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1. WO2020134555 - SEED CRYSTAL FUSION METHOD AND DEVICE

Publication Number WO/2020/134555
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/CN2019/114788
International Filing Date 31.10.2019
IPC
C30B 15/20 2006.01
CCHEMISTRY; METALLURGY
30CRYSTAL GROWTH
BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
15Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
20Controlling or regulating
C30B 29/06 2006.01
CCHEMISTRY; METALLURGY
30CRYSTAL GROWTH
BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
29Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
02Elements
06Silicon
CPC
C30B 15/20
CCHEMISTRY; METALLURGY
30CRYSTAL GROWTH
BSINGLE-CRYSTAL-GROWTH
15Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
20Controlling or regulating
C30B 29/06
CCHEMISTRY; METALLURGY
30CRYSTAL GROWTH
BSINGLE-CRYSTAL-GROWTH
29Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
02Elements
06Silicon
Applicants
  • 宁夏隆基硅材料有限公司 NINGXIA LONGI SILICON MATERIALS CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 申晨 SHEN, Chen
  • 李强 LI, Qiang
Agents
  • 北京润泽恒知识产权代理有限公司 BEIJING RUN ZEHENG INTELLECTUAL PROPERTY LAW FIRM
Priority Data
201811625622.828.12.2018CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) SEED CRYSTAL FUSION METHOD AND DEVICE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE FUSION DE GERME CRISTALLIN
(ZH) 籽晶熔接方法及设备
Abstract
(EN)
A seed crystal fusion method, comprising: when the liquid surface temperature is detected to be greater than or equal to a first pre-set temperature, lowering a seed crystal to a first pre-set distance from the liquid surface to heat the seed crystal, the liquid surface being a molten silicon liquid surface; when the liquid surface temperature is detected to be greater than or equal to a second pre-set temperature, lowering the seed crystal to a second pre-set distance and contacting same with the liquid surface; acquiring the diameter of a halo around the seed crystal, and determining whether the change of the diameter of the halo satisfies a pre-set condition; and when the change of the diameter of the halo satisfies the pre-set condition, maintaining the seed crystal at a constant position for fusion. Also provided is a seed crystal fusion device, which can realize an automated seed crystal fusion process, solving the problem that the existing fusion method relies on personnel skill and has a low success rate of achieving equal diameter.
(FR)
Procédé de fusion de germe cristallin, comprenant les étapes suivantes : lorsque la température de surface d'un liquide est déterminée comme étant supérieure ou égale à une première température prédéfinie, abaisser un germe cristallin jusqu'à une première distance prédéfinie de la surface du liquide pour chauffer le germe cristallin, la surface du liquide étant la surface d'un liquide formé de silicium fondu ; lorsque la température de surface du liquide est déterminée comme étant supérieure ou égale à une seconde température prédéfinie, abaisser le germe cristallin jusqu'à une seconde distance prédéfinie et le mettre en contact avec la surface du liquide ; acquérir le diamètre du halo entourant le germe cristallin et déterminer si la modification du diamètre du halo est conforme à une condition prédéfinie ; et lorsque la modification du diamètre du halo est conforme à la condition prédéfinie, maintenir le germe cristallin dans une position constante en vue de sa fusion. L'invention concerne également un dispositif de fusion de germe cristallin, qui peut mettre en œuvre un processus automatisé de fusion de germe cristallin, résolvant le problème selon lequel le procédé de fusion existant repose sur la compétence du personnel et ne présente qu'un faible taux de réussite pour ce qui est d'obtenir un diamètre identique.
(ZH)
一种籽晶熔接方法,包括:检测液面温度大于或等于第一预设温度时,将籽晶下降到离液面第一预设距离处对籽晶进行加热;液面为熔硅液面;检测液面温度大于或等于第二预设温度时,将籽晶下降第二预设距离并与液面接触;获取籽晶周围光圈的直径,判断光圈的直径变化情况是否符合预设条件;在光圈的直径变化情况符合预设条件时,保持籽晶位置不变进行熔接。还提供一种籽晶熔接设备,可实现自动化的籽晶熔接过程,解决现有熔接方法依赖人员技能及等径成功率低的问题。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau