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1. WO2020193288 - MEMS WITH LARGE FLUIDICALLY EFFECTIVE SURFACE

Publication Number WO/2020/193288
Publication Date 01.10.2020
International Application No. PCT/EP2020/057298
International Filing Date 17.03.2020
IPC
B81B 3/00 2006.01
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
H04R 9/02 2006.01
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
9Transducers of moving-coil, moving-strip, or moving-wire type
02Details
H04R 19/00 2006.01
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
19Electrostatic transducers
H04R 17/00 2006.01
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
17Piezo-electric transducers; Electrostrictive transducers
H04R 23/00 2006.01
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
23Transducers other than those covered by groups H04R9/-H04R21/99
CPC
B81B 2201/0257
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
02Sensors
0257Microphones or microspeakers
B81B 2201/032
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
03Microengines and actuators
032Bimorph and unimorph actuators, e.g. piezo and thermo
B81B 2201/033
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
03Microengines and actuators
033Comb drives
B81B 2201/036
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
03Microengines and actuators
036Micropumps
B81B 2203/051
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
05Type of movement
051Translation according to an axis parallel to the substrate
B81B 3/0021
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
0018Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
0021Transducers for transforming electrical into mechanical energy or vice versa
Applicants
  • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE]/[DE]
Inventors
  • LANGA, Sergiu
  • CONRAD, Holger
  • KAISER, Bert
Agents
  • KÖNIG, Andreas
Priority Data
10 2019 203 914.621.03.2019DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) MEMS MIT GROßER FLUIDISCH WIRKSAMER OBERFLÄCHE
(EN) MEMS WITH LARGE FLUIDICALLY EFFECTIVE SURFACE
(FR) SYSTÈMES MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUES PRÉSENTANT UNE GRANDE SURFACE FLUIDIQUEMENT ACTIVE
Abstract
(DE)
Ein MEMS umfasst ein Substrat, dass eine Kavität aufweist. Das MEMS umfasst eine in der Kavität angeordnete bewegliche Schichtanordnung umfassend eine erste Balken, eine zweite Balken und eine zwischen der ersten Balken und zweiten Balken angeordnete und von denselben an diskreten Bereichen elektrisch isoliert fixierte dritte Balken. Die bewegliche Schichtanordnung ist ausgebildet, um ansprechend auf ein elektrisches Potenzial zwischen der ersten Balken und der dritten Balken oder um ansprechend auf ein elektrisches Potenzial zwischen der zweiten Balken und der dritten Balken eine Bewegung entlang einer Bewegungsrichtung in einer Substratebene auszuführen. Die erste, zweite und dritte Balken sind Teil einer ersten Schicht der beweglichen Schichtanordnung. Die bewegliche Schichtanordnung weist eine zweite Schicht auf, die entlang einer Richtung senkrecht zu der Substratebene benachbart zu der ersten Schicht angeordnet ist. Die zweite Schicht ist entlang der Bewegungsrichtung beweglich angeordnet.
(EN)
The invention relates to a MEMS comprising a substrate having a cavity. The MEMS comprises a moveable layer assembly arranged in the cavity and having a first bar, a second bar and a third bar arranged between the first bar and second bar and fixed in an electrically insulated manner relative to same in discrete regions. The moveable layer assembly is designed to execute a movement along a movement direction in a substrate plane in response to an electrical potential between the first bar and the third bar or in response to an electrical potential between the second bar and the third bar. The first, second and third bars are part of a first layer of the moveable layer assembly. The moveable layer assembly has a second layer which is arranged next to the first layer along a direction perpendicular to the substrate plane. The second layer is arranged such that it can move along the movement direction.
(FR)
L'invention concerne un système micro-électromécanique (MEMS) comprenant un substrat qui présente une cavité. Le MEMS comprend un agencement stratifié mobile disposé dans la cavité, comprenant une première barre, une deuxième barre et une troisième barre disposée entre la première et la deuxième barre et fixée en étant isolée électriquement de celles-ci dans des zones discrètes. L'agencement stratifié mobile est conçu pour effectuer un déplacement le long d'une direction de déplacement dans un plan de substrat en réponse à un potentiel électrique entre la première barre et la troisième barre ou en réponse à un potentiel électrique entre la deuxième barre et la troisième barre. La première, la deuxième et la troisième barre font partie d'une première couche de l'agencement stratifié mobile. L'agencement stratifié mobile présente une deuxième couche qui est disposée le long d'une direction perpendiculaire au plan du substrat à proximité de la première couche. La deuxième couche est disposée de manière mobile le long de la direction de déplacement.
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau