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1. WO2020192115 - MULTI-STATION FLEXIBLE TAPE EXPOSURE DEVICE AND EXPOSURE METHOD

Publication Number WO/2020/192115
Publication Date 01.10.2020
International Application No. PCT/CN2019/114734
International Filing Date 31.10.2019
IPC
G03F 7/20 2006.01
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20Exposure; Apparatus therefor
Applicants
  • 上海微电子装备(集团)股份有限公司 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 陈勇辉 CHEN, Yonghui
  • 李志丹 LI, Zhidan
  • 李会丽 LI, Huili
Agents
  • 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY
Priority Data
201910222911.122.03.2019CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) MULTI-STATION FLEXIBLE TAPE EXPOSURE DEVICE AND EXPOSURE METHOD
(FR) DISPOSITIF D'EXPOSITION DE BANDE SOUPLE À POSTES MULTIPLES ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION
(ZH) 多工位柔性卷带曝光装置及曝光方法
Abstract
(EN)
Provided are a multi-station flexible tape exposure device and exposure method. A workpiece table (11) has a plurality of stations provided with flexible tapes; when the flexible tapes in an exposure area (112) are exposed, alignment measurement and/or focal plane measurement is synchronously performed on the flexible tapes in a measurement area (111); while the exposed flexible tapes are transferred out from the exposure area (112), the flexible tapes having completed alignment measurement and/or focal plane measurement are transferred from the measurement area (111) to the exposure area (112); and a control unit (50) controls a photomask adjustment unit (40) such that same adjusts a photomask (M1) during a transferring process, and controls, after the next flexible tape reaches the exposure area (112), an exposure unit (3) such that same exposes the next flexible tape. By means of a multi-station parallel mode, the alignment measurement and/or focal plane measurement on the flexible tapes in the measurement area (111) and the exposure of the flexible tapes in the exposure area (112) are synchronously performed, the adjustment of the photomask (M1) is completed during a station switching process, and the flexible tapes are simultaneously treated at multiple stations, thereby reducing the time consumption of the exposure process and facilitating an improvement in productivity.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif d'exposition de bande souple à postes multiples et un procédé d'exposition. Une table de pièce à usiner (11) présente une pluralité de postes dotés de bandes souples ; lorsque les bandes souples dans une zone d'exposition (112) sont exposées, une mesure d'alignement et/ou une mesure de plan focal sont réalisées de manière synchrone sur les bandes souples dans une zone de mesure (111) ; tandis que les bandes souples exposées sont transférées hors de la zone d'exposition (112), les bandes souples pour lesquelles une mesure d'alignement et/ou une mesure de plan focal sont achevées sont transférées de la zone de mesure (111) à la zone d'exposition (112) ; et une unité de commande (50) commande une unité de réglage de masque photographique (40) de telle sorte qu'elle règle un masque photographique (M1) pendant un processus de transfert, et commande, après que la bande souple suivante atteint la zone d'exposition (112), une unité d'exposition (3) de telle sorte que celle-ci expose la bande souple suivante. Au moyen d'un mode parallèle à postes multiples, la mesure d'alignement et/ou la mesure de plan focal sur les bandes souples dans la zone de mesure (111) et l'exposition des bandes souples dans la zone d'exposition (112) sont effectuées de manière synchrone, le réglage du masque photographique (M1) est achevé pendant un processus de commutation de poste, et les bandes souples sont traitées simultanément au niveau de multiples postes, ce qui permet de réduire la durée du processus d'exposition et de faciliter l'amélioration de la productivité.
(ZH)
一种多工位柔性卷带曝光装置及曝光方法,工件台(11)具有多个设置柔性卷带的工位,对曝光区(112)上的柔性卷带曝光时同步对测量区(111)上的柔性卷带进行对位测量和/或焦面测量,完成曝光的柔性卷带自曝光区(112)传出的同时将完成对位测量和/或焦面测量的柔性卷带从测量区(111)传送至曝光区(112),在传送的过程中控制单元(50)控制光罩调整单元(40)对光罩(M1)进行调整,并在后一个柔性卷带到达曝光区(112)后控制曝光单元(30)对后一个柔性卷带进行曝光。采用多工位并行的模式,测量区(111)上的柔性卷带的对位测量和/或焦面测量与曝光区(112)上的柔性卷带的曝光同步进行,在工位切换的过程中,完成对光罩(M1)的调整,多工位同时对柔性卷带进行处理,减少曝光工序的耗时,有利于提高产能。
Also published as
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