(EN) A battery pack according to the present invention comprises: a semiconductor substrate including microelectromechanical systems (MEMS); a capping layer placed on the semiconductor substrate, having a curved shape, surrounding the microelectromechanical systems, and defining a hollow space around the microelectromechanical systems; and a protective layer placed on the capping layer so as to cover the capping layer.
(FR) Un bloc-batterie selon la présente invention comprend : un substrat semi-conducteur comprenant des systèmes microélectromécaniques (MEMS); une couche de recouvrement placée sur le substrat semi-conducteur, ayant une forme incurvée, entourant les systèmes microélectromécaniques, et définissant un espace creux autour des systèmes microélectromécaniques; et une couche de protection placée sur la couche de recouvrement de manière à recouvrir la couche de recouvrement.
(KO) 본 발명에 따른 배터리 팩은, 미세전자기계 시스템(microelectromechanical systems; MEMS)을 포함하는 반도체 기판; 반도체 기판 상에 위치되어 굴곡 형상을 가지면서 미세전자기계 시스템을 둘러싸고 미세전자기계 시스템 주변에 중공(中空)을 한정하는 캡핑 막; 및 캡핑 막 상에서 캡핑 막을 덮는 보호 막을 포함한다.