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1. WO2020133046 - DEFECT DETECTION METHOD AND DEVICE

Publication Number WO/2020/133046
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/CN2018/124287
International Filing Date 27.12.2018
IPC
G01N 21/88 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws, defects or contamination
CPC
G01N 21/88
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
Applicants
  • 深圳配天智能技术研究院有限公司 SHENZHEN A&E INTELLIGENT TECHNOLOGY INSTITUTE CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 李洪杰 LI, Hongjie
Agents
  • 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) CHINA WISPRO INTELLECTUAL PROPERTY LLP.
Priority Data
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) DEFECT DETECTION METHOD AND DEVICE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE DÉTECTION DE DÉFAUT
(ZH) 一种缺陷检测方法及装置
Abstract
(EN)
A defect detection method and device, the method comprising: determining an area of interest in an image to be detected (11); dividing the area of interest into multiple caliper areas which are independent from one another and which have the same size (12); performing perpendicular edge detection on each caliper area, a perpendicular edge being a line segment that is in a caliper area and that is perpendicular to a preset edge of the caliper area (13); and acquiring defect information of the area of interest on the basis of the perpendicular edge (14). By using the described method, defect detection may be accurately and effectively implemented, thus improving defect detection efficiency.
(FR)
L'invention concerne un procédé et un dispositif de détection de défaut, le procédé consistant : à déterminer une zone d'intérêt dans une image à détecter (11) ; à diviser la zone d'intérêt en de multiples zones d'étrier indépendantes les unes des autres et présentant la même taille (12) ; à réaliser une détection de bord perpendiculaire sur chaque zone d'étrier, un bord perpendiculaire constituant un segment de ligne situé dans une zone d'étrier et perpendiculaire à un bord prédéfini de la zone d'étrier (13) ; et à acquérir des informations de défaut de la zone d'intérêt en fonction du bord perpendiculaire (14). Grâce au procédé de l'invention, une détection de défauts peut être mise en œuvre de manière précise et efficace, ce qui permet d'améliorer l'efficacité de détection de défauts.
(ZH)
一种缺陷检测方法及装置,方法包括确定待检测图像中的感兴趣区域(11);将感兴趣区域分割成多个彼此独立且大小相同的卡尺区域(12);对各个卡尺区域进行垂直边缘检测,垂直边为卡尺区域中与卡尺区域的预设边垂直的线段(13);基于垂直边获取感兴趣区域的缺陷信息(14)。方法能够准确有效地实现缺陷检测,提高缺陷检测效率。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau