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1. WO2020193105 - METHOD AND APPARATUS FOR INTERFEROMETRIC VIBRATION MEASUREMENT AT A PLURALITY OF MEASUREMENT POINTS BY MEANS OF A MEASURING LASER BEAM

Publication Number WO/2020/193105
Publication Date 01.10.2020
International Application No. PCT/EP2020/056147
International Filing Date 09.03.2020
IPC
G01H 9/00 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
9Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
CPC
G01H 9/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
9Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
Applicants
  • POLYTEC GMBH [DE]/[DE]
Inventors
  • SCHÜSSLER, Matthias
Agents
  • LEMCKE, BROMMER & PARTNER PATENTANWÄLTE PARTNERSCHAFT MBB
Priority Data
10 2019 108 124.628.03.2019DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR INTERFEROMETRISCHEN SCHWINGUNGSMESSUNG AN EINER MEHRZAHL VON MESSPUNKTEN MITTELS EINES MESSLASERSTRAHLS
(EN) METHOD AND APPARATUS FOR INTERFEROMETRIC VIBRATION MEASUREMENT AT A PLURALITY OF MEASUREMENT POINTS BY MEANS OF A MEASURING LASER BEAM
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE INTERFÉROMÉTRIQUE DE VIBRATIONS AU NIVEAU D’UNE PLURALITÉ DE POINTS DE MESURE, AU MOYEN D’UN FAISCEAU LASER DE MESURE
Abstract
(DE)
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur interferometrischen Schwingungsmessung an einer Mehrzahl von Messpunkten mittels eines Messlaserstrahls, mit den Verfahrensschritten A. Erzeugen des Messlaserstrahls mit einer Wellenlänge im infraroten Wellenlängenbereich und eines Pilotlaserstrahls mit einer Wellenlänge im sichtbaren Wellenlängenbereich; B. Ablenken des Messlaserstrahls und des Pilotlaserstrahls mittels einer gemeinsamen optischen Ablenkeinheit, und Steuern der Ablenkeinheit, so dass der Pilotlaserstrahl auf den Messpunkt trifft und C. Durchführen einer Schwingungsmessung mittels des Messlaserstrahls; Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet,dass eine Winkelabweichung zwischen Pilotlaserstrahl und Messlaserstrahl bestimmt wird und dass in einem Korrekturschritt B1 zwischen Verfahrensschritt B und C die Ablenkeinheit angesteuert wird, um die Winkelabweichung zwischen Pilotlaserstrahl und Messlaserstrahl zu kompensieren.
(EN)
The invention relates to a method for interferometric vibration measurement at a plurality of measurement points by means of a measuring laser beam, comprising the method steps of: A. generating the measuring laser beam having a wavelength in the infrared wavelength range and a pilot laser beam having a wavelength in the visible wavelength range; B. deflecting the measuring laser beam and the pilot laser beam by means of a common optical deflection unit, and controlling the deflection unit such that the pilot laser beam is incident on the measurement point; and C. carrying out a vibration measurement by means of the measuring laser beam. The invention is characterized in that an angular deviation between the pilot laser beam and the measuring laser beam is determined and in that, in a correction step B1, between method step B and C, the deflection unit is actuated in order to compensate for the angular deviation between the pilot laser beam and the measuring laser beam.
(FR)
L’invention concerne un procédé de mesure interférométrique de vibrations au niveau d’une pluralité de points de mesure, au moyen d’un faisceau laser de mesure, le procédé comprenant les étapes suivantes : A. génération d’un faisceau laser de mesure ayant une longueur d’onde dans la plage de longueurs d’onde infrarouge, et d’un faisceau laser pilote ayant une longueur d’onde dans la plage de longueurs d’onde visible ; B. déviation du faisceau laser de mesure et du faisceau laser pilote au moyen d’une unité de déviation optique commune, et commande l’unité de déviation de manière à ce que le faisceau laser pilote rencontre le point de mesure ; et C. réalisation d’une mesure des vibrations au moyen du faisceau laser de mesure. L’invention est caractérisée en ce qu’un écart angulaire est déterminé entre le faisceau laser pilote et le faisceau laser de mesure, et en ce que, dans une étape de correction B1 entre les étapes B et C, l’unité de déviation est commandée en vue de compenser l’écart angulaire entre le faisceau laser pilote et le faisceau laser de mesure.
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