二配線105の数およびコネクタ106のピン数を少なくすることができる。従って、トランスデューサ100は、配置自由度の向上を図ることができ、かつ、低コスト化を図ることができる。
[0089]
 (6.第五例のトランスデューサ200)
 第五例のトランスデューサ200について、図7を参照して説明する。トランスデューサ200は、絶縁体シート101、複数の第一電極シート202a,202b、および、第二電極シート103を備える。第五例のトランスデューサ200において、第四例のトランスデューサ100と実質的に同一の構成は、同一符号を付して説明を省略する。以下の例においても同様である。
[0090]
 トランスデューサ200における第一電極シート202a,202bは、非長尺状、例えば、円形、正多角形などに形成される。全ての第一電極シート202a,202bは、同一形状に形成されている。第一電極シート202a,202bは、X方向に複数個配列され、かつ、Y方向に複数個配列されている。これにより、トランスデューサ200において、高分解能の検出または動作を実現できる。
[0091]
 (7.第六例のトランスデューサ300)
 第六例のトランスデューサ300について、図8を参照して説明する。トランスデューサ300は、絶縁体シート101、複数の第一電極シート302a,302b,302c、および、第二電極シート103を備える。
[0092]
 トランスデューサ300において、第一電極シート302a,302b,302cは、異形状に形成されている。第一電極シート302aは、長尺状に形成され、第一電極シート302b,302cは、第一電極シート302aより小さな非長尺状に形成されている。第一電極シート302aは、絶縁体シート101のX方向の一端側に配列されている。第一電極シート302bは、絶縁体シート101のX方向の中央に、低密度に配列されている。第一電極シート302cは、絶縁体シート101のX方向の他端側に高密度に配列されている。
[0093]
 X方向の一端側に配列される第一電極シート302aの領域においては、低分解能かつ高感度で、検出また動作を実現できる。また、X方向の中央に配列される第一電極シート302bの領域においては、低分解能かつ低感度で、検出または動作を実現できる。X方向の他端側に配列される第一電極シート302cの領域においては、高分解能かつ高感度で、検出または動作を実現できる。つまり、第一電極シート302a,302b,302cの1個当たりの大きさと電極密度によって、分解能と感度を適宜調整できる。
[0094]
 (8.第七例のトランスデューサ400)
 第七例のトランスデューサ400について、図9を参照して説明する。トランスデューサ400は、絶縁体シート101、複数の第一電極シート402a,402b、および、第二電極シート103を備える。
[0095]
 トランスデューサ400において、第一電極シート402a,402bは、菱形形状に形成されている。全ての第一電極シート402a,402bは、同一形状に形成されている。第一電極シート402a,402bは、X方向に複数個配列され、かつ、Y方向に2個配列されている。第一電極シート402a,402bは、絶縁体シート101の短手方向の中央を通る中心線Lに対して線対象に配置されている。これにより、トランスデューサ400において、高分解能の検出または動作を実現できる。
[0096]
 (9.第八例のトランスデューサ500)
 第八例のトランスデューサ500について、図10を参照して説明する。トランスデューサ500は、絶縁体シート101、複数の第一電極シート502a,502b,502c、および、第二電極シート103を備える。
[0097]
 トランスデューサ500における第一電極シート502a,502bは、平行四辺形に形成される。平行四辺形の一方の対向辺の距離は、絶縁体シート101の短手方向の幅より僅かに短い。平行四辺形の他方の対向辺の距離は、一方の対向辺の距離に比べて短い。平行四辺形の一方の対向辺が、絶縁体シート101の短手方向の縁に平行となるように、第一電極シート502a,502bは、X方向に複数個配列されている。ただし、絶縁体シート101の長手方向の両端において、第一電極シート502cは、残り領域の直角三角形に形成されている。
[0098]
 (10.第九例のトランスデューサ600)
 第九例のトランスデューサ600について、図11を参照して説明する。トランスデューサ600は、絶縁体シート101、複数の第一電極シート602a,602b、および、第二電極シート103を備える。
[0099]
