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1. WO2020134668 - INTEGRATING METHOD AND INTEGRATING STRUCTURE FOR CONTROL CIRCUIT AND BULK ACOUSTIC WAVE FILTER

Publication Number WO/2020/134668
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/CN2019/117795
International Filing Date 13.11.2019
IPC
H03H 9/02 2006.01
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
02Details
CPC
H03H 9/02
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
H03H 9/02007
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
02007of bulk acoustic wave devices
H03H 9/54
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
46Filters
54comprising resonators of piezo-electric or electrostrictive material
Applicants
  • 中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司 NINGBO SEMICONDUCTOR INTERNATIONAL CORPORATION (SHANGHAI BRANCH) [CN]/[CN]
Inventors
  • 秦晓珊 QIN, Xiaoshan
Agents
  • 北京思创大成知识产权代理有限公司 BEIJING SICHUANG DACHENG INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO., LTD.
Priority Data
201811601419.726.12.2018CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) INTEGRATING METHOD AND INTEGRATING STRUCTURE FOR CONTROL CIRCUIT AND BULK ACOUSTIC WAVE FILTER
(FR) PROCÉDÉ D'INTÉGRATION ET STRUCTURE D'INTÉGRATION POUR CIRCUIT DE COMMANDE ET FILTRE À ONDES ACOUSTIQUES DE VOLUME
(ZH) 控制电路与体声波滤波器的集成方法和集成结构
Abstract
(EN)
An integrating method and an integrating structure for a control circuit and a bulk acoustic wave (BAW) filter. Said integrating method comprises: providing a substrate, a control circuit being formed on the substrate; forming a first cavity on the substrate; providing a BAW resonant structure, an input electrode and an output electrode being provided on the surface of the BAW resonant structure, and the BAW resonant structure comprising a second cavity; enabling the surface of the BAW resonant structure to face the substrate, such that the BAW resonant structure is bonded to the substrate and closes the first cavity; and electrically connecting the control circuit to the input electrode and the output electrode. The present invention forms, on the substrate, cavities required by the control circuit and the BAW filter, and mounts an existing BAW resonant structure into the cavities, so that the control circuit can control the BAW filter, thereby avoiding problems such as complex electrical connection process and large insertion loss which are caused by integrating an existing BAW filter into a PCB as a discrete device, having a high integration degree, and reducing the process cost.
(FR)
Procédé d'intégration et structure d'intégration pour circuit de commande et filtre à ondes acoustiques de volume (BAW). Ledit procédé d'intégration consiste à : fournir un substrat, un circuit de commande étant formé sur le substrat ; former une première cavité sur le substrat ; fournir une structure résonante BAW, une électrode d'entrée et une électrode de sortie étant disposées sur la surface de la structure résonante BAW, et la structure résonante BAW comprenant une seconde cavité ; permettre à la surface de la structure résonante BAW de faire face au substrat, de telle sorte que la structure résonante BAW est liée au substrat et ferme la première cavité ; et connecter électriquement le circuit de commande à l'électrode d'entrée et à l'électrode de sortie. La présente invention forme, sur le substrat, des cavités requises par le circuit de commande et le filtre BAW, et monte une structure résonante BAW existante dans les cavités, de telle sorte que le circuit de commande peut commander le filtre BAW, ce qui permet d'éviter des problèmes tels qu'un processus de connexion électrique complexe et une grande perte d'insertion qui sont provoqués par l'intégration d'un filtre BAW existant dans une carte de circuit imprimé en tant que dispositif distinct, ayant un degré d'intégration élevé, et de réduire le coût de processus.
(ZH)
一种控制电路与体声波(BAW)滤波器的集成方法和集成结构。该集成方法包括:提供基底,基底形成有控制电路;在基底上形成第一空腔;提供BAW谐振结构, BAW谐振结构的表面设有输入电极、输出电极,BAW谐振结构包括第二空腔;将BAW谐振结构的表面朝向基底,使BAW谐振结构键合于基底且封闭第一空腔;将控制电路与输入电极、输出电极电连接。本发明在基底上形成控制电路和BAW滤波器所需要的空腔,再将已有BAW谐振结构安装于空腔,实现控制电路对BAW滤波器的控制,从而可以避免现有BAW滤波器作为分立器件集成于PCB导致的电连接工艺复杂、插入损耗大等问题,集成度高、降低工艺成本。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau