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1. WO2020138297 - SYSTEM FOR FABRICATING SAMPLE FOR ELECTRON MICROSCOPE OBSERVATION, METHOD FOR FABRICATING SAMPLE FOR ELECTRON MICROSCOPE OBSERVATION, AND PLASMA PROCESSING DEVICE, SPUTTERING DEVICE, AND TAPE TRANSFER MECHANISM USED THEREFOR

Publication Number WO/2020/138297
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/JP2019/051141
International Filing Date 26.12.2019
IPC
G01N 1/28 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
1Sampling; Preparing specimens for investigation
28Preparing specimens for investigation
CPC
G01N 1/28
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
1Sampling; Preparing specimens for investigation
28Preparing specimens for investigation ; including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
Applicants
  • サンユー電子株式会社 SANYU ELECTRON CO., LTD. [JP]/[JP]
  • 学校法人慶應義塾 KEIO UNIVERSITY [JP]/[JP]
Inventors
  • 芝田 晋介 SHIBATA, Shinsuke
  • 信藤 知子 SHINDO, Tomoko
  • 岡野 栄之 OKANO, Hideyuki
  • 後藤 修一 GOTO, Shuichi
Agents
  • 伊東 忠重 ITOH, Tadashige
  • 伊東 忠彦 ITOH, Tadahiko
Priority Data
2018-24806728.12.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) SYSTEM FOR FABRICATING SAMPLE FOR ELECTRON MICROSCOPE OBSERVATION, METHOD FOR FABRICATING SAMPLE FOR ELECTRON MICROSCOPE OBSERVATION, AND PLASMA PROCESSING DEVICE, SPUTTERING DEVICE, AND TAPE TRANSFER MECHANISM USED THEREFOR
(FR) SYSTÈME DE FABRICATION D'ÉCHANTILLON POUR OBSERVATION AU MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉCHANTILLON POUR OBSERVATION AU MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE, ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU PLASMA, DISPOSITIF DE PULVÉRISATION ET MÉCANISME DE TRANSFERT DE BANDE UTILISÉ À CET EFFET
(JA) 電子顕微観察用試料の作製システム、電子顕微観察用試料の作製方法、およびこれに用いられるプラズマ処理装置、スパッタ装置、並びにテープ搬送機構
Abstract
(EN)
Provided are a system and a method for fabricating a sample for electron microscope observation that make it possible to perform successive electron microscope observation of sample sections by a simple technique using a simple device. The system for fabricating a sample for electron microscope observation, wherein sample sections are arranged on a tape, is provided with: at least one of a plasma processing device and a sputtering device, the plasma processing device comprising a plasma irradiating region in which a resin tape is run and irradiated with plasma to make the tape hydrophilic successively, the sputtering device comprising a sputtering region in which the resin tape is run and subjected to successive sputtering to make the tape electrically conductive; and a recovery device for sequentially recovering sections of the sample that has been cut successively on a surface to be processed of the resin tape processed by the plasma processing device or the sputtering device.
(FR)
L'invention concerne un système et un procédé de fabrication d'un échantillon pour observation au microscope électronique qui permettent d'effectuer une observation au microscope électronique successive de sections d'échantillon par une technique simple à l'aide d'un dispositif simple. Le système de fabrication d'un échantillon pour observation au microscope électronique, dans lequel des sections d'échantillon sont agencées sur une bande, comprend : au moins l'un parmi un dispositif de traitement au plasma et un dispositif de pulvérisation, le dispositif de traitement au plasma comprenant une région d'irradiation de plasma dans laquelle une bande de résine est successivement passée et irradiée avec un plasma pour rendre la bande hydrophile, le dispositif de pulvérisation comprenant une région de pulvérisation dans laquelle la bande de résine est passée et soumise à une pulvérisation successive pour rendre la bande électriquement conductrice ; et un dispositif de récupération pour récupérer séquentiellement des sections de l'échantillon qui a été coupé successivement sur une surface à traiter de la bande de résine traitée par le dispositif de traitement au plasma ou le dispositif de pulvérisation.
(JA)
簡易な装置を用いた簡易な手法で試料切片の連続電子顕微観察を可能とする電子顕微観察用の試料作製システムと方法を提供する。 テープ上に試料の切片を配置した電子顕微観察用の試料作製システムは、樹脂テープをプラズマ照射領域内で走行させてプラズマ照射して連続的に親水化するプラズマ処理装置と、前記樹脂テープをスパッタリング領域内で走行させて連続的にスパッタリングして導電化するスパッタ装置の少なくとも一方と、前記プラズマ処理装置またはスパッタ装置で処理された前記樹脂テープの被処理面上に、連続的に切削された前記試料の切片を順次回収する回収装置とを備える。
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