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1. WO2020137770 - CONTACT RESISTANCE MEASUREMENT DEVICE

Publication Number WO/2020/137770
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/JP2019/049732
International Filing Date 19.12.2019
IPC
G01R 27/02 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
27Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
02Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
G01R 31/26 2020.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
26Testing of individual semiconductor devices
CPC
G01R 27/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
27Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
02Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
G01R 31/26
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
26Testing of individual semiconductor devices
Applicants
  • 日置電機株式会社 HIOKI E.E. CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 竹迫 知博 TAKESAKO Tomohiro
  • 若松 英彰 WAKAMATSU Hideaki
  • 池田 正和 IKEDA Masakazu
Agents
  • 酒井 伸司 SAKAI Shinji
Priority Data
2018-24323526.12.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) CONTACT RESISTANCE MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE RÉSISTANCE DE CONTACT
(JA) 接触抵抗測定装置
Abstract
(EN)
[Problem] To individually measure contact resistances of two probes in contact with a single electrode that is an object to be measured. A processing unit 7: controls a connection switching unit 6 for shifting to a state where a probe PLc1 is connected to a power supply unit 2, a probe PLp1 is connected to a power supply unit 3, a probe PLp2 is connected to an arithmetic operation amplifier 4c, and a probe PLc2 is in non-connection; causes voltages V1 and V2 to be outputted from the power supply units 2, 3, respectively; changes the voltage V2 such that a current Iin flowing in an object 11 to be measured becomes zero; calculates a ratio R1/R2 from the voltage V2 at this time; controls the connection switching unit 6 for shifting to a state where the probe PLc1 is connected to the power supply unit 2 and the probe PLp1 is connected to the arithmetic operation amplifier 4c, and the probes PLc2, PLp2 are in non-connection; causes the voltage V1 to be outputted from the power supply unit 2 so as to measure the current Iin flowing in the probe PLp1; calculates a sum R1+R2 from the voltage V1 and a current I1; and individually calculates contact resistances R1, R2 from the calculated ratio and sum.
(FR)
Le problème décrit par la présente invention est de mesurer individuellement les résistances de contact de deux sondes en contact avec une seule électrode constituant un objet à mesurer. Une unité de traitement (7) : commande à une unité de commutation de connexion (6) de passer à un état dans lequel une sonde (PLc1) est connectée à une unité d'alimentation électrique (2), une sonde (PLp1) est connectée à une unité d'alimentation électrique (3), une sonde (PLp2) est connectée à un amplificateur opérationnel arithmétique (4c), et une sonde (PLc2) est en non-connexion ; amène les tensions V1 et V2 à être émises en sortie par les unités d'alimentation électrique (2, 3), respectivement ; modifie la tension V2 de telle sorte qu'un courant (Iin) circulant dans un objet (11) à mesurer devient nul ; calcule un rapport R1/R2 à partir de la tension (V2) à ce moment ; commande à l'unité de commutation de connexion (6) de passer à un état dans lequel la sonde (PLc1) est connectée à l'unité d'alimentation électrique (2) et la sonde (PLp1) est connectée à l'amplificateur opérationnel arithmétique (4c), et les sondes (PLc2, PLp2) sont en non-connexion ; amène la tension (V1) à être émise en sortie à partir de l'unité d'alimentation électrique (2) de façon à mesurer le courant (Iin) circulant dans la sonde (PLp1) ; calcule une somme R1+R2 à partir de la tension (V1) et d'un courant (I1) ; et calcule individuellement les résistances de contact (R1, R2) à partir du rapport et de la somme calculés.
(JA)
【課題】 測定対象の1つの電極に接触する2つのプローブの接触抵抗を個別に測定する。 処理部7は、接続切替部6を制御してプローブPLc1が電源部2に、プローブPLp1が電源部3に、プローブPLp2が演算増幅器4cに接続され、かつプローブPLc2が未接続となる状態に移行させ、電源部2から電圧V1を、電源部3から電圧V2を出力させ、かつ測定対象11に流れる電流Iinがゼロになるように電圧V2を変更し、このときの電圧V2から比R1/R2を算出し、接続切替部6を制御してプローブPLc1が電源部2に、プローブPLp1が演算増幅器4cに接続され、かつ各プローブPLc2,PLp2が未接続となる状態に移行させ、電源部2から電圧V1を出力させてプローブPLp1に流れる電流Iinを測定し、電圧V1と電流I1から和R1+R2を算出し、算出した比と和から接触抵抗R1,R2を個別に算出する。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau