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1. WO2020137173 - SUBSTRATE ANALYZING METHOD AND SUBSTRATE ANALYZING DEVICE

Publication Number WO/2020/137173
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/JP2019/043353
International Filing Date 06.11.2019
IPC
H01L 21/66 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
66Testing or measuring during manufacture or treatment
G01N 1/28 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
1Sampling; Preparing specimens for investigation
28Preparing specimens for investigation
CPC
G01N 1/28
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
1Sampling; Preparing specimens for investigation
28Preparing specimens for investigation ; including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
Applicants
  • 株式会社 イアス IAS INC. [JP]/[JP]
Inventors
  • 川端 克彦 KAWABATA Katsuhiko
  • イー ソンジェ LEE Sungjae
  • 林 匠馬 HAYASHI Takuma
Agents
  • 特許業務法人田中・岡崎アンドアソシエイツ TANAKA AND OKAZAKI
Priority Data
2018-24292926.12.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) SUBSTRATE ANALYZING METHOD AND SUBSTRATE ANALYZING DEVICE
(FR) PROCÉDÉ D'ANALYSE DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF D'ANALYSE DE SUBSTRAT
(JA) 基板分析方法および基板分析装置
Abstract
(EN)
The present invention provides an analyzing technique capable of analyzing a substrate end more easily and more quickly. A substrate analyzing method according to the present invention using a substrate analysis nozzle for discharging an analysis liquid from the tip, sweeping the substrate surface with the discharged analysis liquid, and sucking the analysis liquid, is characterized by comprising: disposing a liquid reception plate for receiving the discharged analysis liquid at a position opposite to the tip of the nozzle; holding the analysis liquid discharged from the tip between the tip of the nozzle and the liquid reception plate, adjusting the position of the substrate such that the substrate end can be inserted between the tip of the nozzle and the liquid reception plate; bringing the substrate end into contact with the analysis liquid held between the tip of the nozzle and the liquid reception plate; and simultaneously moving the nozzle and the liquid reception plate along the peripheral edge of the substrate in a state where the substrate end is in contact with the analysis liquid so as to allow the substrate end to be analyzed.
(FR)
La présente invention concerne une technique d'analyse capable d'analyser plus facilement et plus rapidement une extrémité de substrat. Un procédé d'analyse de substrat selon la présente invention utilisant une buse d'analyse de substrat pour évacuer un liquide d'analyse à partir de la pointe, balayer la surface de substrat avec le liquide d'analyse évacué, et aspirer le liquide d'analyse, est caractérisé en ce qu'il consiste à : disposer une plaque de réception de liquide pour recevoir le liquide d'analyse évacué au niveau d'une position opposée à la pointe de la buse ; maintenir le liquide d'analyse évacué de la pointe entre la pointe de la buse et la plaque de réception de liquide, ajuster la position du substrat de telle sorte que l'extrémité de substrat peut être insérée entre la pointe de la buse et la plaque de réception de liquide ; amener l'extrémité de substrat en contact avec le liquide d'analyse maintenu entre la pointe de la buse et la plaque de réception de liquide ; et déplacer simultanément la buse et la plaque de réception de liquide le long du bord périphérique du substrat dans un état dans lequel l'extrémité de substrat est en contact avec le liquide d'analyse de façon à permettre à l'extrémité de substrat d'être analysée.
(JA)
本発明は、基板端部を,より簡易で迅速に分析することができる分析技術を提供する。本発明は、先端から分析液を吐出し、吐出した分析液で基板表面を掃引した後に分析液を吸引する基板分析用のノズルを用いた基板分析方法において、ノズルの先端と対向する位置に、吐出される分析液を受け止めるための液受止め板を配置し、先端から吐出した分析液をノズルの先端と液受止め板との間に保持し、ノズルの先端と液受止め板との間に、基板端部を挿入できるように基板を位置調整し、基板端部を、ノズルの先端と液受止め板との間に保持された分析液に接触させ、基板端部が分析液に接触した状態で、ノズルと液受止め板とを基板の周縁に沿って同時に移動させることにより、基板端部を分析するようにしたことを特徴とする。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau