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1. WO2020116248 - PLASMA PROCESSING DEVICE

Publication Number WO/2020/116248
Publication Date 11.06.2020
International Application No. PCT/JP2019/046221
International Filing Date 26.11.2019
IPC
H05H 1/46 2006.01
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY- CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
1Generating plasma; Handling plasma
24Generating plasma
46using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
Applicants
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP]
Inventors
  • 池田 太郎 IKEDA Taro
  • 田中 澄 TANAKA Sumi
Agents
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柏岡 潤二 KASHIOKA Junji
Priority Data
2018-22925306.12.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) PLASMA PROCESSING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU PLASMA
(JA) プラズマ処理装置
Abstract
(EN)
Provided is a plasma processing device which is capable of enabling uniform plasma distribution. The plasma processing device is provided with an upper electrode and a lower electrode disposed opposite to each other in a processing container and generates plasma in the space between the electrodes, wherein the upper electrode and the lower electrode are respectively provided with recessed parts on the opposite faces, and an upper dielectric and a lower dielectric are respectively provided in the recessed parts of the upper electrode and the lower electrode, and a VHF wave introducing part is provided in a horizontal end part of the space SP between the upper dielectric and the lower dielectric.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de traitement au plasma qui est capable de permettre une distribution de plasma uniforme. Le dispositif de traitement au plasma est pourvu d'une électrode supérieure et d'une électrode inférieure disposées en regard l'une de l'autre dans un conteneur de traitement et génère un plasma dans l'espace entre les électrodes, l'électrode supérieure et l'électrode inférieure étant respectivement pourvues de parties évidées sur les faces en regard, et un diélectrique supérieur et un diélectrique inférieur sont respectivement disposés dans les parties évidées de l'électrode supérieure et de l'électrode inférieure, et une partie d'introduction d'onde VHF est disposée dans une partie d'extrémité horizontale de l'espace SP entre le diélectrique supérieur et le diélectrique inférieur.
(JA)
プラズマ分布を均一にすることが可能なプラズマ処理装置を提供する。処理容器内に対向配置された上部電極及び下部電極を備え、これらの電極間の空間にプラズマを発生させるプラズマ処理装置において、上部電極及び下部電極は、それぞれ互いに対向する面に凹部を備え、上部電極及び下部電極それぞれの凹部内には、上部誘電体及び下部誘電体がそれぞれ設けられ、上部誘電体と下部誘電体との間の空間SPの横方向端部には、VHF波導入部が設けられている。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau