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1. WO2020116006 - OPTICAL FILTER DEVICE AND METHOD FOR CONTROLLING OPTICAL FILTER DEVICE

Publication Number WO/2020/116006
Publication Date 11.06.2020
International Application No. PCT/JP2019/038615
International Filing Date 30.09.2019
IPC
G02B 26/00 2006.01
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating or modulating
G01J 3/51 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
46Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
50using electric radiation detectors
51using colour filters
G02B 5/28 2006.01
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
20Filters
28Interference filters
Applicants
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
Inventors
  • 笠原 隆 KASAHARA Takashi
  • 柴山 勝己 SHIBAYAMA Katsumi
  • 廣瀬 真樹 HIROSE Masaki
  • 川合 敏光 KAWAI Toshimitsu
  • 大山 泰生 OYAMA Hiroki
  • 蔵本 有未 KURAMOTO Yumi
Agents
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi
Priority Data
2018-22822805.12.2018JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) OPTICAL FILTER DEVICE AND METHOD FOR CONTROLLING OPTICAL FILTER DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE FILTRE OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE DISPOSITIF DE FILTRE OPTIQUE
(JA) 光学フィルタ装置、及び光学フィルタ装置の制御方法
Abstract
(EN)
This optical filter device is provided with a Fabry-Perot interference filter and a resistance measurement part. The Fabry-Perot interference filter is provided with: a first structure which has a first surface and a second surface; a second structure which has a third surface; a first mirror part which is provided on the first structure; a second mirror part which is provided on the second structure so as to face the first mirror part with an air gap being interposed therebetween; a first drive electrode which is provided on the first structure; a second drive electrode which is provided on the second structure; a first terminal and a third terminal, which are electrically connected to the first drive electrode; and a second terminal which is electrically connected to the second drive electrode. The first drive electrode overlaps with the air gap when viewed from the facing direction in which the first surface and the third surface face each other. In the facing direction, the distance between the first drive electrode and the air gap is shorter than the distance between the second surface and the air gap. The resistance measurement part is electrically connected to the first terminal and the third terminal, and measures the resistance of the first drive electrode.
(FR)
Dispositif de filtre optique étant pourvu d'un filtre d'interférences de Fabry-Perot et d'un élément de mesure de résistance. Le filtre d'interférences de Fabry-Perot est pourvu d'une première structure qui a une première surface et une deuxième surface ; d'une seconde structure qui a une troisième surface ; d'une première zone de miroir disposée sur la première structure ; d'une seconde zone de miroir disposée sur la seconde structure de façon à faire face à la première zone de miroir avec un entrefer interposé entre celles-ci ; d'une première électrode d'entraînement située sur la première structure ; d'une seconde électrode d'entraînement située sur la seconde structure ; d'un premier et d'un troisième terminal connectés électriquement à la première électrode de commande ; et d'une seconde borne connectée électriquement à la seconde électrode de commande. La première électrode d'entraînement empiète sur l'entrefer lorsqu'elle est vue depuis la direction opposée dans laquelle la première et la troisième surface se font face. Dans la direction opposée, la distance entre la première électrode d'entraînement et l'entrefer est inférieure à la distance entre la deuxième surface et l'entrefer. L'élément de mesure de résistance est connecté électriquement aux première et troisième bornes et mesure la résistance de la première électrode d'entraînement.
(JA)
光学フィルタ装置は、ファブリペロー干渉フィルタ及び抵抗測定部を備える。ファブリペロー干渉フィルタは、第1表面及び第2表面を有する第1構造体と、第3表面を有する第2構造体と、第1構造体に設けられた第1ミラー部と、空隙を介して第1ミラー部と向かい合うように第2構造体に設けられた第2ミラー部と、第1構造体に設けられた第1駆動電極と、第2構造体に設けられた第2駆動電極と、第1駆動電極に電気的に接続された第1端子及び第3端子と、第2駆動電極に電気的に接続された第2端子と、を備える。第1駆動電極は、第1表面と第3表面とが向かい合う対向方向から見た場合に空隙と重なっている。対向方向において、第1駆動電極と空隙との間の距離は、第2表面と空隙との間の距離よりも短い。抵抗測定部は、第1端子及び第3端子に電気的に接続されており、第1駆動電極の抵抗値を測定する。
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