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1. WO2020194498 - CHARGED PARTICLE APPARATUS AND INFORMATION ACQUISITION METHOD

Publication Number WO/2020/194498
Publication Date 01.10.2020
International Application No. PCT/JP2019/012794
International Filing Date 26.03.2019
IPC
H01J 37/18 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
18Vacuum locks
H01J 37/20 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
20Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Applicants
  • 株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 舩津 貴行 FUNATSU, Takayuki
Agents
  • 江上 達夫 EGAMI, Tatsuo
Priority Data
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) CHARGED PARTICLE APPARATUS AND INFORMATION ACQUISITION METHOD
(FR) APPAREIL À PARTICULES CHARGÉES ET PROCÉDÉ D'ACQUISITION D'INFORMATIONS
(JA) 荷電粒子装置、及び、情報取得方法
Abstract
(EN)
This charged particle apparatus is provided with; a vacuum forming member that has a duct connectable to an exhaust device, that discharges, through the duct, a gas in a space being in contact with the surface of an object, and that forms a vacuum region; a charged particle optical system that irradiates a sample with a charged particle beam through the vacuum region; a detection device that detects charged particles released from the sample irradiated with the charged particle beam; and a control device that acquires sample information on the basis of shape information on the surface of the sample, information about a position of irradiation with the charged particle beam, and information acquired through detection of the released charged particles. At least a portion of a gas in a space which is around the vacuum region and which has an atmospheric pressure higher than that in the vacuum region is discharged through the duct of the vacuum forming member, and a passage of the charged particle beam emitted from the charged particle optical system includes at least a part of the vacuum region.
(FR)
L'invention concerne un appareil à particules chargées comportant : un élément de formation de vide qui a un conduit pouvant être relié à un dispositif d'échappement, qui évacue, à travers le conduit, un gaz dans un espace étant en contact avec la surface d'un objet, et qui forme une région de vide ; un système optique à particules chargées qui irradie un échantillon avec un faisceau de particules chargées à travers la région de vide ; un dispositif de détection qui détecte des particules chargées libérées à partir de l'échantillon irradié avec le faisceau de particules chargées ; et un dispositif de commande qui acquiert des informations d'échantillon sur la base d'informations de forme sur la surface de l'échantillon, des informations concernant une position d'irradiation avec le faisceau de particules chargées, et des informations acquises par la détection des particules chargées libérées. Au moins une partie d'un gaz dans un espace qui est autour de la région de vide et qui a une pression atmosphérique supérieure à celle dans la région de vide est évacuée par l'intermédiaire du conduit de l'élément de formation de vide, et le passage du faisceau de particules chargées émis à partir du système optique à particules chargées comprend au moins une partie de la région de vide.
(JA)
荷電粒子装置は、排気装置と接続可能な管路を有し、物体の面に接する空間の気体を管路を介して排出して、真空領域を形成する真空形成部材と、真空領域を介して荷電粒子ビームを試料に照射する荷電粒子光学系と、荷電粒子ビームが照射された試料から放出された荷電粒子を検出する検出装置と、試料の表面の形状情報と、荷電粒子ビームが照射される位置の情報と、放出された荷電粒子を検出して得られる情報とに基づいて、試料情報を求める制御装置とを備え、真空領域の周囲の真空領域よりも気圧が高い空間の少なくとも一部の気体は、真空形成部材の管路を介して排出され、荷電粒子光学系から照射される荷電粒子ビームの通路は真空領域の少なくとも一部を含む。
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