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1. WO2020133533 - X-RAY ABSORPTION GRATING MANUFACTURING METHOD AND X-RAY ABSORPTION GRATING

Publication Number WO/2020/133533
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/CN2018/125862
International Filing Date 29.12.2018
IPC
G21K 1/02 2006.01
GPHYSICS
21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
1Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
02using diaphragms, collimators
CPC
G21K 1/02
GPHYSICS
21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
1Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
02using diaphragms, collimators
Applicants
  • 深圳大学 SHENZHEN UNIVERSITY [CN]/[CN]
Inventors
  • 李冀 LI, Ji
  • 雷耀虎 LEI, Yaohu
  • 黄建衡 HUANG, Jianheng
  • 刘鑫 LIU, Xin
Agents
  • 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) SHENZHEN REFINED INTELLECTUAL PROPERTY OFFICE (GENERAL PARTNERSHIP)
Priority Data
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) X-RAY ABSORPTION GRATING MANUFACTURING METHOD AND X-RAY ABSORPTION GRATING
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE GRILLE D'ABSORPTION DE RAYONS X ET RÉSEAU D'ABSORPTION DE RAYONS X
(ZH) X射线吸收光栅制作方法及其X射线吸收光栅
Abstract
(EN)
Disclosed are an X-ray absorption grating manufacturing method and an X-ray absorption grating. The manufacturing method comprises the following steps: manufacturing grating grooves (2a) or grating holes (2b) on a substrate (1) to form a grating groove array or a grating hole array; washing the substrate (1) with an organic solvent, water and a surfactant; adding metal nanoparticles (3) into a volatile solvent and the surfactant to prepare a suspension; under vacuum, filling a grating microstructure with the metal nanoparticle suspension, and the metal nanoparticles (3) settling to fill up the grating grooves (2a) or the grating holes (2b); carrying out detection, and if the filling is not uniform or the metal nanoparticles (3) are not distributed in the grating microstructure, continuing the filling; and cleaning the metal nanoparticles (3) on the surface of the substrate. The absorption grating comprises the substrate (1), the grating groove array or the grating hole array is arranged on the substrate (1), and the grating grooves (2a) or the grating holes (2b) are filled with the metal nanoparticles (3). The performance of the absorption grating is not that different from that of a grating made of a molten metal material, the manufacturing method is simple, an entry barrier is low, the cost is low, and the method is convenient to operate and realize in a common laboratory.
(FR)
L'invention concerne un procédé de fabrication de grille d'absorption de rayons X et une grille d'absorption de rayons X. Le procédé de fabrication comprend les étapes suivantes : formation de rainures de grille (2a) ou de trous de grille (2b) sur un substrat (1) pour constituer un groupement de rainures de grille ou un groupement de trous de grille; lavage du substrat (1) avec un solvant organique, de l'eau et un tensioactif ; ajout de nanoparticules métalliques (3) à un solvant volatil et au tensioactif pour préparer une suspension ; sous vide, remplissage d'une microstructure de grille avec la suspension de nanoparticules métalliques et les sédiments de nanoparticules métalliques (3) pour remplir les rainures de grille (2a) ou les trous de grille (2b) ; détection et, si le remplissage n'est pas uniforme ou si les nanoparticules métalliques (3) ne sont pas distribuées dans la microstructure de grille, poursuite du remplissage ; et nettoyage des nanoparticules métalliques (3) sur la surface du substrat. La grille d'absorption comprend le substrat (1), le groupement de rainures de grille ou le groupement de trous de grille est disposé sur le substrat (1), et les rainures de grille (2a) ou les trous de grille (2b) sont remplis de nanoparticules métalliques (3). La performance de la grille d'absorption n'est pas si éloignée de celle d'une grille constituée de matériau métallique fondu, le procédé de fabrication est simple, une barrière d'entrée est basse, le coût est faible, et le procédé est pratique pour ce qui est de son utilisation et de sa mise en œuvre dans un laboratoire classique.
(ZH)
一种X射线吸收光栅制作方法及X射线吸收光栅,制作方法包括步骤:在基底(1)上制作光栅槽(2a)或光栅孔(2b),形成光栅槽阵列或光栅孔阵列;有机溶剂、水、表面活性剂清洗基底(1);金属纳米颗粒(3)加入挥发性溶剂和表面活性剂,制得悬浊液;真空下,将金属纳米颗粒悬浊液填充至光栅微结构中,且金属纳米颗粒(3)沉降填满光栅槽(2a)或光栅孔(2b);检测,如填充不均匀或者光栅微结构内没有布满金属纳米颗粒(3),继续填充;清洗基底表面的金属纳米颗粒(3)。吸收光栅包括基底(1),基底上(2)设有光栅槽阵列或光栅孔阵列,光栅槽(2a)或光栅孔(2b)填满金属纳米颗粒(3)。与熔融金属材料制成的光栅性能相差无几,且制作方法简单、门槛低、成本低廉,便于在普通实验室操作及实现。
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