 トランスデューサ600において、第一電極シート602a,602bは、直角三角形に形成されている。全ての第一電極シート602a,602bは、同一形状に形成されている。直角三角形の直角を挟む短辺の長さは、絶縁体シート101の短手方向の幅より僅かに短い。直角三角形の当該短辺が、絶縁体シート101の短手方向に平行に配置される。
[0100]
 そして、隣り合う2つの第一電極シート602a,602bは、直角三角形の斜辺同士が対向する。つまり、隣り合う2つの第一電極シート602a,602bは、斜辺の中間点付近を中心として、点対称に配置されている。
[0101]
 つまり、隣接する2つの第一電極シートの一方602aは、絶縁体シート101の短手方向の中央を通る中心線Lを跨いで配置されている。さらに、隣接する2つの第一電極シートの他方602bは、絶縁体シート101の短手方向の中央を通る中心線Lを跨いで配置されている。そして、隣接する2つの第一電極シート602a,602bは、相互に、少なくとも一部が絶縁体シート101の長手方向に隣接すると共に、少なくとも一部が絶縁体シート101の短手方向に隣接する。
[0102]
 (11.第十例のトランスデューサ700)
 第十例のトランスデューサ700について、図12を参照して説明する。トランスデューサ700は、絶縁体シート101、複数の第一電極シート702a,702b、および、第二電極シート103を備える。
[0103]
 トランスデューサ700において、第一電極シート702a,702bは、L字状に形成されている。全ての第一電極シート702a,702bは、同一形状に形成されている。L字状短辺の長さは、絶縁体シート101の短手方向の幅より僅かに短い。L字状の当該短辺が、絶縁体シート101の短手方向に平行に配置される。
[0104]
 そして、隣り合う2つの第一電極シート702a,702bは、L字状の長辺の中間点付近を中心として、点対称に配置されている。つまり、第一電極シートの一方702aのL字状の長辺の端部と他方702bのL字状の短辺とが、X方向に対向する。また、第一電極シートの一方702aのL字状の短辺と他方702bのL字状の長辺の端部とが、X方向に対向する。第一電極シートの一方702aのL字状の長辺と他方702bのL字状の長辺とが、Y方向に対向する。
[0105]
 つまり、隣接する2つの第一電極シートの一方702aは、絶縁体シート101の短手方向の中央を通る中心線Lを跨いで配置されている。さらに、隣接する2つの第一電極シートの他方602bは、絶縁体シート101の短手方向の中央を通る中心線Lを跨いで配置されている。そして、隣接する2つの第一電極シート702a,702bは、相互に、少なくとも一部が絶縁体シート101の長手方向に隣接すると共に、少なくとも一部が絶縁体シート101の短手方向に隣接する。
[0106]
 (12.第十一例のトランスデューサ800)
 第十一例のトランスデューサ800について、図13を参照して説明する。トランスデューサ800は、絶縁体シート101、複数の第一電極シート802a,802b、および、第二電極シート103を備える。
[0107]
 トランスデューサ800における第一電極シート802a,802bは、長方形に形成される。全ての第一電極シート802a,802bは、同一形状に形成されている。長方形の短辺の距離は、絶縁体シート101の短手方向の幅の2分の1より僅かに短い。長方形の長辺の距離は、絶縁体シート101の長手方向の長さの2分の1より僅かに短い。第一電極シート802a,802bの長手方向が絶縁体シート101の長手方向に一致するように配置されている。
[0108]
 第一電極シート802a,802bは、X方向に2個配列され、かつ、Y方向に2個配列されている。第一電極シート802a,802bは、絶縁体シート101の短手方向の中央を通る中心線Lに対して線対象に配置されている。
[0109]
 (13.第十二例のトランスデューサ900)
 第十二例のトランスデューサ900について、図14を参照して説明する。トランスデューサ900は、絶縁体シート101、複数の第一電極シート902a,902b、および、第二電極シート103を備える。
[0110]
 トランスデューサ300において、第一電極シート902a,902bは、異形状に形成されている。第一電極シート902aは、長尺状に形成され、絶縁体シート101の短手方向の中央を通る中心線Lに沿って配置されている。第一電極シート902bは、絶縁体シート101の短手方向の両端側に、第一電極シート902aに隣り合うように配置されている。

