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1. WO2020134500 - SOFT X-RAY LIGHT SOURCE

Publication Number WO/2020/134500
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/CN2019/113890
International Filing Date 29.10.2019
IPC
H05G 2/00 2006.01
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
CPC
H05G 1/02
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
1X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
02Constructional details
H05G 1/025
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
1X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
02Constructional details
025Means for cooling the X-ray tube or the generator
H05G 2/00
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
Applicants
  • 苏州瑞派宁科技有限公司 RAYCAN TECHNOLOGY CO., LTD (SUZHOU) [CN]/[CN]
Inventors
  • 刘炜 LIU, Wei
  • 郑睿 ZHENG, Rui
  • 谢庆国 XIE, Qingguo
  • 肖鹏 XIAO, Peng
Agents
  • 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) CHINA FARFIR INTELLECTUAL PROPERTY
Priority Data
201811640371.029.12.2018CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) SOFT X-RAY LIGHT SOURCE
(FR) SOURCE DE LUMIÈRE À RAYONS X MOUS
(ZH) 一种软X射线光源
Abstract
(EN)
A soft X-ray light source, comprising a vacuum target chamber, a refrigeration cavity (44) and a nozzle (36). The refrigeration cavity (44) and the nozzle (36) are accommodated in the vacuum target chamber. The nozzle (36) is provided on the refrigeration cavity (44). The vacuum target chamber comprises a three-way pipe (40) and a multi-way pipe (50). The three-way pipe (40) has a first outlet, a second outlet and a third outlet that are opposite to one another, the first outlet being connected to a supporting plate (10); and a refrigerant inlet pipeline (13), a refrigerant outlet pipeline (12) and a working gas pipeline (11) respectively pass through the supporting plate (10) and are connected to the refrigeration cavity (44), the third outlet being connected to an evacuating device. The multi-way pipe (50) comprises a top opening and a bottom opening opposite to each other, the top opening being closely connected to the second outlet, and a vacuum outlet being provided at the bottom opening. The position of the nozzle (36) corresponds to a side opening, and a groove is provided below the nozzle (36), the groove being fixed by means of a metal adapter (513), the metal adapter (513) being provided at the vacuum outlet, and the groove being in communication with the vacuum outlet. The refrigeration cavity (44) maintains high refrigeration performance, such that the stability of a micro-liquid flow is maintained, improving the performance of soft X-rays.
(FR)
Source de lumière à rayons X mous comprenant une chambre cible sous vide, une cavité de réfrigération (44) et une buse (36). La cavité de réfrigération (44) et la buse (36) sont logées dans la chambre cible sous vide. La buse (36) est pourvue sur la cavité de réfrigération (44). La chambre cible sous vide comprend un tuyau à trois voies (40) et un tuyau à voies multiples (50). Le tuyau à trois voies (40) a une première sortie, une seconde sortie et une troisième sortie qui sont opposées l'une à l'autre, la première sortie étant reliée à une plaque de support (10) ; et un pipeline d'entrée de fluide frigorigène (13), une conduite de sortie de fluide frigorigène (12) et une conduite de gaz de travail (11) passent respectivement à travers la plaque de support (10) et sont reliés à la cavité de réfrigération (44), la troisième sortie étant reliée à un dispositif d'évacuation. Le tuyau à voies multiples (50) comprend une ouverture supérieure et une ouverture inférieure opposées l'une à l'autre, l'ouverture supérieure étant étroitement reliée à la seconde sortie, et une sortie sous vide étant disposée au niveau de l'ouverture inférieure. La position de la buse (36) correspond à une ouverture latérale et une rainure est disposée au-dessous de la buse (36), la rainure étant fixée au moyen d'un adaptateur métallique (513), l'adaptateur métallique (513) étant disposé au niveau de la sortie de vide et la rainure étant en communication avec la sortie de vide. La cavité de réfrigération (44) maintient une performance de réfrigération élevée, de telle sorte que la stabilité d'un écoulement de micro-liquide est maintenue, améliorant la performance de rayons X mous.
(ZH)
一种软X射线光源,包括真空靶室、制冷腔(44)和喷嘴(36),制冷腔(44)和喷嘴(36)容置于真空靶室内,喷嘴(36)设置于制冷腔(44)上,真空靶室包括三通管(40)和多通管(50),三通管(40)具有相对的第一出口、第二出口和第三出口,第一出口与支撑板(10)连接,制冷剂入口管道(13)、制冷剂出口管道(12)以及工作气体管道(11)分别穿过支撑板(10)并与制冷腔(44)连接,第三出口与抽真空装置连接;多通管(50)包括相对的顶部开口和底部开口,顶部开口与第二出口紧密连接,底部开口处设置真空出口,喷嘴(36)的位置与侧面开口对应,喷嘴(36)下方设置有凹槽,凹槽通过金属转接头(513)固定,金属转接头(513)设置于真空出口处,凹槽与真空出口连通。通过使得制冷腔(44)保持高制冷性能,保持微液流的稳定性,提高软X射线的性能。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau