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1. WO2020133002 - RESONATOR AND LADDER FILTER

Publication Number WO/2020/133002
Publication Date 02.07.2020
International Application No. PCT/CN2018/124083
International Filing Date 26.12.2018
IPC
H03H 9/02 2006.1
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
02Details
H03H 9/56 2006.1
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
46Filters
54comprising resonators of piezo-electric or electrostrictive material
56Monolithic crystal filters
CPC
H03H 9/02
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
H03H 9/56
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
46Filters
54comprising resonators of piezo-electric or electrostrictive material
56Monolithic crystal filters
Applicants
  • 天津大学 TIANJIN UNIVERSITY [CN]/[CN]
  • 诺思(天津)微系统有限责任公司 ROFS MICROSYSTEM (TIANJIN) CO, LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 张孟伦 ZHANG, Menglun
  • 庞慰 PANG, Wei
  • 杨清瑞 YANG, Qingrui
Agents
  • 北京汉智嘉成知识产权代理有限公司 CHINA SMART INTELLECTUAL PROPERTY LTD.
Priority Data
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) RESONATOR AND LADDER FILTER
(FR) RÉSONATEUR ET FILTRE EN ÉCHELLE
(ZH) 谐振器和梯形滤波器
Abstract
(EN)
The invention relates to the field of communications, and provides a resonator and a ladder filter. In the invention, the resonator comprises: a substrate, a bottom electrode, a piezoelectric layer, a top electrode, an acoustic wave reflection structure, and a protruding structure used to adjust passband properties of a filter; the piezoelectric layer is located between the top electrode and the bottom electrode; the protruding structure is located at one side of the top electrode facing away from the piezoelectric layer, or located on a surface of the piezoelectric layer below the top electrode, or located on an upper surface of the bottom electrode below the piezoelectric layer, or located below the bottom electrode; and the acoustic wave reflection structure is located between the substrate and the bottom electrode. When comparing the present invention and the prior art, the protruding structure is designed to move a left-side noise peak in a series resonator impedance frequency characteristic curve to the left, such that a defect in a filter passband is moved to a filter stopband, thereby improving filter performance; and the piezoelectric layer is doped with rare earth elements to compensate for a decrease in an electromechanical coupling coefficient of the resonator caused by the design of the protruding structure.
(FR)
La présente invention concerne le domaine des communications et concerne un résonateur et un filtre en échelle. Dans l'invention, le résonateur comprend : un substrat, une électrode inférieure, une couche piézoélectrique, une électrode supérieure, une structure de réflexion d'onde acoustique, et une structure en saillie utilisée pour ajuster les propriétés de bande passante d'un filtre ; la couche piézoélectrique est située entre l'électrode supérieure et l'électrode inférieure ; la structure en saillie est située sur un côté de l'électrode supérieure orienté à l'opposé de la couche piézoélectrique, ou située sur une surface de la couche piézoélectrique au-dessous de l'électrode supérieure, ou située sur une surface supérieure de l'électrode inférieure au-dessous de la couche piézoélectrique, ou située sous l'électrode inférieure ; et la structure de réflexion d'onde acoustique est située entre le substrat et l'électrode inférieure. Lors de la comparaison de la présente invention et de l'état antérieur de la technique, la structure en saillie est conçue pour déplacer un pic de bruit côté gauche dans une courbe caractéristique de fréquence d'impédance de résonateur en série vers la gauche, de telle sorte qu'un défaut dans une bande passante de filtre est déplacé vers une bande d'arrêt de filtre, ce qui permet d'améliorer les performances du filtre ; et la couche piézoélectrique est dopée avec des éléments de terre rare pour compenser une diminution du coefficient de couplage électromécanique du résonateur provoquée par la conception de la structure en saillie.
(ZH)
本发明涉及通信领域,提供一种谐振器和梯形滤波器。本发明中,谐振器包括:基底、底电极、压电层、顶电极、声波反射结构以及用以调节滤波器通带性能的凸起结构;其中,压电层位于顶电极和底电极之间,凸起结构位于顶电极上背离压电层的一面,或者位于所述顶电极之下的所述压电层的表面,或者位于所述压电层之下的所述底电极的上表面,或者位于所述底电极之下;声波反射结构位于基底和底电极之间。本发明与现有技术相比,通过凸起结构设计将串联谐振器阻抗频率特性曲线中左侧的杂峰向左移动,以使滤波器通带中的缺陷移至滤波器阻带中,从而提高滤波器的性能,而且压电层掺杂稀土元素,能够弥补因凸起结构设计所导致的谐振器机电耦合系数的降低。
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