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1. WO2020115876 - CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Publication Number WO/2020/115876
Publication Date 11.06.2020
International Application No. PCT/JP2018/044976
International Filing Date 06.12.2018
IPC
H01J 37/28 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
28with scanning beams
H01J 37/22 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
22Optical or photographic arrangements associated with the tube
CPC
H01J 37/22
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
22Optical or photographic arrangements associated with the tube
H01J 37/28
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
28with scanning beams
Applicants
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 高口 桂 TAKAGUCHI Katsura
  • 中村 洋平 NAKAMURA Yohei
  • 笹島 正弘 SASAJIMA Masahiro
  • 揚村 寿英 AGEMURA Toshihide
  • 津野 夏規 TSUNO Natsuki
Agents
  • 特許業務法人平木国際特許事務所 HIRAKI & ASSOCIATES
Priority Data
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
Abstract
(EN)
An objective of the present invention is to provide a charged particle beam device that is capable of identifying an irradiation position of light onto a sample when a mechanism for imaging reflected electrons is not provided. On the basis of the difference between a first observation image acquired during irradiation of only a primary charged particle beam and a second observation image acquired during irradiation of light in addition to the primary charged particle beam, the charged particle beam device according to the present invention determines whether a location irradiated by the primary charged particle beam matches a location irradiated by the light. The device also uses the first observation image and measured results obtained via a photometer device to determine whether the location irradiated by the primary charged particle beam matches the location irradiated by the light.
(FR)
Un objectif de la présente invention est de produire un dispositif à faisceau de particules chargées qui peut identifier une position de rayonnement de lumière sur un échantillon lorsqu'un mécanisme d'imagerie d'électrons réfléchis n'est pas prévu. Sur la base de la différence entre une première image d'observation acquise pendant e rayonnement d'un seul faisceau de particules chargées primaire et une seconde image d'observation acquise pendant le rayonnement de lumière en plus du faisceau de particules chargées primaire, le dispositif à faisceau de particules chargées selon la présente invention détermine si un emplacement exposé au faisceau de particules chargées primaire correspond à un emplacement exposé à la lumière. Le dispositif utilise également la première image d'observation et des résultats mesurés obtenus par l'intermédiaire d'un dispositif photomètre pour déterminer si l'emplacement exposé au faisceau de particules chargées primaire correspond à l'emplacement exposé à la lumière.
(JA)
本発明は、反射電子を結像する機構を備えていない場合において、試料に対する光の照射位置を特定することができる荷電粒子線装置を提供することを目的とする。本発明に係る荷電粒子線装置は、一次荷電粒子線のみを照射しているとき取得した第1観察画像と、前記一次荷電粒子線に加えて光を照射しているとき取得した第2観察画像との間の差分に基づき、前記一次荷電粒子線の照射位置と前記光の照射位置が合致しているか否かを判定する。また、前記第1観察画像と光量計測器による計測結果とを用いて、前記一次荷電粒子線の照射位置と前記光の照射位置が合致しているか否かを判定する。
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