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1. WO2020137222 - DEFECT INSPECTING DEVICE, DEFECT INSPECTING METHOD, AND PROGRAM FOR SAME

Publication Number WO/2020/137222
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/JP2019/044604
International Filing Date 13.11.2019
IPC
G01N 21/88 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws, defects or contamination
G06T 7/00 2017.01
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
CPC
G01N 21/88
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
G06T 7/00
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
Applicants
  • オムロン株式会社 OMRON CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 池田 泰之 IKEDA, Yasuyuki
  • 栗田 真嗣 KURITA, Masashi
Agents
  • 稲葉 良幸 INABA, Yoshiyuki
  • 大貫 敏史 ONUKI, Toshifumi
Priority Data
2018-24710528.12.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) DEFECT INSPECTING DEVICE, DEFECT INSPECTING METHOD, AND PROGRAM FOR SAME
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE DÉFAUTS, PROCÉDÉ D'INSPECTION DE DÉFAUTS ET PROGRAMME ASSOCIÉ
(JA) 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びそのプログラム
Abstract
(EN)
This defect inspecting device is provided with: an acquiring unit for acquiring an inspection image of an object under inspection; an image generating unit for generating one or more feature extraction images by applying, to the inspection image, a learned classifier, learned in advance, in such a way as to extract a feature using image data for learning; an inspecting unit for identifying a region corresponding to a defect, on the basis of one or more determination parameters for determining the presence or absence of a location to be detected in the object under inspection, and on the basis of a binarized image generated on the basis of the feature extraction images; and a setting unit for provisionally setting the determination parameters on the premise of a post-adjustment from a user, if the number of items of image data for learning, corresponding to a feature, is less than a threshold when a region corresponding to a defect is to be identified on the basis of the pre-learned features, and for setting the determination parameters in accordance with a specification from a user if a region corresponding to a defect is to be identified on the basis of a feature other than the pre-learned features.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'inspection de défauts comprenant : une unité d'acquisition pour acquérir une image d'inspection d'un objet en cours d'inspection ; une unité de génération d'image pour générer une ou plusieurs images d'extraction de caractéristique par application, à l'image d'inspection, d'un classificateur entraîné, entraîné à l'avance, de manière à extraire une caractéristique à l'aide de données d'image pour l'apprentissage ; une unité d'inspection pour identifier une zone correspondant à un défaut, sur la base d'un ou plusieurs paramètres de détermination afin de déterminer la présence ou l'absence d'un site à détecter dans l'objet en cours d'inspection, et sur la base d'une image binarisée générée sur la base des images d'extraction de caractéristiques ; et une unité de paramétrage pour paramétrer provisoirement les paramètres de détermination sur la base d'un ajustement a posteriori par un utilisateur, si le nombre d'éléments de données d'image pour l'apprentissage, correspondant à une caractéristique, est inférieur à un seuil lorsqu'une zone correspondant à un défaut doit être identifiée sur la base des caractéristiques pré-apprises, et pour paramétrer les paramètres de détermination conformément à une spécification provenant d'un utilisateur si une zone correspondant à un défaut doit être identifiée sur la base d'une caractéristique autre que les caractéristiques pré-apprises.
(JA)
欠陥検査装置は、検査対象物の検査画像を取得する取得部と、検査画像に対して学習用の画像データを用いて特徴を抽出するように事前学習した学習済みの識別器を適用することで1以上の特徴抽出画像を生成する画像生成部と、検査対象物における検出対象部位の有無を判定するための1以上の判定用パラメータと特徴抽出画像に基づいて生成される2値化画像とに基づいて欠陥に対応する領域を特定する検査部と、事前学習済みの特徴に基づいて欠陥に対応する領域を特定する場合に、特徴に対応する学習用の画像データの数が閾値未満であるときは、ユーザからの事後調整を前提として判定用パラメータを仮設定し、事前学習済みの特徴以外の特徴に基づいて欠陥に対応する領域を特定する場合に、ユーザからの指定に応じて判定用パラメータを設定する設定部を備える。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau