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1. WO2020133865 - DEVICE AND METHOD FOR DETECTING NEUTRON CONTENT IN ION IMPLANTATION CAVITY

Publication Number WO/2020/133865
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/CN2019/085521
International Filing Date 05.05.2019
IPC
G01T 3/00 2006.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
TMEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
3Measuring neutron radiation
H01J 37/36 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes
36for cleaning surfaces while plating with ions of materials introduced into the discharge, e.g. introduced by evaporation
H01J 37/317 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
317for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. ion implantation
CPC
G01T 3/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
TMEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
3Measuring neutron radiation
Applicants
  • 上海集成电路研发中心有限公司 SHANGHAI IC R & D CENTER CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 曾绍海 ZENG, Shaohai
  • 李铭 LI, Ming
Agents
  • 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) SHANGHAI TIANCHEN INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY
Priority Data
201811582671.824.12.2018CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) DEVICE AND METHOD FOR DETECTING NEUTRON CONTENT IN ION IMPLANTATION CAVITY
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE TENEUR EN NEUTRONS DANS UNE CAVITÉ D'IMPLANTATION IONIQUE
(ZH) 一种检测离子注入腔中中子含量的装置和方法
Abstract
(EN)
Disclosed is a device for detecting neutron content in an ion implantation cavity, comprising an ion implantation cavity, an ion source, a data collection module, and a processing module. The ion implantation cavity comprises a slide holder directly facing the ion source. A substrate coated with photoresist on the surface is placed in the slide holder. The ion source is used for carrying out superhigh-energy ion implantation on the photoresist in the substrate. Neutrons generated in the superhigh-energy ion implantation process are interacted with atomic nucleus of C, H and O elements in the photoresist to generate γ rays. The data collection module is used for measuring the intensity of the γ rays in the ion implantation cavity and transmitting the intensity to the processing module. The processing module is used for calculating the neutron content generated in the superhigh-energy ion implantation process according to the intensity of the γ rays. According to the device and method for detecting the neutron content in the ion implantation cavity, the neutron content generated in the superhigh-energy ion implantation process can be measured by measuring the intensity of the γ rays.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de détection d'une teneur en neutrons dans une cavité d'implantation ionique, comprenant une cavité d'implantation ionique, une source d'ions, un module de collecte de données et un module de traitement. La cavité d'implantation ionique comprend un support coulissant faisant directement face à la source d'ions. Un substrat revêtu de résine photosensible sur la surface est placé dans le support coulissant. La source d'ions est utilisée pour effectuer une implantation d'ions à haute énergie sur la résine photosensible dans le substrat. Des neutrons générés dans le processus d'implantation d'ions à haute énergie sont mis en interaction avec le noyau atomique des éléments C, H et O dans la résine photosensible afin de générer des rayons γ. Le module de collecte de données est utilisé pour mesurer l'intensité des rayons γ dans la cavité d'implantation ionique et transmettre l'intensité au module de traitement. Le module de traitement est utilisé pour calculer la teneur en neutrons générés dans le processus d'implantation d'ions à haute énergie en fonction de l'intensité des rayons γ. Selon le dispositif et le procédé de détection de la teneur en neutrons dans la cavité d'implantation ionique, la teneur en neutrons générés dans le processus d'implantation ionique à haute énergie peut être mesurée par la mesure de l'intensité des rayons γ.
(ZH)
本发明公开了一种检测离子注入腔中中子含量的装置,包括离子注入腔、离子源、数据收集模块和处理模块,所述离子注入腔中包含正对所述离子源的载片台;所述载片台上放置表面涂有光刻胶的衬底,所述离子源对所述衬底中的光刻胶进行超高能离子注入,超高能离子注入过程中产生的中子与光刻胶中C、H、O元素的原子核相互作用,产生γ射线,所述数据收集模块用于测量所述离子注入腔中γ射线的强度,并将该强度传输至所述处理模块,所述处理模块根据γ射线的强度计算出超高能离子注入过程中产生的中子含量。本发明提供的一种检测离子注入腔中中子含量的装置和方法,通过测量γ射线的强度,进而可以测量出超高能离子注入过程中产生的中子含量。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau