Processing

Please wait...

Settings

Settings

Goto Application

1. WO2020139096 - INTERFEROMETRIC SYSTEM FOR MEASURING ABSOLUTE LENGTH

Publication Number WO/2020/139096
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/RU2018/000851
International Filing Date 24.12.2018
IPC
G01B 9/02 2006.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers
CPC
G01B 9/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
Applicants
  • ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ БАЛТИЙСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "ВОЕНМЕХ" ИМ. Д.Ф.УСТИНОВА (БГТУ "ВОЕНМЕХ") FEDERAL'NOE GOSUDARSTVENNOE BJUDZHETNOE OBRAZOVATEL'NOE UCHREZHDENIE VYSSHEGO OBRAZOVANIJA BALTIJSKIJ GOSUDARSTVENNYJ TEHNICHESKIJ UNIVERSITET "VOENMEH" IM. D.F.USTINOVA (BGTU "VOENMEH")
Inventors
  • ХАВИНСОН, Владислав Матвеевич HAVINSON, Vladislav Matveevich
  • ЛАРИЧЕВ, Роман Андреевич LARICHEV, Roman Andreevich
  • ЯКОВЕНКО, Алексей Николаевич JAKOVENKO, Aleksej Nikolaevich
Priority Data
Publication Language Russian (RU)
Filing Language Russian (RU)
Designated States
Title
(EN) INTERFEROMETRIC SYSTEM FOR MEASURING ABSOLUTE LENGTH
(FR) SYSTÈME INTERFÉRENTIEL DE MESURE DE LONGUEUR ABSOLUE
(RU) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННАЯ СИСТЕМА ИЗМЕРЕНИЯ АБСОЛЮТНОЙ ДЛИНЫ
Abstract
(EN)
The invention relates to the field of measuring and testing technology, and more particularly to interferometric technology for measuring linear dimensions, and can be used for measuring absolute lengths and distances. The proposed technical solution addresses the problem of increasing the accuracy of absolute length measurements when measuring under dynamic conditions (changes in the length being measured) while providing an unlimitedly high available measuring range. This problem is solved in that in an interferometric system for measuring absolute length that contains a laser source for generating radiation with a spectrum consisting of two components such as to allow variation in the frequency difference of said components, and a reference double-path interferometer, the optical system in said reference double-path interferometer is designed so that the two spectral components of the radiation of the laser source, arriving separately from the laser source to the reference double-path interferometer, propagate in mutually opposite directions in the paths of the interferometer and have separate inlets and separate outlets. Thus, the technical result of the proposed interferometric system for measuring absolute length is to increase accuracy, while maintaining sufficient immunity to dynamic changes in the length being measured as a result of external and internal factors and providing an unlimitedly high available measuring range.
(FR)
L'invention se rapporte au domaine des techniques de contrôle et de mesure, et notamment à une technique interférentielle de mesure de valeurs linéaires, et peut être utilisée pour mesurer des longueurs et des distances absolues. Le but de la présente inevntion est d'augmenter la précision de mesure d'une longueur absolue lors de mesures en mode dynamique (lorsque la longueur à mesurer change) selon une plage de mesure potentielle élevée et sans limite. Cet objectif est atteint grâce à un système interférentiel de mesure de longueur absolue qui comprend une source laser générant un rayonnement avec un spectre à deux composantes de manière à pouvoir modifier la différence de fréquences des ces composantes, et un interféromètre de comptage à deux faisceaux; dans l'interféromètre de comptage à deux faisceaux, le système optique est conçu de sorte que les deux composantes spectrales du rayonnement de la source laser allant de manière distincte de la source laser vers l'interféromètre de comptage à deux faisceaux, se propagent sur les épaulements de l'interféromètre dans des directions se faisant face et possèdent des entrées distinctes et des sorties distinctes. Ainsi, le résultat technique de ce système interférentiel de mesure de longueur absolue consiste en une augmentation de la précision tout en conservant une fiabilité suffisante en ce qui concerne les mesures dynamiques d'une longueur à mesurer du fait des facteurs externes et internes et avec une plage de mesure potentielle élevée et sans limite.
(RU)
Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники, в частности, к интерференционной технике измерения линейных величин и может быть использовано для измерения абсолютных длин и расстояний. Задачей предлагаемого технического решения является повысить точность измерения абсолютной длины, при измерениях в динамическом режиме (при изменяющейся измеряемой длине) с неограниченно высоким доступным диапазоном измерения. Поставленная задача решается тем, что в интерференционной системе измерения абсолютной длины, содержащей лазерный источник, генерирующий излучение со спектром из двух компонент, с возможностью варьирования разности частот этих компонент и отсчетный двухлучевой интерферометр, в отсчетном двухлучевом интерферомете оптическая схема построена таким образом, что две спектральные компоненты излучения лазерного источника, раздельно поступающие от лазерного источника в отсчетный двухлучевой интерферометр, распространяются в плечах интерферометра во встречных направлениях и имеют раздельные входы и раздельные выходы. Таким образом, техническим результатом, предложенной интерференционной система измерения абсолютной длины является повышение точности, при сохранении достаточной устойчивости к динамическим изменениям измеряемой длины из-за внешних и внутренних факторов и с неограниченно высоким доступным диапазоном измерения.
Latest bibliographic data on file with the International Bureau