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1. WO2020134503 - SOFT X-RAY MICRO IMAGING DEVICE

Publication Number WO/2020/134503
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/CN2019/113900
International Filing Date 29.10.2019
IPC
H05G 2/00 2006.1
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
CPC
G01N 2223/03
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2223Investigating materials by wave or particle radiation
03by transmission
G01N 2223/1016
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2223Investigating materials by wave or particle radiation
10Different kinds of radiation or particles
101electromagnetic radiation
1016X-ray
G01N 23/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
02by transmitting the radiation through the material
04and forming images of the material
Applicants
  • 苏州瑞派宁科技有限公司 RAYCAN TECHNOLOGY CO., LTD (SUZHOU) [CN]/[CN]
Inventors
  • 郑睿 ZHENG, Rui
  • 刘炜 LIU, Wei
  • 谢庆国 XIE, Qingguo
  • 肖鹏 XIAO, Peng
Agents
  • 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) CHINA FARFIR INTELLECTUAL PROPERTY
Priority Data
201811645352.729.12.2018CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) SOFT X-RAY MICRO IMAGING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MICRO-IMAGERIE À RAYONS X MOUS
(ZH) 一种软X射线显微成像装置
Abstract
(EN)
A soft X-ray micro imaging device, which comprises a soft X-ray light source (300), a three-dimensional displacement mechanism, a vacuum unit (400), a laser unit (500), a reflection unit (600), a sample chamber (700) and a detector (800), wherein the soft X-ray light source (300) comprises a vacuum target chamber, a refrigeration chamber (44) and a nozzle (36), wherein the refrigeration chamber (44) and the nozzle (36) are accommodated in the vacuum target chamber, the nozzle (36) is arranged on the refrigeration chamber (44), the three-dimensional displacement mechanism is respectively connected with the refrigeration chamber (44) and the vacuum target chamber, and the vacuum target chamber is provided with two opposite outlets; the vacuum unit (400) comprises a first vacuum pump (420) and a second vacuum pump (430), which are respectively connected with the two outlets of the vacuum target chamber; the pulse laser emitted by a pulse laser generator (501) is focused at the nozzle (36) after passing through a laser focusing mirror (520); the reflection unit (600) is provided with a second reflector (605); the sample chamber (700) communicates with the vacuum target chamber, a capillary glass tube (713) is accommodated in the sample chamber (700), and the position of the capillary glass tube (713) corresponds to the nozzle (36) and the focal point of the second reflector (605); and the detector (800) is connected with the sample chamber (700) and corresponds to the position of the capillary glass tube (713). Therefore, the soft X-ray micro imaging device has advantages of precise detection, high efficiency and economical cost.
(FR)
Dispositif de micro-imagerie à rayons X mous qui comprend une source de lumière à rayons X mous (300), un mécanisme de déplacement tridimensionnel, une unité de mise sous vide (400), une unité laser (500), une unité de réflexion (600), une chambre d'échantillon (700) et un détecteur (800), la source de lumière à rayons X mous (300) comprenant une chambre cible sous vide, une chambre de réfrigération (44) et une buse (36), la chambre de réfrigération (44) et la buse (36) étant logées dans la chambre cible sous vide. La buse (36) est disposée sur la chambre de réfrigération (44), le mécanisme de déplacement tridimensionnel est respectivement relié à la chambre de réfrigération (44) et à la chambre cible sous vide et la chambre cible sous vide est pourvue de deux sorties opposées ; l'unité de mise sous vide (400) comprend une première pompe à vide (420) et une seconde pompe à vide (430), respectivement reliées aux deux sorties de la chambre cible sous vide ; le laser à impulsions émis par un générateur laser à impulsions (501) est focalisé sur la buse (36) après avoir traversé un miroir de focalisation laser (520). L'unité de réflexion (600) est pourvue d'un second réflecteur (605) ; la chambre d'échantillon (700) communique avec la chambre cible sous vide, un tube capillaire en verre (713) est logé dans la chambre d'échantillon (700) et la position du tube capillaire en verre (713) correspond à la buse (36) et au foyer du deuxième réflecteur (605) ; et le détecteur (800) est relié à la chambre d'échantillon (700) et correspond à la position du tube capillaire en verre (713). Par conséquent, le dispositif de micro-imagerie à rayons X mous présente les avantages d'une détection précise, d'un rendement élevé et d'un coût économique.
(ZH)
一种软X射线显微成像装置,包括软X射线光源(300)、三维位移机构、真空单元(400)、激光单元(500)、反射单元(600)、样本室(700)和探测器(800),软X射线光源(300)包括真空靶室、制冷腔(44)和喷嘴(36),制冷腔(44)和喷嘴(36)容置于真空靶室内,喷嘴(36)设置于制冷腔(44)上,三维位移机构分别与制冷腔(44)和真空靶室连接,真空靶室具有相对的两个出口;真空单元(400)包括分别与真空靶室的两个出口连接的第一真空泵(420)和第二真空泵(430);脉冲激光发生器(501)发出的经过激光聚焦镜(520)后聚焦于喷嘴(36)处;反射单元(600)具有第二反射镜(605);样本室(700)与真空靶室连通,样本室(700)内容置毛细玻璃管(713),毛细玻璃管(713)的位置与喷嘴(36)以及第二反射镜(605)的焦点对应;探测器(800)与样本室(700)连接并与毛细玻璃管(713)的位置对应。由此,软X射线显微成像装置探测精确、效率高、节约成本。
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