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1. WO2020134501 - SOFT X-RAY LIGHT SOURCE

Publication Number WO/2020/134501
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/CN2019/113892
International Filing Date 29.10.2019
IPC
H05G 2/00 2006.01
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
CPC
H05G 2/006
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
001X-ray radiation generated from plasma
003being produced from a liquid or gas
006details of the ejection system, e.g. constructional details of the nozzle
Applicants
  • 苏州瑞派宁科技有限公司 RAYCAN TECHNOLOGY CO., LTD (SUZHOU) [CN]/[CN]
Inventors
  • 刘炜 LIU, Wei
  • 郑睿 ZHENG, Rui
  • 谢庆国 XIE, Qingguo
  • 肖鹏 XIAO, Peng
Agents
  • 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) CHINA FARFIR INTELLECTUAL PROPERTY
Priority Data
201811640339.229.12.2018CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) SOFT X-RAY LIGHT SOURCE
(FR) SOURCE DE LUMIÈRE À RAYONS X DOUX
(ZH) 一种软X射线光源
Abstract
(EN)
A soft X-ray light source, comprising a vacuum target chamber, a refrigeration chamber (44), and a nozzle (36). The refrigeration chamber (44) and the nozzle (36) are accommodated in the vacuum target chamber; the nozzle (36) is provided on the refrigeration chamber (44). The soft X-ray light source further comprises a supporting plate (10), a corrugated pipe (60), and a three-dimensional displacement mechanism; the supporting plate (10) is provided on the vacuum target chamber; a refrigerant inlet pipeline (13), a refrigerant outlet pipeline (12), and a working gas pipeline (11) which penetrates through the supporting plate (10) are provided on the supporting plate (10); the refrigerant inlet pipeline (13) and the refrigerant outlet pipeline (12) are communicated with the refrigeration chamber (44); the working gas pipeline (11) penetrates through the refrigeration chamber (44) and is connected to the nozzle (36); the corrugated pipe (60) is provided between the supporting plate (10) and the vacuum target chamber; the refrigerant inlet pipeline (13), the refrigerant outlet pipeline (12), and the working gas pipeline (11) all penetrate through the corrugated pipe (60). The three-dimensional displacement mechanism is provided between the supporting plate (10) and the vacuum target chamber. The position of the nozzle (36) can be adjusted in an X-axis direction, a Y-axis direction, and a Z-axis direction.
(FR)
Une source de lumière à rayons X doux, comprenant une chambre cible sous vide, une chambre de réfrigération (44) et une buse (36). La chambre de réfrigération (44) et la buse (36) sont logées dans la chambre cible sous vide; la buse (36) est disposée sur la chambre de réfrigération (44). La source de lumière à rayons X doux comprend en outre une plaque de support (10), un tuyau ondulé (60), et un mécanisme de déplacement tridimensionnel; la plaque de support (10) est disposée sur la chambre cible sous vide; un pipeline d'entrée de fluide frigorigène (13), une conduite de sortie de fluide frigorigène (12), et une conduite de gaz de travail (11) pénètrant à travers la plaque de support (10) sont disposés sur la plaque de support (10); le pipeline d'entrée de fluide frigorigène (13) et la conduite de sortie de fluide frigorigène (12) sont en communication avec la chambre de réfrigération (44); la conduite de gaz de travail (11) pénètre à travers la chambre de réfrigération (44) et est reliée à la buse (36); le tuyau ondulé (60) étant disposé entre la plaque de support (10) et la chambre cible sous vide; la conduite d'entrée de fluide frigorigène (13), la conduite de sortie de fluide frigorigène (12) et la conduite de gaz de travail (11) pénétrant toutes à travers le tuyau ondulé (60). Le mécanisme de déplacement tridimensionnel est disposé entre la plaque de support (10) et la chambre cible sous vide. La position de la buse (36) peut être réglée dans une direction d'axe X, une direction d'axe Y, et une direction d'axe Z.
(ZH)
一种软X射线光源,包括真空靶室、制冷腔(44)和喷嘴(36),制冷腔(44)和喷嘴(36)容置于真空靶室内,喷嘴(36)设置于制冷腔(44)上,软X射线光源还包括支撑板(10)、波纹管(60)和三维位移机构,支撑板(10)设置于真空靶室上,支撑板(10)上设置有穿过支撑板(10)的制冷剂入口管道(13)、制冷剂出口管道(12)和工作气体管道(11),制冷剂入口管道(13)和制冷剂出口管道(12)与制冷腔(44)连通,工作气体管道(11)穿过制冷腔(44)并与喷嘴(36)连接;波纹管(60)设置于支撑板(10)与真空靶室之间,制冷剂入口管道(13)、制冷剂出口管道(12)和工作气体管道(11)均从波纹管(60)内部穿过;三维位移机构设置于支撑板(10)与真空靶室之间,可以实现在X、Y、Z三轴方向上调节喷嘴(36)位置。
Also published as
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