符号の説明

[0111]
1,2,3,100,200,300,400,500,600,700,800,900:静電型トランスデューサ、 10:静電シート、 11:絶縁体シート、 11a,11b:電極間絶縁層、 11c:第一被覆層、 11d:第二被覆層、 12,13,14:第一電極シート、 15:第二電極シート、 20:基材、 30:基材側融着シート、 40:ヒータシート、 41:ヒータ線、 42:ヒータ絶縁層、 42a:第一素材、 42b:第二素材、 101:絶縁体シート、 102a,102b,202a,202b,302a,302b,302c,402a,402b,502a,502b,502c,602a,602b,702a,702b,802a,802b,902a,902b:第一電極シート、 103:第二電極シート、 104:第一配線、 105:第二配線、 106:コネクタ、 L:中心線

請求の範囲

[請求項1]
 エラストマーにより形成された絶縁体シートと、
 前記絶縁体シートの表面側に配列され、前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着され、前記絶縁体シートの面方向に相互に距離を有して配列された複数の第一電極シートと、
 前記絶縁体シートの裏面側に配置され、前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着され、前記複数の第一電極シートに対向する部位および前記面方向に隣接するそれぞれの前記第一電極シートの間の領域に対向する部位を一体的に形成された1つの第二電極シートと、
 を備える、静電型トランスデューサ。
[請求項2]
 前記複数の第一電極シートのそれぞれの少なくとも一部は、前記絶縁体シートに埋設され、
 前記絶縁体シートは、前記絶縁体シートの前記面方向に隣接するそれぞれの前記第一電極シートの間に、前記絶縁体シートの一部により構成される電極間絶縁層を備え、
 前記複数の第一電極シートのそれぞれの周面の少なくとも一部は、前記電極間絶縁層自身の融着により前記電極間絶縁層に固着されている、請求項1に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項3]
 前記複数の第一電極シートのそれぞれの少なくとも一部は、前記絶縁体シートに埋没され、
 前記絶縁体シートは、前記第一電極シートの表面側に、前記絶縁体シートの一部により構成される第一被覆層を備え、
 前記複数の第一電極シートのそれぞれの表面の少なくとも一部は、前記第一被覆層自身の融着により前記第一被覆層に固着されている、請求項2に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項4]
 前記複数の第一電極シートは、前記絶縁体シートの表面における第一方向に配列されている、請求項1-3の何れか1項に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項5]
 前記複数の第一電極シートは、さらに、前記絶縁体シートの表面における前記第一方向に直交する第二方向に配列されている、請求項4に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項6]
 前記絶縁体シートおよび前記第二電極シートは、長尺状に形成されており、
 隣接する2つの前記第一電極シートの一方は、前記絶縁体シートの短手方向の中央を通る中心線を跨いで配置され、
 前記隣接する2つの前記第一電極シートの他方は、前記絶縁体シートの短手方向の中央を通る中心線を跨いで配置され、
 前記隣接する2つの前記第一電極シートは、相互に、少なくとも一部が前記絶縁体シートの長手方向に隣接すると共に、少なくとも一部が前記絶縁体シートの短手方向に隣接する、請求項1-5の何れか1項に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項7]
 前記複数の第一電極シートの少なくとも2つは、同一形状に形成されている、請求項1-6の何れか1項に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項8]
 前記複数の第一電極シートの少なくとも2つは、異形状に形成されている、請求項1-7の何れか1項に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項9]
 前記静電型トランスデューサは、さらに、
 前記複数の第一電極シートのそれぞれに電気的に接続される複数の第一配線と、
 前記1つの第二電極シートに電気的に接続される少なくとも1つの第二配線と、
 前記複数の第一配線および前記少なくとも1つの第二配線を集合させる1つのコネクタと、
 を備える、請求項1-8の何れか1項に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項10]
 前記絶縁体シートは、架橋された前記エラストマーにより形成されている、請求項1-9の何れか1項に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項11]
 前記第一電極シートは、
 前記絶縁体シートと主成分を同種とする材料からなり、前記絶縁体シートと間で架橋されたエラストマーと、
 導電性フィラーと、
 を含んで形成されている、請求項10に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項12]
 前記絶縁体シートは、スチレン系エラストマーまたはオレフィン系エラストマーにより形成されている、請求項1-11の何れか1項に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項13]
 前記第一電極シートは、スチレン系エラストマーまたはオレフィン系エラストマーにより形成されており、前記絶縁体シートより高い軟化点を有する、請求項12に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項14]
 前記静電型トランスデューサは、さらに、前記第二電極シートの裏面側に積層されるヒータシートを備える、請求項1-13の何れか1項に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項15]
 前記絶縁体シートは、熱伝導率が0.3W/m・K以上である、請求項14に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項16]
 前記絶縁体シートは、熱伝導率が5W/m・K以上の熱伝導性フィラーを有する、請求項15に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項17]
 前記熱伝導性フィラーは、絶縁性の金属系フィラーである、請求項16に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項18]
 前記絶縁体シートは、難燃性フィラーを有する、請求項14-17の何れか1項に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項19]
 前記難燃性フィラーは、水酸化物フィラーである、請求項18に記載の静電型トランスデューサ。
[請求項20]
 請求項1-19の何れか1項に記載の静電型トランスデューサの製造方法であって、
 前記絶縁体シートの表面側に前記複数の第一電極シートを配列し、
 加熱および加圧により、前記複数の第一電極シートを前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着させる、静電型トランスデューサの製造方法。
[請求項21]
 請求項10または11に記載の静電型トランスデューサの製造方法であって、
 前記絶縁体シートの表面側に前記複数の第一電極シートを配列し、
 前記複数の第一電極シートを配列した後に、加熱および加圧を行うことによって、前記複数の第一電極シートを前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着させ、
 前記加熱によって前記融着による固着と同時に前記絶縁体シートの架橋を行う、静電型トランスデューサの製造方法。
[請求項22]
 請求項10または11に記載の静電型トランスデューサの製造方法であって、
 前記絶縁体シートの表面側に前記複数の第一電極シートを配列し、
 前記複数の第一電極シートを配列した後に、加熱および加圧を行うことによって、前記複数の第一電極シートを前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着させ、
 前記固着した後に、追加加熱によって前記絶縁体シートの架橋を行う、静電型トランスデューサの製造方法。

図面

[ 図 1]

[ 図 2]

[ 図 3]

[ 図 4]

[ 図 5]

[ 図 6]

[ 図 7]

[ 図 8]

[ 図 9]

[ 図 10]

[ 図 11]

[ 図 12]

[ 図 13]

[ 図 14]