Processing

Please wait...

Settings

Settings

Goto Application

1. WO2020116346 - DC PULSE POWER SUPPLY DEVICE FOR PLASMA DEVICE

Publication Number WO/2020/116346
Publication Date 11.06.2020
International Application No. PCT/JP2019/046808
International Filing Date 29.11.2019
IPC
H02M 3/155 2006.01
HELECTRICITY
02GENERATION, CONVERSION, OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
3Conversion of dc power input into dc power output
02without intermediate conversion into ac
04by static converters
10using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
145using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal
155using semiconductor devices only
H02M 3/28 2006.01
HELECTRICITY
02GENERATION, CONVERSION, OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
3Conversion of dc power input into dc power output
22with intermediate conversion into ac
24by static converters
28using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac
H02M 9/04 2006.01
HELECTRICITY
02GENERATION, CONVERSION, OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
9Conversion of dc or ac input power into surge output power
02with dc input power
04using capacitative stores
Applicants
  • 京都電機器株式会社 KYOTO DENKIKI CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventors
  • 藤吉 敏一 FUJIYOSHI, Toshikazu
  • 伏谷 周一 FUSHITANI, Syuichi
  • 木村 智 KIMURA, Satoshi
  • 辻本 正志 TSUJIMOTO, Masashi
  • 高橋 勇人 TAKAHASHI, Hayato
Agents
  • 特許業務法人京都国際特許事務所 KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE
Priority Data
2018-22787905.12.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) DC PULSE POWER SUPPLY DEVICE FOR PLASMA DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION ÉLECTRIQUE À IMPULSIONS EN CC DESTINÉ À UN DISPOSITIF À PLASMA
(JA) プラズマ装置用直流パルス電源装置
Abstract
(EN)
A pulse forming unit (13) generates a DC pulse voltage by switching between the output voltage of a DC power supply (11) and the charged voltage of a capacitor (15) and applies the DC pulse voltage to a capacitive load circuit (50) including a plasma device. A control unit (12) plays a role in: a voltage switching operation in the pulse formation unit (13); and a PWM control for switching between step-up and step-down and charging/discharging in a step-up/step-down converter (14). The capacitor (15) is charged to a target value by the step-down operation of the step-up/step-down converter (14). When a DC pulse voltage applied to the capacitive load circuit (50) changes from a pulse top voltage to a pulse bottom voltage, the excess charge corresponding to the voltage difference between the top and bottom voltages moves from the capacitive load circuit (50) to the capacitor (15) and the charged voltage increases, so that a step-up operation is performed in the step-up/step-down converter (14) and the power corresponding to an increased amount of the voltage of the capacitor (15) is regenerated to the DC power supply (11). This makes it possible to improve power efficiency by the power regeneration and change the waveform of the DC pulse voltage applied to the capacitive load circuit in a wide range.
(FR)
Selon la présente invention, une unité de formation d'impulsions (13) génère une tension d'impulsion continue par commutation entre la tension de sortie d'une alimentation électrique CC (11) et la tension chargée d'un condensateur (15) et applique la tension d'impulsion continue à un circuit de charge capacitive (50) comprenant un dispositif à plasma. Une unité de commande (12) joue un rôle dans une opération de commutation de tension dans l'unité de formation d'impulsions (13), et dans une commande MLI servant à commuter entre l'élévation et l'abaissement et la charge/décharge dans un convertisseur élévateur/abaisseur de tension (14). Le condensateur (15) est chargé à une valeur cible par le biais de l'opération d'abaissement du convertisseur élévateur/abaisseur de tension (14). Quand une tension d'impulsion continue appliquée au circuit de charge capacitive (50) passe d'une tension maximale d'impulsion à une tension minimale d'impulsion, la charge excédentaire correspondant à la différence de tension entre les tensions maximale et minimale se déplace du circuit de charge capacitive (50) au condensateur (15) et la tension chargée augmente, de telle sorte qu'une opération d'élévation soit effectuée dans le convertisseur élévateur/abaisseur de tension (14) et la puissance correspondant à une grandeur accrue de la tension du condensateur (15) est régénérée vers l'alimentation électrique CC (11). Ceci permet d'améliorer le rendement en puissance par l'intermédiaire de la régénération de puissance et de modifier la forme d'onde de la tension d'impulsion continue appliquée au circuit de charge capacitive dans une large gamme.
(JA)
パルス形成部(13)は、直流電源(11)の出力電圧とコンデンサ(15)の充電電圧とを切り替えることで直流パルス電圧を生成し、プラズマ装置を含む容量性負荷回路(50)に印加する。制御部(12)は、パルス形成部(13)における電圧の切替え動作と昇圧/降圧コンバータ(14)における昇圧/降圧の切替えと充放電のためのPWM制御を担う。コンデンサ(15)は昇圧/降圧コンバータ(14)における降圧動作により目標値に充電される。容量性負荷回路(50)に印加される直流パルス電圧がパルス頂部電圧から底部電圧に変化したとき、その電圧差に対応する余剰電荷が容量性負荷回路(50)からコンデンサ(15)に移動して充電電圧が増加すると、昇圧/降圧コンバータ(14)で昇圧動作が行われ、コンデンサ(15)の電圧増加分に相当する電力が直流電源(11)に回生される。このようにして、電力回生により電力効率の改善を図るとともに、容量性負荷回路に印加する直流パルス電圧の波形を広範囲に変化させることができる。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau