Processing

Please wait...

Settings

Settings

Goto Application

1. WO2020194415 - SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND PROGRAM

Publication Number WO/2020/194415
Publication Date 01.10.2020
International Application No. PCT/JP2019/012283
International Filing Date 22.03.2019
IPC
H01L 21/677 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
677for conveying, e.g. between different work stations
Applicants
  • 株式会社KOKUSAI ELECTRIC KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 白子 賢治 SHIRAKO Kenji
  • 谷山 智志 TANIYAMA Tomoshi
Agents
  • ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.
Priority Data
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND PROGRAM
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR ET PROGRAMME
(JA) 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム
Abstract
(EN)
This substrate processing apparatus has: a boat having a plurality of slots for holding substrates; a processing furnace that processes the substrates held in the boat; a boat elevator that raises and lowers the boat; a transfer machine that transfers the substrates between a carrier in which the substrates are stored and the boat; and a controller configured to be able to control the boat elevator and the transfer machine. The controller is configured to set, in the boat elevator, a plurality of positions for transferring the substrates by the transfer machine and to perform selection such that the number of transitions between the plurality of positions in the boat elevator or the sum of the transitions required is minimum in each of an operation of carrying, by the transfer machine, the substrates in the boat from a plurality of the carriers such that the substrates can be loaded into the processing furnace and an operation of carrying out, by the transfer machine, the substrates processed in the processing furnace from the boat to the plurality of carriers.
(FR)
L'invention concerne un appareil de traitement de substrat comprenant : une nacelle ayant une pluralité de fentes pour contenir des substrats ; un four de traitement qui traite les substrats maintenus dans la nacelle ; un élévateur de nacelle qui élève et abaisse la nacelle ; une machine de transfert qui transfère les substrats entre un support dans lequel les substrats sont stockés et la nacelle ; et un dispositif de commande configuré pour pouvoir commander l'élévateur de nacelle et la machine de transfert. Le dispositif de commande est configuré pour régler, dans l'élévateur de nacelle, une pluralité de positions pour transférer les substrats par la machine de transfert et pour effectuer une sélection de telle sorte que le nombre de transitions entre la pluralité de positions dans l'élévateur de nacelle ou la somme des transitions requises est minimisé dans chacune d'une opération de transport, par la machine de transfert, des substrats dans la nacelle à partir d'une pluralité de supports de telle sorte que les substrats peuvent être chargés dans le four de traitement et une opération de transport, par la machine de transfert, des substrats traités dans le four de traitement de la nacelle à la pluralité de supports.
(JA)
基板処理装置は、基板を保持するスロットを複数有するボートと、ボートに保持された基板を処理する処理炉と、ボートを昇降させるボートエレベータと、基板が格納されるキャリアとボートとの間で基板を移載する移載機と、ボートエレベータと移載機とを制御可能に構成されたコントローラとを有する。コントローラは、移載機が基板を移載するための複数のポジションをボートエレベータに設定し、移載機が複数のキャリアから処理炉に装填可能な状態にまでボートに基板を搬入する動作、及び移載機が処理炉で処理された基板をボートから複数のキャリアに搬出する動作のそれぞれにおいて、ボートエレベータの複数のポジションの間の遷移の回数もしくは遷移に要する時間の合計が最小となるように選択するよう構成される。
Latest bibliographic data on file with the International Bureau