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1. WO2020194575 - CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Publication Number WO/2020/194575
Publication Date 01.10.2020
International Application No. PCT/JP2019/013177
International Filing Date 27.03.2019
IPC
H01J 37/22 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
22Optical or photographic arrangements associated with the tube
H01J 37/28 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
28with scanning beams
Applicants
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 庄子 美南 SHOUJI Minami
  • 津野 夏規 TSUNO Natsuki
  • 太田 洋也 OHTA Hiroya
  • 備前 大輔 BIZEN Daisuke
Agents
  • 特許業務法人平木国際特許事務所 HIRAKI & ASSOCIATES
Priority Data
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
Abstract
(EN)
The purpose of the present invention is to provide a charged particle beam device that can increase the contrast of an observation image of a sample as much as possible according to light absorption characteristics that are changed for each optical parameter. The charged particle beam device according to the present invention changes an optical parameter such as a polarization plane of light with which the sample is irradiated, and generates the observation image having a contrast corresponding to the changed optical parameter. Furthermore, the optical parameter that maximizes the light absorption coefficient of the sample is specified according to a feature amount of the shape pattern of the sample (see FIG. 5).
(FR)
L'objectif de la présente invention est de fournir un dispositif à faisceau de particules chargées qui peut augmenter le contraste d'une image d'observation d'un échantillon autant que possible en fonction des caractéristiques d'absorption de lumière qui sont modifiées pour chaque paramètre optique. Le dispositif à faisceau de particules chargées selon la présente invention modifie un paramètre optique tel qu'un plan de polarisation de lumière au moyen duquel l'échantillon est exposé aux rayons, et génère l'image d'observation ayant un contraste correspondant au paramètre optique modifié. En outre, le paramètre optique qui maximise le coefficient d'absorption de lumière de l'échantillon est spécifié en fonction d'une quantité caractéristique du motif de forme de l'échantillon (voir FIG. 5).
(JA)
本発明は、光パラメータごとに変化する光の吸収特性にしたがって、試料の観察像のコントラストをできる限り高めることができる、荷電粒子線装置を提供することを目的とする。本発明に係る荷電粒子線装置は、試料に対して照射する光の偏光面などの光パラメータを変化させ、変化させた光パラメータに対応するコントラストを有する観察像を生成する。また、試料の形状パターンの特徴量に応じて、試料の光吸収係数が最大となるような光パラメータを特定する(図5参照)。
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